一种新型的激光椭偏仪结构的制作方法

1.本实用新型涉及椭偏仪技术领域，具体为一种新型的激光椭偏仪。


背景技术：

2.激光型椭偏仪基于椭圆偏振测试技术，通过测试线偏振光经过样品反射后偏振态振幅和相位的改变，建立样品相应光学模型，计算出薄膜的厚度、折射率和消光系数。主要应用于测试具有绒面结构的晶体硅减反射膜的厚度和光学特性。
3.现有的激光椭偏仪较为复杂，使用不便；结构不稳固，导致光学系统位置变化，影响测量精度；非模块化设计，维护复杂且成本高昂。


技术实现要素：

4.本实用新型所解决的技术问题在于提供一种使用便捷、结构牢固、模块化设计的激光椭偏仪，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种新型的激光椭偏仪，包括底座及安装在底座上用于放置测试片的载物台、及用于对测试片进行光学测量的入射臂和接收臂，所述入射臂和接收臂内部分别安装有光学组件及运动器件，所述底座的下端设有与入射臂和接收臂电性连接的控制箱，底座位于载物台的一侧竖向安装有支撑板，支撑板的中部设有旋转轴，所述入射臂和接收臂分别通过连接件转动安装在旋转轴上，并通过连接件与支撑板卡接，以固定住入射臂和接收臂的角度。
6.作为本实用新型进一步方案：所述连接件包括转动安装在旋转轴上的转动块、设置在转动块外端的连接块和固定拉锁，固定拉锁用于将连接件锁紧于支撑板上。
7.作为本实用新型进一步方案：所述入射臂包括入射外罩及设置在入射外罩一侧的入射板，入射外罩朝向载物台的一侧设有发射光源的镜头，所述入射板外端与连接块固定连接，以对入射臂进行调节定位。
8.作为本实用新型进一步方案：所述接收臂包括接收外罩及设置在接收外罩一侧的接收板，所述接收板与连接块固定连接，以对接收臂进行调节定位。
9.作为本实用新型进一步方案：所述载物台为斜台面结构，载物台包括可拆卸安装在底板上的斜台座及用于放置测试片的斜台面板，所述斜台座通过螺栓固定安装在底板上，斜台座上端固定安装有斜台面支撑块，并通过斜台面支撑块固定住斜台面板，斜台面板倾斜设置。
10.作为本实用新型进一步方案：所述载物台为平台面结构，载物台包括可拆卸安装在底板上的平台座及用于放置测试片的平台面板，所述平台座通过螺栓固定安装在底板上，平台座上端固定安装有平台面支撑块，并通过平台面支撑块固定住平台面板，平台面板水平设置。
11.作为本实用新型进一步方案：所述载物台上分散设有定位槽，定位槽内安装有对测试片进行定位的挡块。
12.作为本实用新型进一步方案：所述底座包括底板及分散设置在底板四周的底脚，所述控制箱固定安装在底板的下端，底板的上端对应支撑板设有卡槽。
13.作为本实用新型进一步方案：所述支撑板的下端嵌入卡槽内卡接，并通过加强筋将支撑板与底板垂直固定连接，所述加强筋分别设置在支撑板的同侧两端，加强筋通过螺栓分别与支撑板和底板固定连接，支撑板的上端外侧为弧形结构，并标注有刻度角。
14.作为本实用新型进一步方案：所述控制箱包括箱体，箱体底部设有安装器件的安装板，箱体四周分布设有连接柱，连接柱与底板通过螺栓连接，箱体的一侧分布有接口和开关，实现对外的信号交互及供电需求。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：载物台可拆卸设置，以便切换斜台面和平台面，满足不同角度的测试需求，入射臂和接收臂通过连接件转动安装在旋转轴上，并通过固定拉锁进行固定，操作简单，稳定可靠，旋转轴通过连接件使入射臂和接收臂与支撑板保持平行，保持光路稳定，提高测量精度。该装置通过模块化的设计，实现了设备整体结构的简便、合理、易维护性。同时，优化了外观设计，使设备既美观，又耐用，具有极高的可靠性。材料整体选用铝合金材料，保障了各关键区域的散热性能，设备内部器件良好的工作环境温度，降低了整体质量，使设备运输、移动方便。各分立模块可单独设计、单独升级优化，提高了设备的可扩展性及后续提升空间。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为本实用新型的支撑板结构示意图；
18.图3为本实用新型的连接件结构示意图；
19.图4为本实用新型的入射臂结构示意图；
20.图5为本实用新型的接收臂结构示意图；
21.图6为本实用新型的平台面载物台结构示意图；
22.图7为本实用新型的斜台面载物台结构示意图一；
23.图8为本实用新型的斜台面载物台结构示意图二；
24.图9为本实用新型的底座结构示意图；
25.图10为本实用新型的控制箱结构示意图；
