测试装置的制作方法

1.本技术涉及半导体技术领域，具体涉及测试装置。


背景技术：

2.在连续进行面板(例如m600)的电镀作业时，镀液可能因电镀槽搅拌等原因喷溅并残留在电镀夹具的部分探针上，使该些探针上因氧化铜沉积而阻抗较其他探针高，导致电流分流及金属沉积速度不均，并使面板(panel)上的电镀层均匀性不佳，故需要找出阻抗异常的探针以改善电镀均匀度。


技术实现要素：

3.本技术提供了一种测试装置，适用于配合电镀夹具与面板，其中，所述电镀夹具包括多个间隔设置的探针，所述面板包括本体、多个围绕所述本体边缘间隔设置且分别用于电连接所述探针的衬垫，及多条分别电连接所述衬垫且彼此间隔的线路，所述面板受所述电镀夹具的夹持，所述测试装置包括：
4.至少一个第一测量件，用于电连接所述面板的线路；
5.电流测量模组，电连接所述第一测量件，利用所述第一测量件测量出经过所述面板的线路的第一电流值；
6.第一报警模组，电连接所述电流测量模组，所述第一报警模组响应于所述第一电流值小于第一电流阈值时发出第一提示信号。
7.在一些可选的实施方式中，所述装置还包括：
8.至少一个第二测量件，用于电连接所述面板的线路，所述电流测量模组还电连接所述第二测量件，并且利用所述第二测量件测量出经过所述线路的第二电流值。
9.在一些可选的实施方式中，所述面板包括多个分别用于暴露所述线路的第一测量孔，所述第一测量件适用于插设在所述第一测量孔。
10.在一些可选的实施方式中，所述面板还包括多个分别用于暴露所述线路且较所述第一测量孔远离所述衬垫的第二测量孔，所述第二测量件适用于插设在所述第二测量孔。
11.在一些可选的实施方式中，所述第一测量件和所述第二测量件连接所述面板的本体的同一表面。
12.在一些可选的实施方式中，所述装置还包括：
13.第二报警模组，电连接所述电流测量模组，所述第二报警模组响应于所述第二电流值小于第二电流阈值时发出第二提示信号。
14.在一些可选的实施方式中，所述装置还包括：
15.电源供应模组，电连接所述第一测量件、所述第二测量件、所述电流测量模组、所述第一报警模组及所述第二报警模组。
16.在一些可选的实施方式中，所述第一报警模组响应于第一提示信号对应于连续预设数目的探针时发出维护提示信号。
17.在一些可选的实施方式中，所述电流测量模组还利用所述第一测量件测量出经过所述面板的线路的第三电流值。
18.在一些可选的实施方式中，所述装置还包括：
19.第三报警模组，电连接所述电流测量模组，所述第三报警模组响应于所述第三电流值小于第三电流阈值时发出第三提示信号。
20.本技术提供的测试装置通过测量通过探针的电流值得知阻抗是否正常，具体是以电镀夹具夹持面板，使电镀夹具的探针接触面板的衬垫，并将测试装置的第一测量件插入位于面板正面外围的第一测量孔，再将测试装置的第二测量件插入位于面板正面中央的第二测量孔，接着以测试装置对电镀夹具进行通电，测试装置可以量测通过探针的电流值，当电流值小于电流阈值时则表示探针的阻抗异常将使电镀均匀度无法达到标准，可以找出阻抗异常的探针进行需要更换或保养以改善电镀均匀度。
附图说明
21.通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
22.图1是根据本技术实施例的测试装置的示意性结构图；
23.图2是根据本技术实施例的测试装置适用于配合电镀夹具与面板的示意性截面图；
24.图3是根据本技术实施例的测试装置适用于配合电镀夹具与面板的示意性俯视图；
25.图4是根据本技术实施例中面板的示意性俯视图；
26.图5a是根据本技术实施例中电镀夹具的汇流条和汇流排的结构示意图；
27.图5b是根据本技术实施例中电镀夹具的探针的结构示意图。
28.符号说明：
29.1-测试装置，11-电源供应模组，12-电流测量模组，13-第一报警模组，14-第二报警模组，15-第三报警模组，16-第一测量件，17-第二测量件，18-电源线，2-电镀夹具，21-第一夹具，22-第二夹具，23-汇流排，24-探针，25-汇流条(bus bar)，3-面板，31-线路，32-衬垫，33-第一测量孔，34-第二测量孔，35-本体，4-密封件。
具体实施方式
