一种便于调节的气相外延炉用温度检测器的制作方法

1.本实用新型涉及气相外延炉技术领域，具体为一种便于调节的气相外延炉用温度检测器。


背景技术：

2.气相外延是一种单晶薄层生长方法，气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式性质，气相外延炉是用于单晶薄片生长的加热炉，在使用过程中，需要使用温度监测器对炉内温度进行实时监测。
3.现有技术中，所使用的气相外延炉用温度检测器不便于调节位置，只能对固定位置进行温度监测，使得检测的温度范围具有局限性，因此需要改进出一种便于调节的气相外延炉用温度检测器来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种便于调节的气相外延炉用温度检测器，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于调节的气相外延炉用温度检测器，包括外延炉体，所述外延炉体的底部固定在有支撑架，所述支撑架的中间位置设置有转动调节机构，所述转动调节机构的顶部设置有连接轴，所述连接轴的顶部设置有固定台，所述固定台的顶部固定安装有传感器安装机构，所述固定台的内部设置有卡接机构。
6.所述转动调节机构包括连接架，所述连接架固定安装在支撑架的底部内侧，所述连接架的中间位置螺纹安装有螺纹轴，所述螺纹轴的底部固定安装有手轮，所述外延炉体的中间位置固定安装有限位套。
7.优选的，所述螺纹轴远离手轮的一端固定安装在连接轴远离固定台的一端，所述连接轴穿过限位套，便于使连接轴限位滑动。
8.优选的，所述传感器安装机构包括安装板，所述安装板固定安装在固定台的顶部，所述安装板的顶部固定安装有温度传感器，所述安装板与固定台之间螺纹安装有安装螺栓，便于使温度传感器固定安装。
9.优选的，所述安装板的顶部与固定台的顶部与安装螺栓的对应位置处开设有螺纹孔，且所述安装螺栓螺纹安装在螺纹孔中，便于使安装板固定安装在固定台的顶部。
10.优选的，所述卡接机构包括插接槽，所述插接槽开设在固定台的底部，所述连接轴插接在插接槽中，所述连接轴的顶部左右两侧均开设有卡接槽，所述固定台的内部开设有安装槽，所述安装槽的内壁上开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动安装有滑动块，便于使滑动块在滑动槽内限位滑动。
11.优选的，所述滑动块的内侧滑动安装有卡接块，且所述卡接块插接在卡接槽中，所述滑动块的外侧固定安装有固定弹簧，且所述固定弹簧远离滑动块的一端固定安装在安装
槽的内壁上，所述滑动块的外侧中间位置滑动安装有拉动杆，所述拉动杆远离滑动块的一端固定安装有拉动挡块，便于通过拉动拉动挡块使卡接块与卡接槽分离。
12.优选的，所述卡接机构共设置有两组，分别设置在固定台的内部左右两侧，所述固定台的左右两侧与拉动杆的对应位置处开设有通孔，且所述拉动杆穿过通孔，便于使固定台与连接轴固定安装。
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种便于调节的气相外延炉用温度检测器，具备以下有益效果：
14.1、该便于调节的气相外延炉用温度检测器，通过设置的转动调节机构，在使用过程中，可以在外延炉外部调节温度传感器的位置，便于使温度传感器可以检测外延炉内部不同位置的温度，使检测出的温度不具有局限性。
15.2、该便于调节的气相外延炉用温度检测器，通过设置的卡接机构，在使用过程中，使传感器安装更加便捷，提高维护人员的安装与维修效率，节省时间，在一定程度上提高了生产效率。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：
17.图1为本实用新型正面结构示意图；
18.图2为本实用新型正面结构剖视示意图；
19.图3为本实用新型固定台及所连机构正面结构剖视示意图；
20.图4为本实用新型正面分解结构剖视示意图。
21.图中：1、外延炉体；2、支撑架；3、转动调节机构；31、连接架；32、螺纹轴；33、手轮；34、限位套；4、连接轴；5、固定台；6、传感器安装机构；61、安装板；62、温度传感器；63、安装螺栓；7、卡接机构；71、插接槽；72、卡接槽；73、安装槽；74、滑动槽；75、滑动块；76、卡接块；77、固定弹簧；78、拉动杆；79、拉动挡块。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种便于调节的气相外延炉用温度
检测器，包括外延炉体1，外延炉体1的底部固定在有支撑架2，支撑架2的中间位置设置有转动调节机构3，转动调节机构3的顶部设置有连接轴4，连接轴4的顶部设置有固定台5，固定台5的顶部固定安装有传感器安装机构6，固定台5的内部设置有卡接机构7。
25.转动调节机构3包括连接架31，连接架31固定安装在支撑架2的底部内侧，连接架31的中间位置螺纹安装有螺纹轴32，螺纹轴32的底部固定安装有手轮33，外延炉体1的中间位置固定安装有限位套34，螺纹轴32远离手轮33的一端固定安装在连接轴4远离固定台5的一端，连接轴4穿过限位套34，便于使连接轴4限位滑动。
26.传感器安装机构6包括安装板61，安装板61固定安装在固定台5的顶部，安装板61的顶部固定安装有温度传感器62，安装板61与固定台5之间螺纹安装有安装螺栓63，便于使温度传感器62固定安装，安装板61的顶部与固定台5的顶部与安装螺栓63的对应位置处开设有螺纹孔，且安装螺栓63螺纹安装在螺纹孔中，便于使安装板61固定安装在固定台5的顶部。
27.卡接机构7包括插接槽71，插接槽71开设在固定台5的底部，连接轴4插接在插接槽71中，连接轴4的顶部左右两侧均开设有卡接槽72，固定台5的内部开设有安装槽73，安装槽73的内壁上开设有滑动槽74，滑动槽74内滑动安装有滑动块75，便于使滑动块75在滑动槽74内限位滑动，滑动块75的内侧滑动安装有卡接块76，且卡接块76插接在卡接槽72中，滑动块75的外侧固定安装有固定弹簧77，且固定弹簧77远离滑动块75的一端固定安装在安装槽73的内壁上，滑动块75的外侧中间位置滑动安装有拉动杆78，拉动杆78远离滑动块75的一端固定安装有拉动挡块79，便于通过拉动拉动挡块79使卡接块76与卡接槽72分离，卡接机构7共设置有两组，分别设置在固定台5的内部左右两侧，固定台5的左右两侧与拉动杆78的对应位置处开设有通孔，且拉动杆78穿过通孔，便于使固定台5与连接轴4固定安装。
28.在实际操作过程中，当此装置使用时，通过将连接轴4穿过限位套34，使连接轴4伸入外延炉体1的内部，通过拉动拉动挡块79，使拉动挡块79带动拉动杆78运动，使拉动杆78带动滑动块75向外侧运动，滑动块75带动卡接块76向外侧滑动，同时使滑动块75压缩固定弹簧77，随后将固定台5底部的插接槽71对准连接轴4，使连接轴4插入插接槽71中，并使连接轴4上的卡接槽72对准卡接块76，随后松开拉动挡块79，通过固定弹簧77的弹力，使卡接块76插入卡接槽72中，使连接轴4与固定台5固定安装，在需要调节温度传感器62的位置时，通过转动手轮33，使手轮33带动螺纹轴32在连接架31上进行转动，使螺纹轴32带动连接轴4移动，通过连接轴4带动温度传感器62调节位置。
29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。