一种多尺寸晶圆盒治具的制作方法

1.本实用新型属于晶圆盒检测技术领域，尤其涉及一种多尺寸晶圆盒治具。


背景技术：

2.晶圆盒作为半导体生产过程中用于储存与输送晶圆的容器而被广泛使用。为适用于不同的晶圆的储存与输送，晶圆盒有多种类型，其中，为了对不同的晶圆盒予以区分，目前大多是采用人工的方式，或者在晶圆盒上贴标签的方式来识别晶圆盒，进一步地将其分类，但这样的分类方式不仅易于出错，而且浪费较多的人力，影响生产效率的提高及生产成本的降低。因此出现了如中国实用新型专利授权公告为cn216369014u的一种晶圆盒在线分类装置，这类分类机构配合搬运机构将晶圆盒，搬运机构大都采用活塞杆及气爪的组合形式从而将晶圆盒运送到治具上，同时将晶圆盒下压抵在治具，通过治具上设置的不同位置的传感器判断所放置的晶圆盒的尺寸，但是在下压过程中由于气杆或液压缸抵向治具时会产生一定的冲击，容易导致晶圆盒或治具受损，从而降低了检测治具的实用性能。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种结构简单且能便于检测不同尺寸的晶圆盒用的治具。
4.本实用新型的目的是这样实现的：一种多尺寸晶圆盒治具，包括检测台面及设置在检测台面上的检测传感器组及定位块组，还包括：
5.缓冲底座，缓冲底座设置在检测台面的下侧；其中缓冲底座包括：
6.支撑柱，支撑柱的上端向内形成有阶梯安置孔，
7.缓冲底板，缓冲底板位于支撑柱的下侧。其中传感器组包括三组直径递减且按圆周整列的传感器，分别有四寸晶圆盒传感器、六寸晶圆盒传感器及八寸晶圆盒传感器，且每组中包括了四个传感器；而定位块组有两组或三组，为两组时其中一组用于限位四寸晶圆盒、另一组用于限位八寸晶圆盒传感器、而六寸晶圆盒卡在两组定位块之间。
8.在本技术方案中，通过设置缓冲底座能在晶圆盒下压时起到良好的缓冲支撑的效果，从而避免冲击力过大而导致治具或晶圆盒的损坏。
9.在上述技术方案中，进一步设置为，缓冲底座还包括：
10.连接法兰，在支撑柱上端向外延伸出有连接法兰，且在检测台面下形成有若干均匀分布的固定孔，并在连接法兰下侧设置有若干均匀分布且穿过连接法兰与固定孔螺纹连接的限位螺杆，且限位螺杆与连接法兰滑动配合。
11.在本技术方案中，连接法兰与限位螺杆的配合能起到连接检测台面及防止检测台面旋转的效果，进而确保了检测台面良好的检测效果。
12.在上述技术方案中，进一步设置为，缓冲底座还包括：
13.减震弹簧，在限位螺杆的位于连接法兰的上下两端分别套设有一个减震弹簧，且减震弹簧外设置有外接触层；外接触层为橡胶保护层。
14.在本技术方案中，通过减震弹簧的配合能在检测台面受力时对检测台面起到一定的弹性缓冲的效果，而减震弹簧外设置的外接触层能在减震弹簧压缩或舒张的过程中减少金属间摩擦与撞击带来的异响。
15.在上述技术方案中，进一步设置为，阶梯安置孔包括从下至下直径递减的上孔部与下孔部，在上孔部内设置有若干均匀分布的缓冲支撑件，缓冲支撑件包括：
16.限位卡块，限位卡块固定设置在上孔部的内壁上，且限位卡块的中部设置有贯穿的承接孔，且承接孔为阶梯孔；
17.限位柱，限位柱的底部形成有限位段，限位柱穿出限位卡块并与限位卡块滑动连接，且通过限位段卡在承接孔内；
18.限位顶块，在限位柱的端部固定设置有限位顶块，限位顶块朝向上孔部的中部形成有斜面切削部，在检测台面设置有于斜面切削部配合的斜面凸台；
19.限位弹簧，在限位柱上套设置有限位弹簧，且限位弹簧的两端抵在限位顶块与限位卡块上。同时可在承接孔两侧设置两个导向孔并在限位顶块上设置有延伸入导向孔的导向柱，从而能防止限位顶块的偏移。
20.在本技术方案中，限位卡块用于定位限位柱，而限位顶块与限位弹簧的配合能在检测台面下移过程中与对斜面凸台起弹性限位的作用；而限位柱能防止限位顶块脱离限位卡块。而限位顶块与限位柱可通过螺纹连接。斜面凸台为锥台状。
21.在上述技术方案中，进一步设置为，在上孔部的内壁截面呈凸字形的限位块，在限位卡块朝向上孔部内壁的方向设置有与限位块配合的限位槽。
22.在本技术方案中，限位块与限位槽的配合能便于限位卡块的安装与固定，从而提高了缓冲底座安装的便捷性。
