用于扫描电镜的样品平台及扫描电镜的制作方法

1.本实用新型属于扫描电镜技术领域，具体涉及用于扫描电镜的样品平台及扫描电镜。


背景技术：

2.扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，在对样品进行扫描前，需要将样品放置到样品平台上，样品平台分为t字样品台和截面样品台，若需要对样品的截面进行扫描观察，现有技术中需要将扫描样品固定在截面样品台上，截面样品台上端面平行布设有滑槽，两侧滑槽分别安装顶紧板和安装板，首先将安装板拆卸下来水平放置，通过镊子将导电胶粘接在安装板上端面，之后通过镊子将扫描样品放置到导电胶粘接面进行固定，将安装板翻转至竖向状态通过滑槽进行固定，再通过顶紧板上的螺栓以拧固方式对扫描样品进行固定；
3.如公告号为cn201698989u的中国专利，其公开了一种扫描电镜截面观测平台，包括基座，在基座上设置夹持样品的夹具，夹具包括固定块和滑动块，固定块设置在基座上，滑动块与基座之间设置滑动调节机构，为方便确定测量位置，在基座上设置测量固定块与滑动块之间开口的距离的刻度尺。通过滚动螺旋扭具，固定块和滑动块构成的夹口可以张开闭合，以对样品进行固定。
4.但是上述方案存在以下不足：上述对扫描样品的夹固方式需要通过扭具、固定块和滑动块的配合实现，由于扫描样品需要平齐于滑动块和固定块之间的安装部上边沿设置，然而上述扫描样品不能够以水平放置方式安装到固定块和滑动块之间的安装部，导致扫描样品不易在安装部进行精确安装，且通过扭具实现固定块和滑动块之间的夹紧方式不便快速对扫描样品进行固定；
5.如何便于扫描样品和安装部之间以水平放置方式对齐安装，同时便于对安装部进行快速固定是当下需要解决的问题。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供用于扫描电镜的样品平台及扫描电镜，以解决上述背景技术中存在的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于扫描电镜的样品平台，包括：
8.截面样品台体，所述截面样品台体上端面两侧分别可拆卸设置有顶紧板和安装板；
9.导电胶体，所述导电胶体设置在所述安装板上并用于对扫描样品进行放置安装；以及
10.水平翻转安装机构，所述水平翻转安装机构包括翻转固定组件和顶紧组件，所述翻转固定组件与顶紧组件分别设置在所述安装板和顶紧板上，所述翻转固定组件用于将所
述安装板安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板时进行固定，并通过所述顶紧组件将安装在导电胶体上的扫描样品进行顶紧固定。
11.优选的，所述导电胶体由环氧树脂、丙烯酸酯树脂、聚氯酯任意一种作为基体制备的导电胶构成。
12.优选的，所述翻转固定组件包括活动连接在所述安装板底端的固定块，固定块可拆卸固定设置在所述截面样品台体上的对应滑槽部内，相邻所述安装板和固定块之间设置有锁死件，锁死件用于所述安装板安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板时进行固定。
13.优选的，所述翻转固定组件还包括对称设置在所述安装板底端的翻转孔块，所述固定块上端面设置有双耳轴块，翻转孔块转动套设在双耳轴块上。
14.优选的，所述固定块上端面单侧设置有限位挡块并用于安装板翻转后的限位，且所述固定块上端面设有翻转槽并延伸至所述限位挡块侧壁上，所述安装板和所述限位挡块前端面壁上均设有锁死槽，所述锁死件上分别设置有锁死杆和复位弹簧套杆并分别插设在安装板、限位挡块上对应位置的锁死槽内，此时所述顶紧板和安装板相互平行设置，且所述复位弹簧套杆插入限位挡块上锁死槽深度大于锁死杆插入对应安装板上锁死槽深度，所述锁死槽能够限制插入的锁死杆、复位弹簧套杆发生相对转动。
