一种蓝宝石晶片筛选检具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种蓝宝石晶片筛选检具。


背景技术：

2.随着半导体技术的不断发展，蓝宝石晶片作为蓝光二极管加工的重要材料，在半导体领域具有举足轻重的地位。蓝宝石晶棒在切割成蓝宝石晶片后，蓝宝石晶片的圆周边为锐利尖角，这将会导致后续加工过程中很容易造成圆周边崩角等现象，为此通常需要对蓝宝石晶片圆周边磨边成圆角，一般4英寸晶片切割后直径为100.1-100.2mm，通过磨边直径降低到99.9-100mm，磨边的做法一方面可以减少圆周边崩角现象，另一方面也会减少后续蓝宝石晶片加工制程中的晶片应力，应力的减少会大幅度减少蓝宝石晶片后续加工过程中产生的晶片破裂，提高良率。但在磨边过程中，由于磨边设备精度不够会造成蓝宝石晶片直径过大，产品无法放入后制程加工治具中进行加工，需要筛选出直径过大的蓝宝石晶片进行返工磨边。因此，蓝宝石晶片直径的筛选尤为重要。
3.目前比较常见的蓝宝石晶片直径的筛选是通过游标卡尺测量，具体为，从标准晶片盒中逐片取出蓝宝石晶片，采用游标卡尺一片一片的测量，将符合直径范围的蓝宝石晶片插回标准晶片盒对应的片槽中，将超过直径范围的蓝宝石晶片挑出，进行返工磨边。人工检测将会导致检测人员作业时间较长，易疲劳造成漏检等问题；同时，人工一片一片检测，效率低下，导致生产成本提高。
4.因此，现有蓝宝石直径的筛选普遍存在通过人工测量筛选蓝宝石晶片效率低下，成本高的技术问题。


技术实现要素：

5.针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于一种蓝宝石晶片筛选检具，旨在解决现有技术中通过人工测量筛选蓝宝石晶片效率低下，成本高的技术问题。
6.本实用新型的一方面在于提供一种蓝宝石晶片筛选检具，所述蓝宝石晶片筛选检具包括：
7.支撑架及检测装置，所述支撑架用于支撑所述检测装置，所述检测装置两侧分别设有转轴销，并通过所述转轴销转动连接于支撑架上，所述检测装置内设有第一槽体，所述第一槽体两侧分别设有若干个一一对应的第一卡槽，以用于放置蓝宝石晶片，所述检测装置两端分别设有检测块，以限制直径不符合预设直径范围的蓝宝石晶片。
8.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过本实用新型提供的一种蓝宝石晶片筛选检具，采用检测块以限制直径不符合预设直径范围的蓝宝石晶片，实现对蓝宝石晶片的筛选，无需采用游标卡尺一片一片的测量，将超过直径范围的蓝宝石晶片挑出，进行返工磨边。具体为，将蓝宝石晶片置于检测装置中，检测装置的两端设有检测块，检测块将会限制直径不符合预设直径范围的蓝宝石晶片，以使不符合预设直径范围的蓝宝石晶片高出符合预设直径范围的蓝宝石晶片，再将高出的蓝宝石晶片挑出返工磨边，实现对蓝宝
石晶片的筛选，检测方法简单，效率高，一次可以检测多片，不存在漏检或者误检的问题，避免了人工一片一片检测，效率低下，导致生产成本提高，从而解决了现有技术中通过人工测量筛选蓝宝石晶片效率低下，成本高的技术问题。
9.根据上述技术方案的一方面，所述检测块包括第一缓冲块、第二缓冲块及设于所述第一缓冲块及所述第二缓冲块之间的测量块，所述第二缓冲块设于所述检测块上，所述第一缓冲件、所述第二缓冲件及所述测量块的两侧分别设有对应的安装孔，通过一紧固件穿过所述安装孔连接于检测装置上。
10.根据上述技术方案的一方面，所述第一缓冲块包括第一平边部及与所述第一平边部连接的第一斜边部，所述第二缓冲块包括第二平边部及与所述第二平边部连接的第二斜边部，所述第一斜边部及所述第二斜边部设于靠近蓝宝石晶片一侧，所述安装孔设于所述第一平边部及所述第二平边部的两侧，通过一紧固件穿过所述安装孔连接于检测装置上。
11.根据上述技术方案的一方面，所述支撑架包括底座及所述设于所述底座两端的转轴柱，所述转轴柱于靠近所述转轴销的一侧设有贯穿的轴承孔，所述转轴销插入所述轴承孔内以活动连接于所述支撑架上。
12.根据上述技术方案的一方面，所述第一槽体的端部分别设有对接孔，以使所述第一槽体连接于所述检测装置上，所述第一槽体远离所述检测装置的一侧设有若干个对位销以用于连接其他结构件。
13.根据上述技术方案的一方面，所述检测装置上两侧分别设有两l型固定块，所述l型固定块上设有贯穿的固定孔，一紧固件穿过所述固定孔与所述对接孔，将所述第一槽体固定于所述检测装置上。