30.下面结合附图和实施例对说明本技术的具体实施方式，通过本说明书记载的内容本领域技术人员可以轻易了解本技术所解决的技术问题以及所产生的技术效果。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外，为了便于描述，附图中仅示出了与有关实用新型相关的部分。
31.需要说明的是，说明书附图中所绘示的结构、比例、大小等，仅用于配合说明书所记载的内容，以供本领域技术人员的了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“第一”、“第二”及“一”等用语，也仅为便于叙述
的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当也视为本技术可实施的范畴。
32.还需要说明的是，本技术的实施例对应的纵向截面可以为对应前视图方向截面，横向截面可以为对应右视图方向截面，而水平截面可以为对应上视图方向截面。
33.应容易理解，本技术中的“在...上”、“在...之上”和“在...上面”的含义应该以最广义的方式解释，使得“在...上”不仅意味着“直接在某物上”，而且还意味着包括存在两者之间的中间部件或层的“在某物上”。
34.此外，为了便于描述，本技术中可能使用诸如“在...下面”、“在...之下”、“下部”、“在...之上”、“上部”等空间相对术语来描述一个元件或部件与附图中所示的另一元件或部件的关系。除了在图中描述的方位之外，空间相对术语还意图涵盖装置在使用或操作中的不同方位。设备可以以其他方式定向(旋转90
°
或以其他定向)，并且在本技术中使用的空间相对描述语可以被同样地相应地解释。
35.另外，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
36.如图1所示，该测试装置1包括至少一个第一测量件16、电流测量模组12及第一报警模组13。其中，电流测量模组12电连接第一测量件16，电流测量模组12用于利用第一测量件16测量出通过测量对象(例如图2所示的电镀夹具2的汇流排23)的第三电流值。第一报警模组13电连接电流测量模组12，第一报警模组13用于响应于第一电流值小于第一电流阈值时发出第一提示信号。电流测量模组12用于利用第一测量件16测量出经过测量对象(例如图2所示的电镀夹具2的探针24)的第一电流值。第三报警模组15可以电连接电流测量模组12。第三报警模组15可以响应于第三电流值小于第三电流阈值时发出第三提示信号。
37.进一步地，该测试装置1还可以包括第二测量件17、第二报警模组14、第三报警模组15以及电源供应模组11、电源线18。第二测量件17可以插设在第二测量孔34测量通过测量对象(例如图2所示的电镀夹具2的汇流条25)的第二电流值。第二报警模组14可以电连接电流测量模组12。第二报警模组14可以响应于第二电流值小于第二电流阈值时发出第二提示信号。电源供应模组11。电源供应模组11可以电连接第一测量件16、第二测量件17、电流测量模组12、电源线18。电源线18可以用于电连接测量对象(例如图2所示的电镀夹具2)。
38.如图2和图3所示，本技术提供了一种测试装置1，适用于配合电镀夹具2与面板3使用。测试装置1与电镀夹具2之间可以通过电源线18进行电连接。面板3可以受电镀夹具2的夹持。
39.参见图2、图3及图4，面板3可以包括本体35、多个围绕本体35边缘间隔设置且分别用于电连接探针24的衬垫32，及多条分别电连接衬垫32且彼此间隔的线路31(内埋于面板3中)。其中，探针24、衬垫32及线路31可以是一对一的连接关系，即探针24、衬垫32及线路31的数量可以是相等的，且多条线路31之间可以彼此不接触，即每条线路31将与每个探针24及衬垫32，并与第一测量件16或第二测量件17配合形成独立的回路，以避免短路。
40.参见图5a和图5b，电镀夹具2可以包括多个间隔设置的探针24。具体而言，电镀夹具2可以具有多个汇流排23(通常为24个)，每个汇流排23上可以具有多个间隔设置的探针24(每个汇流排23上通常有27-28个探针24)。汇流排23与电镀夹具2之间具有汇流条25(通常为2个)。电镀夹具2可以包括第一夹具21和第二夹具22，分别位于面板3的两侧以夹持面
板3。
