一种晶圆测试探针的倒角装置的制作方法

文档序号:33008846发布日期:2023-01-20 12:30阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种晶圆测试探针的倒角装置,其特征在于,包括:放置台;立板,所述立板固定安装在所述放置台的顶部;顶板,所述顶板固定安装在所述立板的顶部;限位放置机构,所述限位放置机构设于所述放置台和所述立板上;转动机构,所述转动机构设于所述顶板的底部;下压机构,所述下压机构设于所述转动机构上;打磨机构,所述打磨机构设于所述顶板的下方;调节机构,所述调节机构设于所述打磨机构上。2.根据权利要求1所述的晶圆测试探针的倒角装置,其特征在于,所述限位放置机构包括有放置座和电动伸缩杆,所述放置座上开设有多个顶部和一侧均为开口的限位槽,所述限位槽与探针相适配,所述电动伸缩杆固定安装在所述立板的一侧,所述电动伸缩杆的输出杆与所述放置座的一侧固定连接,多个所述限位槽等间距设置。3.根据权利要求2所述的晶圆测试探针的倒角装置,其特征在于,所述放置台的顶部开设有滑槽,所述放置座设于所述滑槽内,所述放置座上的多个限位槽底部内壁最低点的高度低于所述放置台的顶面的高度。4.根据权利要求1所述的晶圆测试探针的倒角装置,其特征在于,所述转动机构包括有条块、螺杆、减速电机和两个移动块,所述条块固定安装在所述顶板的底部,所述条块的底部开设有安装槽,所述螺杆转动安装在所述安装槽的两侧内壁上,所述减速电机固定安装在所述条块的一侧,所述减速电机的输出轴与所述螺杆的一端固定连接,两个所述移动块对称螺纹套设在所述螺杆上,两个所述移动块均与所述安装槽的两侧内壁滑动连接。5.根据权利要求4所述的晶圆测试探针的倒角装置,其特征在于,所述下压机构包括有两个升降电机和压板,两个所述升降电机分别固定安装在两个所述移动块的底部,所述压板固定安装在两个所述升降电机的输出杆的底端。6.根据权利要求1所述的晶圆测试探针的倒角装置,其特征在于,所述打磨机构包括有两个横柱、两个滚筒、四个中轴、打磨带和打磨电机,两个所述滚筒均设于两个所述横柱之间,四个所述中轴分别固定安装在两个所述滚筒的两端,四个所述中轴分别与两个所述横柱转动连接,所述打磨带缠绕在两个所述滚筒上,所述打磨电机固定安装在其中一个所述横柱的一侧,所述打磨电机的输出轴与其中一个所述中轴的一端固定连接。7.根据权利要求6所述的晶圆测试探针的倒角装置,其特征在于,所述调节机构包括有两个液压缸、安装板,两个安装杆和两个推杆电机,两个所述液压缸均固定安装在所述顶板的底部,所述安装板固定安装在两个所述液压缸的输出杆的底端,两个所述安装杆均固定安装在所述安装板的底部,且两个所述安装杆的底端均与其中一个所述横柱的顶部铰接,两个所述推杆电机均铰接在所述安装板的底部,且两个所述推杆电机的输出杆底端均与另一个所述横柱的顶部铰接。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆测试探针的倒角装置。所述晶圆测试探针的倒角装置包括放置台;立板,所述立板固定安装在所述放置台的顶部;顶板,所述顶板固定安装在所述立板的顶部;限位放置机构,所述限位放置机构设于所述放置台和所述立板上;转动机构,所述转动机构设于所述顶板的底部;下压机构,所述下压机构设于所述转动机构上;打磨机构,所述打磨机构设于所述顶板的下方。本实用新型提供的晶圆测试探针的倒角装置具有使多根探针整齐排列,以便提高打磨质量,可同时对多个探针进行打磨,并可对探针的打磨斜面的倾斜角度进行调节,且提高对探针的倒角加工效率的优点。对探针的倒角加工效率的优点。对探针的倒角加工效率的优点。


技术研发人员:罗强 胡少辉 罗丽芳 杨慧芳
受保护的技术使用者:湖北熙之翼电子科技有限公司
技术研发日:2022.04.15
技术公布日:2023/1/19
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