一种用于半导体检测的ESD静电冲击测试仪的制作方法

文档序号:33210530发布日期:2023-02-10 20:31阅读:103来源:国知局
一种用于半导体检测的ESD静电冲击测试仪的制作方法
一种用于半导体检测的esd静电冲击测试仪
技术领域
1.本实用新型涉及半导体检测技术领域,具体为一种用于半导体检测的esd静电冲击测试仪。


背景技术:

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,半导体器件在使用的过程中会受到静电冲击,因此在半导体器件的生产过程中,需要通过esd静电冲击测试仪对半导体器件进行测试;
3.现有的esd静电冲击测试仪在使用时,将放电枪通过连接导线插接到esd静电冲击测试仪的本体上,通过控制面板对测试仪进行设定,然后将待测试的半导体器件放置在测试台架上,通过放电枪释放静电对半导体器件进行测试;
4.但是现有的esd静电冲击测试仪的放电枪的连接导线与放电枪是固定连接的,在使用后通常是将连接导线缠绕在放电枪上,或着将导线收卷后挂在放电枪的一侧,在对esd静电冲击测试仪搬运移动时,容易导致连接导线散落,给esd静电冲击测试仪的搬运移动造成麻烦。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种用于半导体检测的esd静电冲击测试仪,以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
7.一种用于半导体检测的esd静电冲击测试仪,所述用于半导体检测的esd静电冲击测试仪包括:
8.esd静电冲击测试仪主体,esd静电冲击测试仪主体的一侧设置有检测台架,检测台架的侧面开设有收纳仓,收纳仓的内部设置有导向杆;
9.收纳架内板,收纳架内板设置于收纳仓的内部,收纳架内板的表设置有弧形缠绕板,弧形缠绕板的表面设置有收纳架外板;
10.安装壳,安装壳设置于收纳架外板的表面,安装壳的表面开设有滑槽,安装壳的内部设置有定位板。
11.优选的,所述检测台架的表面设置有半导体器件固定架,且检测台架的顶面通过支架设置有放电枪,放电枪的表面固定连接有连接导线,放电枪通过连接导线与esd静电冲击测试仪主体电性连接,esd静电冲击测试仪主体的侧面设置有电源插口。
12.优选的,所述收纳仓开设于检测台架远离esd静电冲击测试仪主体的一侧,收纳仓的侧壁开设有通槽,通槽贯穿收纳仓的侧壁与通槽的表面。
13.优选的,所述导向杆设置有两组,导向杆的顶端固定设置有限位板,限位板远离导向杆的一端延伸至收纳仓的外部,限位板的表面开设有定位槽,两组限位板对称设置。
14.优选的,所述收纳架内板与收纳仓的内壁滑动设置,收纳架内板的表面开设有两组导向孔,收纳架内板通过导向孔滑动套设于导向杆的表面。
15.优选的,所述弧形缠绕板与收纳架内板朝向收纳仓外侧的一面固定连接,弧形缠绕板对称设置有两组。
16.优选的,所述收纳架外板与弧形缠绕板远离收纳架内板的一端固定连接,收纳架外板的表面开设有插接孔,插接孔的内壁与限位板滑动设置。
17.优选的,所述安装壳呈“匚”形板状结构,安装壳与收纳架外板远离弧形缠绕板的一侧表面固定连接,滑槽贯穿安装壳的两侧,滑槽的侧壁开设有一号限位槽和二号限位槽,滑槽开设有两组,两组滑槽对称开设。
18.优选的,所述定位板呈方形板状结构,定位板与安装壳的内壁滑动设置,且定位板与收纳架外板的表面滑动设置,定位板靠近安装壳的一侧固定安装有控制拉手,控制拉手呈“匚”形柱体结构,控制拉手的两端分别滑动设置于滑槽的内部,控制拉手的两端分别固定设置有弹性定位块。
19.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
20.本实用新型提出的一种用于半导体检测的esd静电冲击测试仪,通过控制拉手将收纳架外板和弧形缠绕板从收纳仓的内部拉出,将连接导线缠绕到弧形缠绕板的表面,通过控制拉手将收纳架外板推入收纳仓的内部,使连接导线进入通槽的内部,然后通过控制拉手控制定位板插接到定位槽的内部,将收纳架外板和弧形缠绕板固定于收纳仓的内部,从而将缠绕在弧形缠绕板表面的连接导线被固定于收纳仓的内部,避免了在对esd静电冲击测试仪搬运移动时,导致连接导线散落的问题。
附图说明
21.图1为本实用新型连接导线使用时结构示意图;
22.图2为本实用新型图1中a处放大结构示意图;
23.图3为本实用新型连接导线收纳后结构示意图;
24.图4为本实用新型检测台架结构示意图;
25.图5为本实用新型收纳架内板结构示意图;
26.图6为本实用新型图5中b处放大结构示意图;
27.图7为本实用新型定位板结构示意图;
28.图8为本实用新型图7中c处放大结构示意图。
29.图中:esd静电冲击测试仪主体1、放电枪11、连接导线12、检测台架2、收纳仓21、导向杆22、限位板23、定位槽24、通槽25、收纳架内板3、导向孔31、弧形缠绕板32、收纳架外板33、插接孔34、安装壳4、滑槽41、一号限位槽42、二号限位槽43、定位板5、控制拉手51、弹性定位块52。
具体实施方式