41.该测试装置1包括至少一个第一测量件16、电流测量模组12及第一报警模组13。在一个情形下，第一测量件16可以包括多个分支，各分支可以个别接触相应的线路31，以形成独立的回路。在另一个情形下，第一测量件16可以为多个，各第一测量件16可以个别接触相应的线路31，以形成独立的回路。其中，至少一个第一测量件16用于电连接面板3的线路31。电流测量模组12电连接第一测量件16，利用第一测量件16测量出经过面板3的线路31的第一电流值。第一报警模组13电连接电流测量模组12，第一报警模组13响应于第一电流值小于第一电流阈值时发出第一提示信号。
42.在本实施例中，为了测量通过电镀夹具2的探针24的电流值得知阻抗，电镀夹具2夹持电流测量用的面板3。因此该面板3可以是用于电流测量使用的测试基板，其尺寸可以和实际用于电镀的面板的尺寸相同。
43.在本实施例中，电流测量模组12可以包括多个切换器(switcher)。可以通过不同的切换器切换至不同的元件进行测量，例如切换为测量探针，或切换为测量汇流排，以测量不同的电流值。或是可以通过软体(例如软件software)进行切换。
44.举例而言，第一测量件16可以用于测量电镀夹具2的探针24的电流值，即第一电流值，第一电流阈值可以是3ma，当第一电流值小于3ma时表示探针24的阻抗异常，即阻抗过高，同一汇流排23(通常有27或28个探针24)上连续10个探针24阻抗异常时将使电镀均匀度无法达到标准，需要更换或保养。在一个实施例中，同一汇流排23上连续12个探针24阻抗过高时将使电镀均匀度无法达到标准。
45.在一个实施例中，该装置还可以包括至少一个第二测量件17。在一个情形下，第二测量件17可以包括多个分支，各分支可以个别接触相应的线路31，以形成独立的回路。至少一个第二测量件17可以电连接面板3的线路31。电流测量模组12电连接第二测量件17，并且利用第二测量件17测量出经过线路31的第二电流值。
46.在一个实施例中，该装置还可以包括电源供应模组11。电源供应模组11可以电连接第一测量件16、第二测量件17、电流测量模组12及第一报警模组13。
47.这里，电源供应模组11例如可以是整流器(rectifier，又称电流转换装置)，用于供应电源以便于测量电流值。
48.电源供应模组11通电时，电源可以依序通过电源供应模组12、电镀夹具2的汇流排23、电镀夹具2的探针24、面板3的衬垫32、面板3的线路31、第一测量件16/第二测量件17(视测量的电流值而定)、电源供应模组12。电源供应模组11通入的电流可以是10a。
49.在一个实施例中，电流测量模组12可以利用第一测量件16测量出经过面板3的线路31的第三电流值。
50.在一个实施例中，面板3可以包括多个用于分别暴露线路31的第一测量孔33。第一测量孔33可以将内埋于面板3中的线路31暴露出来，由此第一测量件16可以适用于插设在第一测量孔33以连接至面板3的线路31。第一测量孔33也可以电连接线路31，使第一测量件16插设在第一测量孔33中时也可通过第一测量孔33的孔壁进行电连接。第一测量孔33的数量可以与线路31及第一测量件16相同。
51.进一步地，面板3还可以包括多个用于分别暴露线路31的第二测量孔34。第二测量孔34可以将线路31暴露出来，由此第二测量件17可以适用于插设在第二测量孔34，并通过
连接至面板3的线路31电连接面板3的线路31。第二测量孔34也可以电连接线路31，使第二测量件17插设在第二测量孔34中时也可通过第二测量孔34的孔壁进行电连接。第二测量孔34的数量可以与线路31及第二测量件17相同。
52.这里，第一测量件16和第二测量件17可以连接面板3的本体35的同一表面。相对而言，第一测量孔33可以位于面板3的正面外围区域，第二测量孔34面板3可以位于面板3的正面中央区域。换言之，第一测量孔33靠近衬垫32，第二测量孔34相较于第一测量孔33远离衬垫32。
53.为了便于插设第一测量件16及第二测量件17，可以将多条第一测量件16、多条第二测量件17、多条线路31、多个第一测量孔33，及第二测量件17分别整合在一起，但多条第一测量件16间仍保持不接触，多条第二测量件17彼此不接触，多条线路31间也不接触，多个第一测量孔33不相互连通，多个第二测量孔34同样不相互连通。