15.优选的，所述顶紧组件包括滑动固定在所述截面样品台体上滑槽部的衔接块，衔接块侧壁上设有活动孔，活动孔内沿水平方向滑动贯穿有顶推弹簧套杆，顶推弹簧套杆内端固定设置在所述顶紧板上并用于所述顶紧板和安装板之间的扫描样品进行夹紧。
16.优选的，所述锁死件侧壁上设置有延伸并平行于安装板和限位挡块之间的导电插板，导电插板两端均设置有导电棉块并分别和两端的安装板、限位挡块接触连接，所述导电插板侧部设置有卡板，卡板两端面均布设有卡槽，所述顶紧板前端设置有卡套，卡套内壁两端均布置有和卡槽配合卡接的卡弹片进行固定。
17.一种扫描电镜，包括所述的扫描电镜的样品平台。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将安装板通过翻转孔块和双耳轴块的配合进行九十度翻转，并缓慢松开锁死件，锁死件上的复位弹簧套杆推动锁死杆插入到安装板上的锁死槽内，从而对安装板进行翻转后固定，具有便于扫描样品和安装板之间以水平放置方式对齐安装的特点；
19.顶紧板的内侧运动会使卡板插入到卡套内，卡套内的卡弹片插入到卡槽内实现顶紧板和安装板之间的固定，无需通过外置螺栓的拧动便可对安装板进行快速固定。
附图说明
20.图1为本实用新型的整体结构示意图；
21.图2为图1的剖视示意图；
22.图3为图1的俯视示意图；
23.图4为本实用新型的顶紧板、固定块、安装板和衔接块配合结构示意图；
24.图5为图4的固定块结构示意图；
25.图6为图4的锁死件、锁死杆和复位弹簧套杆结构示意图。
26.图中：1、截面样品台体；2、顶紧板；3、安装板；4、导电胶体；5、固定块；6、锁死件；7、衔接块；8、活动孔；9、顶推弹簧套杆；10、翻转孔块；11、双耳轴块；12、限位挡块；13、翻转槽；
14、锁死槽；15、锁死杆；16、复位弹簧套杆；17、导电插板；18、导电棉块；19、卡槽；20、卡套；21、卡弹片；101、扫描样品；201、卡板。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
28.请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：
29.实施例一：
30.一种用于扫描电镜的样品平台，包括：
31.截面样品台体1，截面样品台体1上端面两侧分别可拆卸设置有顶紧板2和安装板3；
32.导电胶体4，导电胶体4通过粘接方式设置在安装板3上边沿部并用于对扫描样品101进行放置安装；以及
33.水平翻转安装机构，水平翻转安装机构包括翻转固定组件和顶紧组件，翻转固定组件与顶紧组件分别设置在安装板3和顶紧板2上，翻转固定组件用于将安装板3安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板2时进行固定，并通过顶紧组件将安装在导电胶体4上的扫描样品101进行顶紧固定。
34.实施例二：
35.导电胶体4由环氧树脂、丙烯酸酯树脂、聚氯酯任意一种作为基体制备的导电胶构成，为现有产品不做赘述；
36.翻转固定组件包括活动连接在安装板3底端的固定块5，固定块5可拆卸固定设置在截面样品台体1上的对应滑槽部内，相邻安装板3和固定块5之间设置有锁死件6，锁死件6用于安装板3安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板2时进行固定；
37.翻转固定组件还包括对称设置在安装板3底端的翻转孔块10，固定块5上端面设置有双耳轴块11，翻转孔块10转动套设在双耳轴块11上，上述设置能够使安装板3基于翻转孔块10在双耳轴块11上进行翻转，从而实现将安装板3翻转至水平状态便于扫描样品101的放置。
38.实施例三：
