技术特征：
1.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括明场照明部件和信息采集组件，所述明场照明部件用于对待测物进行照射，所述信息采集组件用于对所述待测物的反射光进行采集和处理；所述信息采集组件具有物方远心结构的成像镜头，并且当所述明场照明部件处于工作状态时，所述成像镜头的成像光路垂直于所述待测物的待测面，且所述成像镜头的成像光路与所述明场照明部件出光口的主光路平行。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述明场照明部件的位置可在第一工位和第二工位之间选择性地切换，当所述明场照明部件位于所述第一工位时，所述明场照明部件出光口的主光线射到所述成像镜头的成像光路的视场位置，并与成像主光线重合；当所述明场照明部件位于所述第二工位时，所述明场照明部件退出成像光路。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述明场照明部件包括光源和分光片，所述光源射出的光线经所述分光片后部分能够垂直照射至所述待测物，经所述待测物反射的反射光线部分经所述分光片透射进入所述成像镜头，所述分光片与所述光源射出的光线之间形成的夹角为45
°
。4.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括暗场照明部件，所述暗场照明部件的出光口主光轴与所述待测物的待测面之间的入射角范围为70至85
°
。5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述明场照明部件或/和所述暗场照明部件的光源包括单色光源或者rgb三色光源或者rgbw四色光源，所述明场照明部件或/和暗场照明部件的光源颜色根据目标图像信噪比选取。6.根据权利要求2至5任一项所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括驱动部件，所述驱动部件被配置为驱动所述待测物沿预定轨迹平移；所述信息采集组件具有至少一个成像光路，每个所述成像光路对应一个视场，所述信息采集组件被配置为在所述待测物平移过程中对所述待测物进行扫描。7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述待测物为晶圆，所述驱动部件能够驱动所述晶圆沿第一方向和第二方向平移，其中第一方向和第二方向相互垂直。8.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述信息采集组件具有至少两个成像光路，所述成像光路对应的所述视场为线视场，各所述线视场共线。9.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述信息采集组件包括与所述成像光路相对应的成像设备单元，每一所述成像设备单元包括所述成像镜头和线扫描相机。10.根据权利要求7至9任一项所述的检测设备，其特征在于，所述信息采集组件具有两个成像光路，两个所述成像光路对应的两个线视场覆盖长度大于或者等于所述晶圆的半径。
技术总结
本实用新型公开了一种检测设备，该检测设备包括明场照明部件和信息采集组件，所述明场照明部件用于对待测物进行照射，所述信息采集组件用于对所述待测物的反射光进行采集和处理；本实用新型中的信息采集组件用于对待测物的反射光进行采集和处理。信息采集组件通常包括成像镜头和相机，本实用新型中的成像镜头为物方远心结构的成像镜头。这样各成像镜头所对应的主光线平行，避免了晶圆背面多层反射率随角度变化的问题，均匀性更好，提高检测精度。同时将明场照明部件处于工作状态时，成像镜头的成像光路垂直于待测物且与照明部件出光口的主光路平行，可以大幅提高明场照明部件的照明效率，获得较高对比度的明场图像，提高检测结果的准确性。果的准确性。果的准确性。
技术研发人员：刘健鹏 张鹏斌 陈鲁 张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：2022.04.11
技术公布日：2023/1/19