14.根据上述技术方案的一方面，所述第一槽体上设有第二卡槽，所述第二槽体靠近所述第一槽体的一侧设有若干个对位孔，所述第一槽体的对位销插入所述第二槽体的对位孔中，以使所述第二槽体固定于所述第一槽体上。
15.根据上述技术方案的一方面，所述第二槽体的两侧设有若干个一一对应的第二槽体，以用于放置蓝宝石晶片，通过转轴销的转动，以将蓝宝石晶片传送至第一槽体或第二槽体中。
16.根据上述技术方案的一方面，所述第一槽体中部设有开口孔，所述检测块穿过所述开口孔，以限制不符合预设直径范围的蓝宝石晶片。
17.根据上述技术方案的一方面，所述第一缓冲块及所述第二缓冲块的材质为尼龙，所述测量块的材质为不锈钢。
附图说明
18.本实用新型的上述与/或附加的方面与优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显与容易理解，其中：
19.图1为本实用新型第一实施例中蓝宝石晶片筛选检具检测蓝宝石晶片状态的结构示意图；
20.图2为本实用新型第一实施例中蓝宝石晶片筛选检具旋转状态的结构示意图；
21.图3为本实用新型第一实施例中检测装置的结构示意图；
22.图4为本实用新型第一实施例中第一槽体的结构示意图；
23.附图元器件符号说明：
24.支撑架10，底座11，转轴柱12，检测装置20，检测块21，腔体22，第一槽体23，转轴销24，l型固定块25，第二槽体30，第二卡槽31，轴承孔120，第一缓冲块210，测量块211，第二缓冲块212，安装孔213，第一卡槽230，对位销231，对接孔232，开口孔233，圆形通孔250，固定孔251。
具体实施方式
25.为使本实用新型的目的、特征与优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
26.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造与操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.在本实用新型中，除非另有明确的规定与限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的与所有的组合。
28.请参阅图1-图4，所示为本实用新型第一实施例提供的蓝宝石晶片筛选检具，该蓝宝石晶片筛选检具包括支撑架10及检测装置20，其中，支撑架10包括底座11及设于底座11两端的转轴柱12，该底座11为一矩形板，用于支撑检测装置20，底座11的两端对称设有两转轴柱12，转轴柱12为一矩形柱，转轴柱12于远离底座11的一侧设有贯穿的轴承孔120，该轴承孔120的形状为圆形，以连接承载检测装置20。
29.其中，检测装置20包括腔体22及设于腔体22两侧的转轴销24，腔体22的形状为矩形，其用于承载蓝宝石晶片，腔体22两端分别设有检测块21，其用于限制直径不符合预设直径范围的蓝宝石晶片，以便于蓝宝石晶片的筛选，检测块21的形状为矩形，其为三层式结构，检测块21的两端分别设有安装孔213，安装孔213的形状为圆形，通过紧固件穿过安装孔213，将检测块21固定于腔体22上，在本实施例中，紧固件为螺栓，检测块21包括第一缓冲块210、第二缓冲块212及设于第一缓冲块210及第二缓冲块212之间的测量块211，第二缓冲件212设于腔体22上。
30.其中，第一缓冲块210与第二缓冲块212形状与材质相同，两者的材质为尼龙材质，其中，尼龙为聚酰胺，具有良好的力学性能、耐热性、耐磨损性、耐化学药品性和自润滑性，且摩擦系数低，有一定的阻燃性。避免蓝宝石晶片倒入检测装置20内，直接与检测块21的量块碰撞接触，导致蓝宝石晶片圆周边缘破损。第一缓冲块210包括第一平边部及与第一平边部连接的第一斜边部，该安装孔213设于第一平边部的两端，通过螺栓穿过安装孔213，以使
第一缓冲块210连接于腔体22上，第一斜边部设于靠近蓝宝石晶片的一侧，第一斜边部的斜边设置为了使直径筛选更准确，防止蓝宝石晶片卡于第一缓冲块210上，造成尺寸的量测误差。