39.在实施例二的基础上进一步说明，固定块5上端面单侧设置有限位挡块12并用于安装板3翻转后的限位，当安装板3翻转至和顶紧板2平行时，限位挡块12能够阻止安装板3继续翻转，从而便于安装板3和顶紧板2夹固状态下的相互平行，利于对夹持在其之间的扫描样品101进行均匀固定，且固定块5上端面设有翻转槽13并延伸至限位挡块12侧壁上，翻转槽13的设置便于翻转孔块10翻转时不会和固定块5上端面和限位挡块12内侧部相碰撞，安装板3和限位挡块12前端面壁上均设有锁死槽14，锁死槽14为多边形结构，本实施例中的锁死槽14采用截面为正方形的结构，锁死件6上分别设置有锁死杆15和复位弹簧套杆16并分别插设在安装板3、限位挡块12上对应位置的锁死槽14内，且锁死杆15与复位弹簧套杆16插入端均为和锁死槽14形状配合的方形柱，上述设置用于对翻转后的安装板3进行固定，此时顶紧板2和安装板3相互平行设置，且复位弹簧套杆16插入限位挡块12上锁死槽14深度大于锁死杆15插入对应安装板3上锁死槽14深度，便于锁死杆15移出对应锁死槽14时，复位弹
簧套杆16仍然在限位挡块12上的锁死槽14上，锁死槽14的形状特性能够限制插入的锁死杆15、复位弹簧套杆16发生相对转动。
40.实施例四：
41.在实施例一的基础上进一步说明，顶紧组件包括滑动固定在截面样品台体1上滑槽部的衔接块7，衔接块7侧壁上设有活动孔8，活动孔8内沿水平方向滑动贯穿有顶推弹簧套杆9，顶推弹簧套杆9对顶紧板2产生向内侧的弹簧推力，顶推弹簧套杆9内端固定设置在顶紧板2上并用于顶紧板2和安装板3之间的扫描样品101进行夹紧。
42.实施例五：
43.在实施例三的基础上进一步说明，锁死件6侧壁上设置有延伸并平行于安装板3和限位挡块12之间的导电插板17，导电插板17选择铝和铜材质中的任意一种，导电插板17两端均粘接有导电棉块18并分别和两端的安装板3、限位挡块12接触连接，导电棉块18为导电泡棉，导电棉块18和导电插板17的配合设置实现安装板3和固定块5之间的导电性能，导电插板17侧部设置有卡板201，卡板201两端面均布设有卡槽19，卡槽19为弧形缺口结构，顶紧板2前端卡接又或者螺接固定有卡套20，卡套20为u形结构，卡套20内壁两端均布置有和卡槽19配合卡接的卡弹片21进行固定，卡弹片21为半圆形弹性钢构成，通过卡套20和卡板201的配合设置，便于对顶紧板2和安装板3之间进行固定。
44.工作原理如下：当需要将扫描样品101放置到安装板3上进行固定时，操作人员首先将衔接块7和固定块5分别滑移固定在截面样品台体1上的滑槽部上，安装板3初始状态为水平翻转状态，此时安装板3和顶紧板2之间为相互垂直设置，将导电胶体4粘接在安装板3的边部上沿，并将扫描样品101对齐放置到高出导电胶体4上边沿2毫米处进行粘接固定，用镊子均匀按压扫描样品101提高其和导电胶体4之间的粘接固定效果，进一步的，握住顶推弹簧套杆9向外侧拉动，使顶紧板2远离安装板3方向运动，同时握住锁死件6带动锁死杆15外移，将安装板3通过翻转孔块10和双耳轴块11的配合进行九十度翻转，并缓慢松开锁死件6，锁死件6上的复位弹簧套杆16推动锁死杆15插入到安装板3上的锁死槽14内，从而对安装板3进行翻转后固定，具有便于扫描样品101和安装板3之间以水平放置方式对齐安装的特点；
45.缓慢松开顶推弹簧套杆9使顶紧板2缓慢对导电胶体4上的扫描样品101进行顶压固定，同时位于锁死件6上的导电插板17位于安装板3和限位挡块12相对面之间，导电棉块18的设置实现了安装板3和限位挡块12之间的导电性能，而顶紧板2的内侧运动会使卡板201插入到卡套20内，卡套20内的卡弹片21插入到卡槽19内实现顶紧板2和安装板3之间的固定，无需通过外置螺栓的拧动便可对安装板3进行快速固定。
46.本实施例提供一种扫描电镜，包括实施例一提供的用于扫描电镜的样品平台。
47.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。