54.需要说明的是，为了清楚表达第一测量孔33、线路31以及衬垫32之间的关系，图3简化了第一测量件16、第一测量孔33、第二测量件17、第二测量孔34、线路31以及衬垫32数量。实际应用时，第一测量件16、第一测量孔33、第二测量件17、第二测量孔34、线路31以及衬垫32的数量并不以图中绘示的数量为限。
55.相对应地，第一测量件16可以连接于面板3的正面外围区域，第二测量件17可以连接于面板3的正面中央区域。换言之，第一测量件16连接于线路31靠近衬垫32的位置，第二测量件17相较于第一测量件16而言连接于线路31较远离衬垫32的位置。
56.具体地，第二测量件17与第一测量件16可以电连接面板3中的同一线路31，第一测量件16可以插设在第一测量孔33测量通过探针24的第一电流值，以及通过汇流排23的第三电流值。第二测量件17可以插设在第二测量孔34测量通过汇流条25的第二电流值。测试装置1一次可以测量第一电流值、第二电流值、第三电流值的其中一种。可以利用测试装置1的电流测量模组12中的不同的软体转换器进行切换，当切换为测量第一电流值或第三电流值时，电流在从探针24进入面板3后会直接从第一测量件16通过电源供应模组11形成回路(即短路经由第二测量件17的电流)，并由电流测量模组12测得每个探针24的第一电流值，第三电流值为每一个汇流排23上的第一电流值加总。当切换为测量第二电流值时，电流不会从第一测量件16通过电源供应模组11(即短路经由第一测量件16的电流)，而是继续通过同一条线路31抵达线路31的末端，并改从第二测量件17通过电源供应模组11，再由电流测量模组12测得每条汇流条25的第二电流值。实际来说，第二电流值可以为对应汇流排23或对应探针24的电流值的加总。
57.在一个实施例中，该装置还可以包括第二报警模组14。第二报警模组14可以电连接电流测量模组12。第二报警模组14可以响应于第二电流值小于第二电流阈值时发出第二提示信号。这里，第二电流阈值可以是3.8a。当第二电流值小于第二电流阈值时表示汇流条25的阻抗异常(过高)，通过发出第二提示信号提醒操作人员确认电镀夹具状况。
58.在一个实施例中，第一报警模组13可以响应于第一提示信号对应于连续预设数目的探针24时发出维护提示信号，连续预设数目可以是10或12。
59.在一个实施例中，该装置还可以包括第三报警模组15。第三报警模组15可以电连接电流测量模组12。第三报警模组15可以响应于第三电流值小于第三电流阈值时发出第三提示信号。这里，第三电流阈值可以是100ma。当第三电流值小于第三电流阈值时表示汇流
排23的阻抗异常(过高)，通过发出第三提示信号提醒操作人员确认电镀夹具状况。在一个实施例中，电镀夹具2与面板3之间还可以包括密封件4。密封件4例如可以是橡胶环，起到固定面板3的作用。
60.本技术提供的测试装置1通过测量通过探针24的电流值得知阻抗是否正常，具体是以电镀夹具2夹持面板3，使电镀夹具2的探针24接触面板3的衬垫32，并将测试装置1的第一测量件16插入位于面板3正面外围的第一测量孔33，再将测试装置1的第二测量件17插入位于面板3正面中央的第二测量孔34，接着以测试装置1对电镀夹具2进行通电，测试装置1可以量测通过探针24的电流值，当电流值小于电流阈值时则表示探针24的阻抗异常将使电镀均匀度无法达到标准，可以找出阻抗异常的探针24进行需要更换或保养以改善电镀均匀度。
61.尽管已参考本技术的特定实施例描述并说明本技术，但这些描述和说明并不限制本技术。所属领域的技术人员可清楚地理解，可进行各种改变，且可在实施例内替代等效元件而不脱离如由所附权利要求书限定的本技术的真实精神和范围。图示可能未必按比例绘制。归因于制造过程中的变量等等，本技术中的技术再现与实际设备之间可能存在区别。可存在未特定说明的本技术的其它实施例。应将说明书和图式视为说明性的，而非限制性的。可作出修改，以使特定情况、材料、物质组成、方法或过程适应于本技术的目标、精神以及范围。所有此些修改都落入在此所附权利要求书的范围内。虽然已参考按特定次序执行的特定操作描述本技术中所公开的方法，但应理解，可在不脱离本技术的教示的情况下组合、细分或重新排序这些操作以形成等效方法。因此，除非本技术中特别指示，否则操作的次序和分组并不限制本技术。