26.图中标识：1、底座；2、载物台；3、入射臂；4、接收臂；5、控制箱；6、支撑板；7、连接件；11、底板；12、底脚；21、斜台座；22、斜台面板；23、斜台面支撑块；24、平台座；25、平台面板；26、平台面支撑块；27、定位槽；28、挡块；31、入射外罩；32、入射板；33、镜头；41、接收外罩；42、接收板；51、箱体；52、安装板；53、连接柱；54、接口；61、旋转轴；62、加强筋；71、转动块；72、连接块；73、固定拉锁。
具体实施方式
27.为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
28.如图1～10所示，
29.本实施例提供了一种新型的激光椭偏仪，包括底座1及安装在底座1上用于放置测
试片的载物台2、及用于对测试片进行光学测量的入射臂3和接收臂4，所述入射臂3和接收臂4内部分别安装有光学组件及运动器件，所述底座1的下端设有与入射臂3和接收臂4电性连接的控制箱5，底座1位于载物台2的一侧竖向安装有支撑板6，支撑板6的中部设有旋转轴61，所述入射臂3和接收臂4分别通过连接件7转动安装在旋转轴61上，并通过连接件7与支撑板6卡接，以固定住入射臂3和接收臂4的角度。所述连接件7包括转动安装在旋转轴61上的转动块71、设置在转动块71外端的连接块72和固定拉锁73，固定拉锁73用于将连接件7锁紧于支撑板6上。当入射臂3和接收臂4调节到位后，通过固定拉锁73固定，以便于入射臂3和接收臂4进行位置角度调节。
30.本实施例中，入射臂3包括入射外罩31及设置在入射外罩31一侧的入射板32，入射外罩31朝向载物台2的一侧设有发射光源的镜头33，所述入射板32外端与连接块72固定连接，以对入射臂3进行调节定位。所述接收臂4包括接收外罩41及设置在接收外罩41一侧的接收板42，所述接收板42与连接块72固定连接，以对接收臂4进行调节定位。
31.本实施例中，载物台2为斜台面结构，载物台2包括可拆卸安装在底板11上的斜台座21及用于放置测试片的斜台面板22，所述斜台座21通过螺栓固定安装在底板11上，斜台座21上端固定安装有斜台面支撑块23，并通过斜台面支撑块23固定住斜台面板22，斜台面板22倾斜设置。所述载物台2为平台面结构，载物台2包括可拆卸安装在底板11上的平台座24及用于放置测试片的平台面板25，所述平台座24通过螺栓固定安装在底板11上，平台座24上端固定安装有平台面支撑块26，并通过平台面支撑块26固定住平台面板25，平台面板25水平设置。所述载物台2上分散设有定位槽27，定位槽27内安装有对测试片进行定位的挡块28。
32.本实施例中，底座1包括底板11及分散设置在底板11四周的底脚12，所述控制箱5固定安装在底板11的下端，底板11的上端对应支撑板6设有卡槽。所述支撑板6的下端嵌入卡槽内卡接，并通过加强筋62将支撑板6与底板11垂直固定连接，所述加强筋62分别设置在支撑板6的同侧两端，加强筋62通过螺栓分别与支撑板6和底板11固定连接，支撑板6的上端外侧为弧形结构，并标注有刻度角。控制箱5包括箱体51，箱体51底部设有安装器件的安装板52，箱体51四周分布设有连接柱53，连接柱53与底板11通过螺栓连接，箱体51的一侧分布有接口54和开关，实现对外的信号交互及供电需求。
33.具体的，测试片放置在载物台2上，入射臂3和接收臂4对测试片进行光学测量。载物台2可拆卸设置，以便切换斜台面和平台面，满足不同角度的测试需求，入射臂3和接收臂4通过连接件7转动安装在旋转轴61上，并通过固定拉锁73进行固定，操作简单，稳定可靠，旋转轴61通过连接件7使入射臂3和接收臂4与支撑板6保持平行，保持光路稳定，提高测量精度。
34.该装置通过模块化的设计，实现了设备整体结构的简便、合理、易维护性。同时，优化了外观设计，使设备既美观，又耐用，具有极高的可靠性。材料整体选用铝合金材料，保障了各关键区域的散热性能，设备内部器件良好的工作环境温度，降低了整体质量，使设备运输、移动方便。各分立模块可单独设计、单独升级优化，提高了设备的可扩展性及后续提升空间。
35.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述
的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。需要说明的是，在本文中，如若存在第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。