一种探卡固定装置的制作方法

1.本技术一般涉及芯片测试领域，尤其涉及一种探卡固定装置。


背景技术：

2.探卡作为一种多探针的测试电路，可用于对待测芯片上的不同点位进行同时测试，这样可以极大的提高测试芯片时的效率。在对探卡加工过程中，现有的探卡固定装置一般使用螺丝穿过探卡上的通孔，并将探卡压紧在探卡盘上，然后再将探卡盘固定在测试台上，其中探卡盘用于调节探卡上局部区域的相对位置。但此种固定装置在使用时需要将螺丝穿过探卡上的通孔，操作不慎有可能会将通孔边缘的功能电路破坏；另外如果旋拧螺丝的力度过大还会损坏探卡。因此上述固定方式亟需改进。


技术实现要素：

3.鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种更有利于保护探卡的探卡固定装置。
4.具体技术方案如下：
5.本技术提供一种探卡固定装置，包括：
6.测试台；
7.探卡盘，所述探卡盘连接于所述测试台上；
8.固定机构，所述固定机构包括压板和第一螺丝，所述压板的一侧轴连接于所述探卡盘上，当所述压板受到沿第一方向的第一压力时，所述压板的另一侧可将探卡压在所述探卡盘上，所述第一方向为所述压板与所述探卡盘排列的方向；所述固定机构具有压合状态和打开状态，当其处于压合状态时，所述第一螺丝穿过所述压板上的第一通孔，与所述探卡盘螺纹紧固，并向所述压板施加所述第一压力；当其处于打开状态时，所述第一螺丝被旋松。
9.可选的，所述固定机构还包括弹性件，所述弹性件设于所述压板与所述探卡盘之间，当所述固定机构处于压合状态时，所述弹性件处于压缩状态。
10.可选的，所述打开状态包含有第一打开状态和第二打开状态，在所述第一打开状态下，所述压板与所述探卡盘之间呈第一设定角度，所述第一螺丝仍与所述探卡盘连接，所述弹性件仍处于压缩状态；
11.在所述第二打开状态下，所述压板与所述探卡盘之间呈第二设定角度，所述第二设定角度大于所述第一设定角度；
12.所述固定机构还包括限位组件，所述限位组件包括限位片和第二螺丝，
13.所述限位片上设有第二通孔，所述第二螺丝的螺杆穿过所述第二通孔并与所述探卡盘螺纹连接，其螺帽与所述探卡盘之间形成滑动空间，用于容纳所述限位片相对于所述第二螺丝沿第二方向滑动，所述第二方向为所述第二通孔横截面的延伸方向，在所述限位片滑动过程中形成有第一工位和第二工位，当其位于所述第一工位时，所述限位片可将所
述固定机构限定在所述第一打开状态；当其位于所述第二工位时，所述固定机构可由所述第一打开状态切换为所述第二打开状态。
14.可选的，所述探卡盘可分为沿所述第一方向排列的第一探卡盘和第二探卡盘，所述固定机构设于所述第一探卡盘上，所述第二探卡盘用于与所述测试台连接，所述第二探卡盘上设有用于容纳所述第一探卡盘的凹槽，所述第一探卡盘放置于所述凹槽内，并可在所述凹槽内转动。
15.可选的，还包括转动调节机构，所述转动调节机构包括拨动杆，所述拨动杆铰接于所述第一探卡盘和所述第二探卡盘之间。
16.可选的，所述转动调节机构还包括第三螺丝，所述第三螺丝穿过所述拨动杆上的第三通孔，当其与所述第二探卡盘螺纹紧固后，可将所述拨动杆的相对位置锁定。
17.可选的，所述第二探卡盘上设有第四通孔；
18.所述探卡固定装置还包括第四螺丝，所述第四螺丝与所述第四通孔螺纹配合，所述第四螺丝的一端穿过所述第四通孔并与所述测试台抵接。
19.本技术有益效果在于：
20.在使用该固定装置时，先将所述探卡盘固定于所述测试台上，然后再将所述第一螺丝拧松，使得所述固定机构处于打开状态，此时在所述压板与所述探卡盘之间形成有缝隙，将探卡的边缘插入该缝隙后，再将所述第一螺丝紧固，所述固定机构处于压合状态。这样探卡盘只是通过与探卡边缘接触即可将其压紧在所述探卡盘上。从而有效避免了对探卡上功能性电路的破坏，进而更加有利于保护探卡。
附图说明
21.通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
22.图1为本技术实施例提供的探卡固定装置的结构示意图；
23.图中标号：2，探卡盘；31，压板；32，第一螺丝；33，限位片；34，第二螺丝；21，第一探卡盘；22，第二探卡盘；41，拨动杆；42，第三螺丝；5，第四螺丝。
具体实施方式
24.下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
25.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
26.请参考图1，为本实施例提供的一种探卡固定装置，包括：
27.测试台；
28.探卡盘2，所述探卡盘2连接于所述测试台上；
29.固定机构，所述固定机构包括压板31和第一螺丝32，所述压板31的一侧轴连接于所述探卡盘2上，当所述压板31受到沿第一方向的第一压力时，所述压板31的另一侧可将探卡压在所述探卡盘2上，所述第一方向为所述压板31与所述探卡盘2排列的方向；所述固定
机构具有压合状态和打开状态，当其处于压合状态时，所述第一螺丝32穿过所述压板31上的第一通孔，与所述探卡盘2螺纹紧固，并向所述压板31施加所述第一压力；当其处于打开状态时，所述第一螺丝32被旋松。