31.同样的，第二缓冲块212也包括第二平边部及与第二平边部连接的第二斜边部，该安装孔213设于第二平边部的两端，通过螺栓穿过安装孔213，以使第二缓冲块212连接于腔体22上，第二斜边部设于靠近蓝宝石晶片的一侧，第二缓冲块212与第一缓冲块210设置一样，以作为第一缓冲块210的备用，以减少成本，防止第一缓冲块210损伤需要直接更换检测块21，增加成本。设于第一缓冲块210及第二缓冲块212之间的测量块211为一矩形块，其材质为不锈钢金属材质，不锈钢金属是由不锈钢和耐酸钢两大部分组成，其具有优异的耐磨防锈能力，测量块两端也设有安装孔213，通过螺栓穿过安装孔213，以使测量块211连接于腔体22上，通过对测量块211尺寸设定，打造符合蓝宝石晶片预设直径范围的尺寸，以限制不符合预设直径范围的蓝宝石晶片，实现对蓝宝石晶片的直径筛选，经过对测量块211表面精密加工，实现测量块211表面的平行度达到0.01以内，能保证蓝宝石晶片边缘经过的表面平行度尺寸绝对精准，以保证蓝宝石晶片直径筛选的准确性。
32.其中，腔体22的两侧分别设有转轴销24，该转轴销24，为一圆柱体，其穿过转轴柱12的轴承孔120，转轴销24的直径小于轴承孔120的直径，以使该检测装置20转动连接于底座11上。腔体22靠近转轴销24的两侧分别设有两个l型固定块25，该l型固定块25靠近腔体22一侧设有圆形通孔250，通过固定螺栓插入圆形通孔250，将l型固定块25固定于腔体22上，以对l型固定块25进行限位。l型固定块25于远离腔体22的一侧设有贯穿的固定孔251，以固定第一槽体23。
33.另外，腔体22内设有第一槽体23，该第一槽体23设有若干个对称第一卡槽230，蓝宝石晶片一片一片的分开放置，以防止蓝宝石晶片相互碰撞碎裂。该第一槽体23的中部设有开口孔233，该开口孔233的形状为矩形，检测块21穿过开口孔233，以检测不符合预设直径范围的蓝宝石晶片。第一槽体23的端部均设有对接孔232，通过紧固件穿过l型固定块25的固定孔251与第一槽体23的对接孔232，以对第一槽体23进行限位，将第一槽体23固定于腔体22上。同时，第一槽体23远离所述检测装置的一侧设有两个对位销231，对位销231为一圆柱体，通过对位销231将第二槽体30固定于第一槽体23上，以对第二槽体30进行限位。
34.其中，第一槽体23上设有第二槽体30，第二槽体30上设有若干个第二卡槽31，以用于放置蓝宝石晶片，通过转轴销24的转动，以将蓝宝石晶片传送至第一槽体23或第二槽体30中，第二槽体30的两侧设有对位孔，对位孔的形状为圆形，第一槽体23的对位销231插入第二槽体30的对位孔，以实现第二槽体30的限位，将第二槽体30固定于第一槽体23上。对位销231及对位孔的连接为活动连接，可拆卸，以便于蓝宝石晶圆的置入及取出。
35.需要说明的是，顺时针旋转检测装置20，将第一槽体23放置蓝宝石晶片的入口朝下，将装有蓝宝石晶片的第二槽体30通过对位孔及对位销231的配合，固定于第一槽体23上，再将检测装置20逆时针旋转至第二槽体30开口朝下，蓝宝石晶片顺着卡槽进入到第一槽体23的卡槽内，通过检测块21的测量，不符合预设直径范围的蓝宝石晶片将被检测块21限制，停留在偏上位置，高于符合预设直径范围的蓝宝石晶片，操作人员目视就能直接将不符合直径范围的蓝宝石晶片挑出并进行返工磨边。蓝宝石晶片筛选操作简单，精度高，可大批量快速对蓝宝石晶片的直径进行筛选，效率高，同时大批量筛选一次性筛选，有效的避免
了漏检的产生。
36.相比于现有技术，本实施例提供的一种蓝宝石晶片筛选检具，有益效果在于：通过本实用新型提供的一种蓝宝石晶片筛选检具，采用检测块以限制直径不符合预设直径范围的蓝宝石晶片，实现对蓝宝石晶片的筛选，无需采用游标卡尺一片一片的测量，将超过直径范围的蓝宝石晶片挑出，进行返工磨边。具体为，将蓝宝石晶片置于检测装置中，检测装置的两端设有检测块，检测块将会限制直径不符合预设直径范围的蓝宝石晶片，以使不符合预设直径范围的蓝宝石晶片高出符合预设直径范围的蓝宝石晶片，再将高出的蓝宝石晶片挑出返工磨边，实现对蓝宝石晶片的筛选，检测方法简单，效率高，一次可以检测多片，不存在漏检或者误检的问题，避免了人工一片一片检测，效率低下，导致生产成本提高，从而解决了现有技术中通过人工测量筛选蓝宝石晶片效率低下，成本高的技术问题。
37.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
38.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体与详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形与改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。