30.为了使本发明的目的、技术方案进行清楚、完整地描述,及优点更加清楚明白,以下结合附图对本发明实施例进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例,仅仅用以解释本发明实施例,并不用于限定本
发明实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
31.实施例一
32.请参阅图1-图7,本实用新型提供一种技术方案:
33.一种用于半导体检测的esd静电冲击测试仪,所述用于半导体检测的esd静电冲击测试仪包括:esd静电冲击测试仪主体1的一侧设置有检测台架2,检测台架2的侧面开设有收纳仓21,收纳仓21的内部设置有导向杆22;收纳架内板3设置于收纳仓21的内部,收纳架内板3的表设置有弧形缠绕板32,弧形缠绕板32的表面设置有收纳架外板33;安装壳4设置于收纳架外板33的表面,安装壳4的表面开设有滑槽41,安装壳4的内部设置有定位板5;检测台架2的表面设置有半导体器件固定架,且检测台架2的顶面通过支架设置有放电枪11,放电枪11的表面固定连接有连接导线12,放电枪11通过连接导线12与esd静电冲击测试仪主体1电性连接,esd静电冲击测试仪主体1的侧面设置有电源插口;在esd静电冲击测试仪使用完成后,将连接导线12从放电枪11处拔下,然后将连接导线12缠绕在弧形缠绕板32的表面,推动收纳架外板33进入收纳仓21的内部,并对收纳架外板33的位置进行固定,从而将连接导线12收纳在收纳仓21的内部。
34.实施例二
35.在实施例一的基础上,为实现收纳架外板33的移动,收纳仓21开设于检测台架2远离esd静电冲击测试仪主体1的一侧,收纳仓21的侧壁开设有通槽25,通槽25贯穿收纳仓21的侧壁与通槽25的表面;导向杆22设置有两组,导向杆22的顶端固定设置有限位板23,限位板23远离导向杆22的一端延伸至收纳仓21的外部,限位板23的表面开设有定位槽24,两组限位板23对称设置;收纳架内板3与收纳仓21的内壁滑动设置,收纳架内板3的表面开设有两组导向孔31,收纳架内板3通过导向孔31滑动套设于导向杆22的表面;弧形缠绕板32与收纳架内板3朝向收纳仓21外侧的一面固定连接,弧形缠绕板32对称设置有两组;收纳架外板33与弧形缠绕板32远离收纳架内板3的一端固定连接,收纳架外板33的表面开设有插接孔34,插接孔34的内壁与限位板23滑动设置;由于收纳架内板3与收纳仓21的内壁滑动设置,且收纳架内板3通过导向孔31滑动套设于导向杆22的表面,收纳架外板33通过弧形缠绕板32与收纳架内板3固定连接,从而实现了收纳架外板33的移动。
36.实施例三
37.在实施例二的基础上,为实现对收纳架外板33位置的固定,安装壳4呈“匚”形板状结构,安装壳4与收纳架外板33远离弧形缠绕板32的一侧表面固定连接,滑槽41贯穿安装壳4的两侧,滑槽41的侧壁开设有一号限位槽42和二号限位槽43,滑槽41开设有两组,两组滑槽41对称开设;定位板5呈方形板状结构,定位板5与安装壳4的内壁滑动设置,且定位板5与收纳架外板33的表面滑动设置,定位板5靠近安装壳4的一侧固定安装有控制拉手51,控制拉手51呈“匚”形柱体结构,控制拉手51的两端分别滑动设置于滑槽41的内部,控制拉手51的两端分别固定设置有弹性定位块52;推动控制拉手51带动收纳架外板33移动到收纳仓21的内部,使限位板23穿过插接孔34,此时定位槽24与定位板5的位置对齐,通过控制拉手51带动定位板5插接到定位槽24的内部,同时弹性定位块52从陪你过一号限位槽42的内部脱离卡接到二号限位槽43的内部,阻止了收纳架外板33从收纳仓21的内部脱离,从而固定了收纳架外板33的位置。
38.实际使用时,在对半导体器件检测时,将半导体器件固定到检测台架2表面的固定架上,通过连接导线12将放电枪11与esd静电冲击测试仪主体1连接,通过控制面板对esd静电冲击测试仪主体1进行设置,然后通过放电枪11释放静电对半导体器件进行检测,检测完成后将连接导线12从esd静电冲击测试仪主体1处拔下,通过控制拉手51控制定位板5从定位槽24的内部脱离,使弹性定位块52从二号限位槽43的内部脱离卡接到一号限位槽42的内部,然后通过控制拉手51将收纳架外板33和弧形缠绕板32从收纳仓21的内部拉出,将连接导线12缠绕到弧形缠绕板32的表面,通过控制拉手51将收纳架外板33推入收纳仓21的内部,使连接导线12进入通槽25的内部,避免对连接导线12造成挤压,同时限位板23穿过插接孔34,此时定位槽24与定位板5对齐,通过控制拉手51控制弹性定位块52从一号限位槽42的内部脱离进入二号限位槽43的内部,使定位板5插接到定位槽24的内部,将收纳架外板33和弧形缠绕板32固定于收纳仓21的内部,从而将缠绕在弧形缠绕板32表面的连接导线12被固定于收纳仓21的内部。
39.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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