一种探针卡预热装置的制作方法

1.本实用新型涉及探针卡预热技术领域，特别涉及一种探针卡预热装置。


背景技术：

2.探针卡是负责测试系统与集成电路芯片之间的电气连接，在对晶圆进行功能测试时，探针卡上的探针与晶圆的焊垫接触，对晶圆输出测试信号或者接收晶圆输出的信号，探针卡对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要，是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程。基于成本和质量控制及工艺优化的考虑，在探针测试阶段需引入高温测试，高温测试中需要使用探针机给予探针卡预热，预热时间大概30分钟，以达到理想状态之后并进行探针卡针位和高度的校准。
3.目前的探针卡预热装置例如(cn112578162a)提供的一种探针卡用高效预热装置，电阻加热丝位于承物架的左右两侧，虽承物架可旋转，承物架中部的探针卡始终处于距离电阻加热丝较远的位置，导致承物架中部的探针卡和外侧的探针卡受热不一。综上所述，现有的探针卡预热装置存在以下问题或缺陷：
4.不同位置的探针卡预热效果不一致，导致探针卡出现预热不均匀的现象，使得高温测试效果并不理想。


技术实现要素：

5.本实用新型的主要目的在于提供一种探针卡预热装置，以解决探针卡预热不均匀的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
7.一种探针卡预热装置，包括预热箱，所述预热箱的上端和下端均通过轴承穿插活动安装有连接块，两个所述连接块均呈工字型结构设置；两个所述连接块的内侧面上均固定安装有连接柱，两个所述连接柱的远离连接块的一端均固定安装有旋转机构，所述预热箱上穿插活动安装有传动机构，所述传动机构位于旋转机构的左侧，所述预热箱内固定安装有加热机构，所述加热机构位于两个旋转机构之间，所述预热箱的前端通过合页活动安装有箱门。
8.优选的，所述预热箱的右端前部固定安装有卡座，所述卡座上穿插安装有插销，所述箱门的右端固定安装有连接座，所述连接座与卡座相配合，且插销穿插活动安装在连接座上。
9.优选的，所述旋转机构包括转盘，所述转盘的下端均开设有上下贯通的透气孔，所述转盘的外侧面上固定套接有齿圈，所述连接柱与转盘固定连接。
10.优选的，所述传动机构包括电机和转杆，所述电机固定安装在预热箱上，所述电机的输出端固定安装有一号齿轮，所述转杆通过轴承穿插活动安装在预热箱上，所述转杆的上端固定安装有二号齿轮，所述二号齿轮与一号齿轮传动连接，所述转杆上固定套接有上下分布的两个三号齿轮，两个所述三号齿轮分别与两个齿圈传动连接。
11.优选的，所述加热机构包括安装框，所述安装框上开设有贯穿上下端面的矩形槽，所述矩形槽设置有多个且呈左右等距离分布，所述安装框内固定安装有多个呈前后分布的加热丝，所述安装框的左端和右端分别固定安装有一号连接杆和二号连接杆，所述一号连接杆和二号连接杆均设置有两个且呈前后分布，所述转杆位于两个一号连接杆之间；所述一号连接杆和二号连接杆的远离安装框的一端均与预热箱固定连接。
12.优选的，所述预热箱由内外设置的隔热层和外壳体共同组成。
13.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
14.1.本实用新型中，通过设置传动机构和旋转机构，通过电机使一号齿轮转动，使得一号齿轮带动二号齿轮、转杆和三号齿轮旋转，进而使得齿圈传动，转盘和转盘上的探针卡随着齿圈旋转，使探针卡边旋转边预热，能够使两个转盘上不同位置的探针卡预热均匀，提高探针卡的预热效果。
15.2.本实用新型中，通过设置加热机构和隔热层，安装框与上下两个转盘之间的距离一致，安装框和转盘均由金属材料制成，金属材料的转盘和安装框能够快速导热，使得上下两个转盘内的探针卡受热一致，隔热层起到隔热的作用，能够减少预热箱内的热量流失，提高加热效果，探针卡高温测试效果好。
附图说明
16.图1为本实用新型一种探针卡预热装置的整体结构示意图；
17.图2为本实用新型一种探针卡预热装置的旋转机构的结构示意图；
18.图3为本实用新型一种探针卡预热装置的加热机构的结构示意图；
19.图4为本实用新型一种探针卡预热装置的连接机构的预热箱的组成结构示意图。
20.图中：1、预热箱；2、连接块；21、连接柱；3、旋转机构；4、传动机构；5、加热机构；6、箱门；7、卡座；8、连接座；9、控制面板；91、定时器；92、温度控制器；93、温度传感器；101、隔热层；102、外壳体；71、插销；31、转盘；32、透气孔；33、齿圈；41、电机；42、一号齿轮；43、转杆；44、二号齿轮；45、三号齿轮；51、安装框；52、矩形槽；53、加热丝；54、一号连接杆；55、二号连接杆。