23.在上述技术方案中，进一步设置为，在斜面凸台的底部向下孔部内延伸有导向柱，导向柱上设置有外螺纹，并在外螺纹上设置有限位环，并在下孔部内设置有抵向限位环的缓冲弹簧。
24.在本技术方案中，通过缓冲弹簧与限位环的配合能进一步在检测台面下侧起到连接的缓冲及减震支撑的效果，从而进一步保证检测台面的实用性。通过可以调节限位环的位置来调整缓冲弹簧的预紧力。
25.在上述技术方案中，进一步设置为，支撑柱的底部向内形成有安装孔，在缓冲底板设置有与安装孔螺纹连接的连接杆。
26.在本技术方案中，通过安装孔与连接杆连接，从而能提高支撑柱与缓冲底板之间安装的便捷性。
27.在上述技术方案中，进一步设置为，在缓冲底板外沿设置有若干螺栓孔。
28.在本技术方案中，螺纹孔的设置能便于缓冲底板整体的安装与固定。
29.在上述技术方案中，进一步设置为，斜面切削部的横向截面轮廓呈弧形，且与斜面凸台的侧壁相配合。
30.在本技术方案中，斜面切削部呈弧形，从而能与斜面凸台更好得过渡。
附图说明
31.图1是本实用新型的俯视图；
32.图2是本实用新型的侧视图；
33.图3是图2中a-a处的剖视图；
34.附图中标记及相应的部件名称：1-检测台面、2a-四寸晶圆盒传感器、2b-六寸晶圆盒传感器、2c-八寸晶圆盒传感器、2d-定位块组、3-支撑柱、4-缓冲底板、5-连接法兰、6-限位螺杆、7-减震弹簧、8-上孔部、9-下孔部、10-限位卡块、11-承接孔、12-限位柱、13-限位顶块、14-斜面切削部、15-斜面凸台、16-限位槽、17-导向柱、18-限位环、19-缓冲弹簧、20-连接杆。
具体实施方式
35.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚地描述，参照图1-3：
36.实施例一
37.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，包括检测台面1及设置在检测台面1上的检测传感器组及定位块组2d，还包括：
38.缓冲底座，缓冲底座设置在检测台面1的下侧；其中缓冲底座包括：
39.支撑柱3，支撑柱3的上端向内形成有阶梯安置孔，
40.缓冲底板4，缓冲底板4位于支撑柱3的下侧。其中传感器组包括三组直径递减且按圆周整列的传感器，分别有四寸晶圆盒传感器2a、六寸晶圆盒传感器2b及八寸晶圆盒传感器2c，且每组中包括了四个传感器；而定位块组2d有两组或三组，为两组时其中一组用于限位四寸晶圆盒、另一组用于限位八寸晶圆盒传感器2c、而六寸晶圆盒卡在两组定位块之间。当机械手抓取对应型号的晶圆盒后压向检测台面，只有当四个对应型号的传感器都感应时才判断晶圆盒的位置放置正确，而尺寸大的晶圆盒会同时覆盖多组传感器，只有在最覆盖的最外面的四个传感器都感应到才能判断晶圆盒位置正确，后搬运机构将检测到的型号的晶圆盒放置对应的放置处上。
41.在本实施例中，通过设置缓冲底座能在晶圆盒下压时起到良好的缓冲支撑的效果，从而避免冲击力过大而导致治具或晶圆盒的损坏。
42.实施例二
43.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，除了包括前述实施例的技术方案外，还具有以下技术特征。
44.缓冲底座还包括：
45.连接法兰5，在支撑柱3上端向外延伸出有连接法兰5，且在检测台面1下形成有若干均匀分布的固定孔，并在连接法兰5下侧设置有若干均匀分布且穿过连接法兰5与固定孔螺纹连接的限位螺杆6，且限位螺杆6与连接法兰5滑动配合。
46.在本实施例中，连接法兰5与限位螺杆6的配合能起到连接检测台面1及防止检测台面1旋转的效果，进而确保了检测台面1良好的检测效果。
47.实施例三
48.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，除了包括前述实施例的技术方案外，还具有以下技术特征。缓冲底座还包括：
49.减震弹簧7，在限位螺杆6的位于连接法兰5的上下两端分别套设有一个减震弹簧
7，且减震弹簧7外设置有外接触层；外接触层为橡胶保护层。
50.在本实施例中，通过减震弹簧7的配合能在检测台面1受力时对检测台面1起到一定的弹性缓冲的效果，而减震弹簧7外设置的外接触层能在减震弹簧7压缩或舒张的过程中减少金属间摩擦与撞击带来的异响。
