用于晶圆包装盒的密封性检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆包装盒密封性检测领域，更具体地说，涉及一种用于晶圆包装盒的密封性检测装置。


背景技术：

2.相关技术中，用于检测fosb(晶圆包装盒)的密封性，通常是将fosb(晶圆包装盒)放入水中检测，或者人为将盖部破坏，往fosb(晶圆包装盒)里面充气，这几种方案操作不方便，也不利于fosb(晶圆包装盒)无尘保护，容易导致产品被破坏，不能继续使用。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种用于晶圆包装盒的密封性检测装置。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种用于晶圆包装盒的密封性检测装置，包括第一模具、第二模具、驱动机构、充压组件、以及气压检测组件；
5.所述第一模具以及所述第二模具可开合设置，用于供待检晶圆包装盒装入；
6.所述驱动机构与所述第一模具和/或所述第二模具连接，用于带动所述第一模具以及所述第二模具做开合运动；
7.所述充压组件与所述第一模具和/或第二模具连接，用于在所述第一模具以及第二模具合并后向所述第一模具以及第二模具中充压；
8.所述气压检测组件与所述第一模具和/或第二模具连接，用于检测合并后所述第一模具以及所述第二模具中的压力变化。
9.在一些实施例中，所述充压组件包括管接头、充气管路；所述管接头设置于所述第一模具上，且与所述充气管路连接。
10.在一些实施例中，所述驱动机构包括带动所述第二模具朝所述第一模具做开合运动的升降气缸。
11.在一些实施例中，还包括用于给所述第二模具运动导向的导向结构。
12.在一些实施例中，所述导向结构包括第一安装板、与所述第一安装板平行且间隔设置的第二安装板、设置于所述第一安装板以及所述第二安装板之间的两组导向杆、设置于每组导向杆上且沿所述导向杆的轴向滑动的滑架；
13.所述第二模具上设置有第一连接板，所述第一连接板与所述滑架连接；
14.所述驱动机构与所述滑架连接，通过驱动所述滑架沿所述导向杆的轴向滑动，进而带动所述第二模具与所述第一模具开合运动。
15.在一些实施例中，每组导向杆包括两个导向杆；所述滑架包括与两个所述导向杆对应设置的两个滑套、以及连接两个所述滑套的第二连接板，所述第一连接板与所述第二连接板连接。
16.在一些实施例中，还包括第一缓冲结构；
17.所述第一缓冲结构设置于所述第一安装板上，用于给所述第二模具向远离第一模具方向运动缓冲。
18.在一些实施例中，还包括第二缓冲结构；所述第二缓冲结构可与所述第一连接板弹性接触设置，用于给所述第二模具向靠近所述第一模具方向运动缓冲。
19.在一些实施例中，所述第一模具和/或所述第二模具中设置有固定待检工件的固定结构。
20.在一些实施例中，所述固定结构上设置有气流通孔。
21.实施本实用新型的用于晶圆包装盒的密封性检测装置，具有以下有益效果：该用于晶圆包装盒的密封性检测装置通过将第一模具以及第二模具开合设置，以及通过充压组件向该第一模具和第二模具中充入压力，并通过气压检测组件检测合并后第一模具以及第二模具的压力变化，从而实现在无拆封晶圆包装盒的状态下，对晶圆包装盒进行密封性检测，避免晶圆包装盒在检测过程中破坏以及可实现对晶圆包装盒进行无尘保护，提高检测效率。
附图说明
22.下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
23.图1是本实用新型一些实施例中用于晶圆包装盒的密封性检测装置的结构示意图；
24.图2是图1所示的用于晶圆包装盒的密封性检测装置的局部结构示意图；
25.图3是图2所示的用于晶圆包装盒的密封性检测装置的局部结构分解示意图。
具体实施方式
26.为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。
27.图1示出了本实用新型用于晶圆包装盒的密封性检测装置的一些优选实施例。该用于晶圆包装盒的密封性检测装置可在晶圆包装盒无拆封的状态下对晶圆包装盒的密封性进行检测。用于晶圆包装盒的密封性检测装置可避免晶圆包装盒在检测过程中破坏以及可实现对晶圆包装盒进行无尘保护，提高检测效率。
28.如图1及图2所示，在一些实施例中，该用于晶圆包装盒的密封性检测装置包括第一模具10、第二模具20、驱动机构30、充压组件以及气压检测组件。该第一模具10以及第二模具20可开合设置，以便于待检晶圆包装盒装入或取出。该驱动机构30与该第二模具20连接，用于驱动该第二模具20升降，也即朝该第一模具10做靠近或远离运动，实现与该第一模具10开合。可以理解地，在其他一些实施例中，该驱动机构30也可与该第一模具10或者只与该第一模具10连接，用于带动该第一模具10朝该第二模具20做靠近或者远离运动，实现与该第二模具20开合。该充压组件可与该第一模具10连接，当然，在其他一些实施例中，该充压组件也可与该第二模具20连接，可在第一模具 10和该第二模具20合并后用于向该第一模具10和第二模具20中充压。在一些实施例中，该气压检测组件可与该第一模具10连接，其可用于检测合并后第一模具10以及该第二模具20中的压力变化，进而可实现对晶圆包装盒的密封性进行检测。
29.进一步地，在一些实施例中，该第一模具10可包括第一本体11以及第一腔体12，该第一本体11可呈长方体状，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一本体11可不限于呈长方体状。在一些实施例中，该第一腔体12 可形成于该第一本体11中，该第一腔体12可供待检的晶圆包装盒至少部分容置于其中。在一些实施例中，该第一模具10可采用塑料制成，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一模具10可不限于采用塑料制成。