具体实施方式
21.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况
理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.如图1-4所示，一种探针卡预热装置，包括预热箱1，预热箱1的上端和下端均通过轴承穿插活动安装有连接块2，两个连接块2均呈工字型结构设置；两个连接块2的内侧面上均固定安装有连接柱21，两个连接柱21的远离连接块2的一端均固定安装有旋转机构3，预热箱1上穿插活动安装有传动机构4，传动机构4位于旋转机构3的左侧，预热箱1内固定安装有加热机构5，加热机构5位于两个旋转机构3之间，预热箱1的前端通过合页活动安装有箱门6。
25.需要说明的是，预热箱1的右端前部固定安装有卡座7，卡座7上穿插安装有插销71，箱门6的右端固定安装有连接座8，插销71起到连接卡座7和连接座8的作用，连接座8与卡座7相配合，且插销71穿插活动安装在连接座8上。关闭箱门6时，连接座8与卡座7配合在一起，将插销71穿过连接座8与卡座7，可以将箱门6固定在预热箱1的前侧。
26.需要说明的是，旋转机构3包括转盘31，转盘31起到放置探针卡的作用，通过转盘31的下端均开设有上下贯通的透气孔32，转盘31的外侧面上固定套接有齿圈33，连接柱21与转盘31固定连接。
27.需要说明的是，传动机构4包括电机41和转杆43，电机41固定安装在预热箱1上，电机41的输出端固定安装有一号齿轮42，转杆43通过轴承穿插活动安装在预热箱1上，转杆43的上端固定安装有二号齿轮44，一号齿轮42起到使二号齿轮44传动的作用，从而使转杆43旋转，二号齿轮44与一号齿轮42传动连接，转杆43上固定套接有上下分布的两个三号齿轮45，两个三号齿轮45分别与两个齿圈33传动连接。通过电机41使一号齿轮42转动，使得一号齿轮42带动二号齿轮44、转杆43和三号齿轮45旋转，进而使得齿圈33传动，转盘31和转盘31上的探针卡随着齿圈33旋转，使探针卡边旋转边预热，能够使两个转盘31上不同位置的探针卡预热均匀，提高探针卡的预热效果。
28.需要说明的是，加热机构5包括安装框51，安装框51上开设有贯穿上下端面的矩形槽52，矩形槽52设置有多个且呈左右等距离分布，矩形槽52起到散发热量的作用；安装框51内固定安装有多个呈前后分布的电阻加热丝53，安装框51的左端和右端分别固定安装有一号连接杆54和二号连接杆55，一号连接杆54和二号连接杆55均设置有两个且呈前后分布，转杆43位于两个一号连接杆54之间；一号连接杆54和二号连接杆55的远离安装框51的一端均与预热箱1固定连接。一号连接杆54和二号连接杆55起到连接安装框51的作用，使安装框51悬空于两个转盘31之间。
29.需要说明的是，在一具体实施例中安装框51与上下两个转盘31之间的距离一致，安装框51和转盘31均由金属材料制成。金属材料的转盘31和安装框51能够快速导热，使得上下两个转盘31内的探针卡受热一致。
30.需要说明的是，预热箱1由内外设置的隔热层101和外壳体102共同组成。隔热层101起到隔热的作用，能够减少预热箱1内的热量流失，提高加热效果。
31.需要说明的是，还包括控制面板9，控制面板9固定安装在预热箱1的右端，控制面板9上设置有左右分布的温度控制器92和定时器91，所述预热箱1的左内壁面上部固定安装有温度传感器93，控制面板9通过导线分别与电机41、电阻加热丝53、温度传感器93电性连接，其中电机41的型号是yrj系列，电阻加热丝53与温度传感器93的型号分别是ocr与brw系列；定时器91与温度控制器92的型号分别是ys与brw系列。
32.需要说明的是，本实用新型为一种探针卡预热装置，使用时，将探针卡置于两个转盘31上，关闭箱门6，使连接座8与卡座7配合在一起，将插销71穿过连接座8与卡座7，将箱门6固定在预热箱1的前侧，然后使安装框51内的电阻加热丝53对预热箱1内进行加热，通过电机41使一号齿轮42旋转，使得一号齿轮42带动二号齿轮44、转杆43和三号齿轮45旋转，进而使得齿圈33传动，转盘31和转盘31上的探针卡随着齿圈33旋转，使探针卡边旋转边预热，使探针卡预热均匀；本装置，原理简单，通过设置旋转机构3、传动机构4和加热机构5，能够对探针卡预热均匀，预热效果好；通过设置隔热层101，隔热层101起到隔热的作用，能够减少预热箱1内的热量流失，预热效果更佳，探针卡高温测试效果好，实用性强。
33.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。