51.实施例四
52.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，除了包括前述实施例的技术方案外，还具有以下技术特征。
53.阶梯安置孔包括从下至下直径递减的上孔部8与下孔部9，在上孔部8内设置有若干均匀分布的缓冲支撑件，缓冲支撑件包括：
54.限位卡块10，限位卡块10固定设置在上孔部8的内壁上，且限位卡块10的中部设置有贯穿的承接孔11，且承接孔11为阶梯孔；
55.限位柱12，限位柱12的底部形成有限位段，限位柱12穿出限位卡块10并与限位卡块10滑动连接，且通过限位段卡在承接孔11内；
56.限位顶块13，在限位柱12的端部固定设置有限位顶块13，限位顶块13朝向上孔部8的中部形成有斜面切削部14，在检测台面1设置有于斜面切削部14配合的斜面凸台15；
57.限位弹簧，在限位柱12上套设置有限位弹簧，且限位弹簧的两端抵在限位顶块13与限位卡块10上。同时可在承接孔11两侧设置两个导向孔并在限位顶块13上设置有延伸入导向孔的导向柱17，从而能防止限位顶块13的偏移。
58.在本实施例中，限位卡块10用于定位限位柱12，而限位顶块13与限位弹簧的配合能在检测台面1下移过程中与对斜面凸台15起弹性限位的作用；而限位柱12能防止限位顶块13脱离限位卡块10。而限位顶块13与限位柱12可通过螺纹连接。斜面凸台15为锥台状。
59.实施例五
60.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，除了包括前述实施例的技术方案外，还具有以下技术特征。在上孔部8的内壁截面呈凸字形的限位块，在限位卡块10朝向上孔部8内壁的方向设置有与限位块配合的限位槽16。
61.在本实施例中，限位块与限位槽16的配合能便于限位卡块10的安装与固定，从而提高了缓冲底座安装的便捷性。
62.实施例六
63.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，除了包括前述实施例的技术方案外，还具有以下技术特征。在斜面凸台15的底部向下孔部9内延伸有导向柱17，导向柱17上设置有外螺纹，并在外螺纹上设置有限位环18，并在下孔部9内设置有抵向限位环18的缓冲弹簧19。
64.在本实施例中，通过缓冲弹簧19与限位环18的配合能进一步在检测台面1下侧起到连接的缓冲及减震支撑的效果，从而进一步保证检测台面1的实用性。通过可以调节限位环18的位置来调整缓冲弹簧19的预紧力。
65.实施例七
66.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，除了包括前述实施例的技术方案外，还具有以下技术特征。支撑柱3的底部向内形成有安装孔，在缓冲底板4设置有与安装孔螺纹连接的连接杆20。
67.在本实施例中，通过安装孔与连接杆20连接，从而能提高支撑柱3与缓冲底板4之间安装的便捷性。
68.实施例八
69.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，除了包括前述实施例的技术方案外，还具有以下技术特征。在缓冲底板4外沿设置有若干螺栓孔。
70.在本实施例中，螺纹孔的设置能便于缓冲底板4整体的安装与固定。
71.实施例九
72.本实施例提供了一种多尺寸晶圆盒治具，除了包括前述实施例的技术方案外，还具有以下技术特征。斜面切削部14的横向截面轮廓呈弧形，且与斜面凸台15的侧壁相配合。
73.在本实施例中，斜面切削部14呈弧形，从而能与斜面凸台15更好得过渡。
74.上面结合附图对本技术的实施例进行了描述，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征是可以相互组合的，本技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本技术的启示下，在不脱离本技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本技术的保护之内。