30.在一些实施例中，该第二模具20的形状以及尺寸可与该第一模具10相适配。该第二模具20可包括第二本体21以及第二腔体22；该第二本体21可呈长方体状，当然，可以理解地，该第二本体21可不限于呈长方体状。在一些实施例中，该第二腔体22可形成于该第二本体21中，该第二腔体22可与该第一腔体12拼接形成容置腔，用于将整个晶圆包装盒容置于其中。在一些实施例中，该第二模具20可采用塑料制成，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第二模具20可不限于采用塑料制成。在一些实施例中，该第二模具20上设置有第一连接板23，该第一连接板23可位于该第二模具20的顶部，且可向该第二模具20的两相对侧延伸出。在一些实施例中，该第一连接板23 可与该驱动机构30通过该导向结构50中的滑架54连接，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一连接板23也可直接与该驱动机构30连接。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一连接板23可以省去。
31.在一些实施例中，该驱动机构30可以为升降机构，具体地，其驱动机构 30可以为升降气缸31，在一些实施例中，该升降气缸31可以为两个，该两个升降气缸31可设置于该第二模具30的两相对侧，其可带动该第二模具30朝该第一模具10做升降运动，进而实现与该第一模具10开合。
32.在一些实施例中，该充压组件可包括管接头40、以及充气管路；该管接头40设置于该第一模具10上，该充气管路的一端与该管接头40连接，且另一端可连接气泵或者其他供气结构，通过向该第一模具10以及第二模具30 中充入气体，进而可增大该第一模具10以及第二模具20中的压力。
33.在一些实施例中，该用于晶圆包装盒的密封性检测装置还包括导向结构 50；该导向结构50可用于给该第二模具20运动导向。在一些实施例中，该导向结构50包括第一安装板51、第二安装板52、两组导向杆53、以及滑架54。该第一安装板51可与该第二安装板52平行设置。在一些实施例中，该第一安装板51可以为方形板。在一些实施例中，该第二安装板52的尺寸可小于该第一安装板51的尺寸。在一些实施例中，该第二安装板52可以为多个。该第二安装板52可与该导向杆53一一对应设置。该两组导向杆53可设置于该第一安装板51以及第二安装板52之间，且该两组导向杆53可间隔设置。每一导向杆53的两端可分别与该第一安装板51以及第二安装板52连接。该滑架54 可设置于每组导向杆53上，且可沿该导向杆53的轴向滑动。该第二模具20 可通过第一连接板23与该滑架54连接。在一些实施例中，该驱动机构30可与该滑架54连接，通过驱动该滑架54沿导向杆53的轴向滑动，进而带动该第二模具20与该第一模具10做开合运动。
34.在一些实施例中，每组导向杆53包括两个导向杆53，该两个导向杆53 可并排且间隔设置，在一些实施例中，该导向杆53可呈圆柱状，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该导向杆53可不限于呈圆柱状。
35.在一些实施例中，该滑架54可包括滑套541以及第二连接板542；该滑套541可以为两个，该两个滑套541可与该两个导向杆53对应设置，具体地，每个滑套541可套设于对应的
一个导向杆53上。在一些实施例中，该滑套541 可以为轴承，其可沿该导向杆53的轴向往复运动。该第二连接板542可连接于该两个滑套541，其可用于将该两个滑套541连接形成一体结构。该第一连接板23可通过螺钉连接于该第二连接板542上。
36.在一些实施例中，该晶圆包装盒的密封性检测装置可包括第一缓冲结构 60以及第二缓冲结构70；该第一缓冲结构60可设置于该第一安装板51上，且可朝该第二安装板52的方向延伸，其可用于给该第二模具20向远离该第一模具10方向运动缓冲。在一些实施例中，该第一缓冲结构60可以选择常规的缓冲器。该第二缓冲结构70设置于在该两组导向杆53之间设置支架80上，该第二缓冲结构70位于该导向杆53的下部，用于给该第二模具20向靠近该第一模具10方向运动缓冲。在一些实施例好，该第二缓冲结构70可以选择为常规的缓冲器。当该第二模具20向上运动至靠近该第一安装板51时，该第二模具20上的第一连接板23可与该第一缓冲结构60弹性接触。当该第二模具 20向下运动至靠近该第一模具10时，该第一连接板23可与该第二缓冲结构 70弹性接触。
37.如图3所示，在一些实施例中，该用于晶圆包装盒的米饭性检测装置还包括固定结构90；该固定结构90可设置于该第一模具10中；当然，可以理解地，在其他一些实施例中，其可设置于该第二模具20中。该固定结构90可以为硅胶底座，内侧设置有插槽，可供该晶圆包装盒插入固定。在一些实施例中，该固定结构90上设置有气流通孔91，该气流通孔91可用于供充压组件的充入的气体进入该固定结构90中。
38.该密封性检测装置检测晶圆包装盒密封性时，可先将待检测的晶圆包装盒放入该固定结构90中，在按下启动按钮，该驱动机构30驱动该滑架54沿该导向杆53向第一模具10方向运动，从而带动该第二模具20向该第一模具10 运动，当该第二模具20的第一连接板23接触到第二缓冲结构70时，该第一模具10以及该第二模具20合并。采用充压组件向该第一模具10以及第二模具20中充压至设定压力，然后通过气压检测组件对第一模具10以及第二模具 20内部的气压进行检测，当第一模具10以及第二模具20中的气压减小，则该晶圆包装盒密封性不佳，当第一模具10以及第二模具20中的气压不变，则该晶圆包装盒的密封性良好。测试完毕后，可通过驱动机构30驱动该第二模具20朝远离该第一模具10方向向上运动至第一安装板31处于该第一缓冲结构60接触，可将该晶圆包装盒从该第一模具10中取出。继续重复上述步骤对下一个晶圆包装盒进行检测。
39.可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。