30.在使用该固定装置时，先将所述探卡盘2固定于所述测试台上，然后再将所述第一螺丝32拧松，使得所述固定机构处于打开状态，此时在所述压板31与所述探卡盘2之间形成有缝隙，将探卡的边缘插入该缝隙后，再将所述第一螺丝32紧固，所述固定机构处于压合状态。这样探卡盘2只是通过与探卡边缘接触即可将其压紧在所述探卡盘2上。从而有效避免了对探卡上功能性电路的破坏，进而更加有利于保护探卡。
31.其中在提升该探卡固定装置使用便利性的优选实施方式中，所述固定机构还包括弹性件，所述弹性件设于所述压板31与所述探卡盘2之间，当所述固定机构处于压合状态时，所述弹性件处于压缩状态。
32.在使用该探卡固定装置取放探卡过程中，需要将所述压板31抬起，而由于在所述压板31与所述探卡盘2之间设置了所述弹性件，因此在取放探卡时，所述固定机构处于打开状态，所述压板31在所述弹性件的作用下，自动抬起。这样便于取放探卡，进而提升了该探卡固定装置的使用便利性。
33.其中在进一步提升该探卡固定装置使用便利性的优选实施方式中，所述打开状态包含有第一打开状态和第二打开状态，在所述第一打开状态下，所述压板31与所述探卡盘2之间呈第一设定角度，所述第一螺丝32与所述探卡盘2连接，所述弹性件处于压缩状态；
34.在所述第二打开状态下，所述压板31与所述探卡盘2之间呈第二设定角度，所述第二设定角度大于所述第一设定角度；
35.所述固定机构还包括限位片33和第二螺丝34，
36.所述限位片33上设有第二通孔，所述第二螺丝34的螺杆穿过所述第二通孔并与所述探卡盘2螺纹连接，其螺帽与所述探卡盘2之间形成滑动空间，用于容纳所述限位片33相对于所述第二螺丝34沿第二方向滑动，所述第二方向为所述第二通孔的径向延伸方向，在所述限位片33滑动过程中形成有第一工位和第二工位，当其位于所述第一工位时，所述限位片33可将所述固定机构限定在所述第一打开状态；当其位于所述第二工位时，所述固定机构可由所述第一打开状态切换为所述第二打开状态。
37.所述限位片33上的所述第二通孔的孔径大于所述第二螺丝34螺杆的直径，因此在所述第二螺丝34螺帽与所述探卡盘2形成的所述滑动空间内，可手动调节所述限位片33相对于所述第二螺丝34的位置，当将其调节至所述第一工位时，所述限位片33将所述固定机构限定在所述第一打开状态，当将其调节至所述第二工位时，所述限位片33将所述固定机构限定在所述第二打开状态，也即依照上述顺序调节所述限位片33后，所述压板31可相对于所述探卡盘2形成更大的角度，便于取放探卡，更重要的是在此过程中可控制所述压板31在所述弹性件作用在翻动的速度和幅度，进而防止所述第一螺丝32被弹出。因而进一步提升了该探卡固定装置的使用便利性。
38.其中在进一步提升该探卡固定装置使用便利性的优选实施方式中，所述探卡盘2可分为沿所述第一方向排列的第一探卡盘21和第二探卡盘22，所述固定机构设于所述第一探卡盘21上，所述第二探卡盘22用于与所述测试台连接，所述第二探卡盘22上设有用于容纳所述第一探卡盘21的凹槽，所述第一探卡盘21放置于所述凹槽内，并可在所述凹槽内转
动。
39.由于所述固定机构安装于所述第一探卡盘21上，所述第二探卡盘22与所述测试台连接，而所述第一探卡盘21与所述第二探卡盘22之间为转动连接，因此所述固定机构连同其上被固定的探卡，可在调解下相对于测试台转动。从而可对探卡上不同位置进行加工。因而进一步提升了该探卡固定装置的使用便利性。
40.其中在进一步提升该探卡固定装置使用便利性的优选实施方式中，还包括转动调节机构，所述转动调节机构包括拨动杆41，所述拨动杆41铰接于所述第一探卡盘21和所述第二探卡盘22之间。
41.通过调节铰接于所述第一探卡盘21和所述第二探卡盘22之间的所述拨动杆41，可便于操作所述第一探卡盘21，使其相对于所述第二探卡盘22转动。需要说明的是，所述拨动杆41与所述第二探卡盘22铰接的一侧具有沿所述拨动杆41延伸方向的所述第三通孔，所述第二探卡盘22上螺纹连接有所述第三螺丝42，在调节所述拨动杆41时，所述第三螺丝42可在所述第三通孔内相对运动，在调节完成后旋紧所述第三螺丝42，即可锁定所述第一探卡盘21和所述第二探卡盘22的相对位置。
42.其中在进一步提升该探卡固定装置使用便利性的优选实施方式中，所述第二探卡盘22上设有第四通孔；
43.所述探卡固定装置还包括第四螺丝5，所述第四螺丝5与所述第四通孔螺纹配合，所述第四螺丝5的一端穿过所述第四通孔并与所述测试台抵接。
44.由于所述第四螺丝5的一端穿过所述第四通孔并与所述测试台抵接，而所述第四螺丝5又与所述第四通孔螺纹配合，因此通过旋拧所述第四螺丝5，可调节所述第二探卡盘22上该处相对于所述第一探卡盘21的高度，进而更加便于对探卡局部进行加工。
45.以上描述仅为本技术的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本技术中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本技术中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。