缺陷检查装置及缺陷检查方法与流程

本发明涉及一种缺陷检查装置及缺陷检查方法。

背景技术：

1、以往，已知有对在检查对象物的表面及内部产生的龟裂或剥离等缺陷进行光学检查的缺陷检查装置及缺陷检查方法。此种缺陷检查方法例如已在日本专利特开2017-219318号公报中被公开。

2、在所述日本专利特开2017-219318号公报中公开了一种缺陷检查装置，其包括：激振部，对检查对象物激发弹性波；照明部，对检查对象物的表面的测定区域进行频闪照明的照射；以及位移测定部(散斑剪切干涉计)。位移测定部构成为：通过对弹性波的相位以及频闪照明的时机进行控制，从而一并测定在弹性波的相互不同的相位下测定区域各点在与检查对象物的表面正交的方向上的位移。在所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的缺陷检查装置中，基于测定区域各点的振动状态(振幅及相位)，制成以图像的明暗差异表示与振动的检查对象物的表面正交的方向上的位移的差异的图像。例如，在检查对象物产生缺陷的情况下，在缺陷部分(以缺陷的端部为边界)振动状态变得不连续，所述图像的明暗急剧变化。通过对所述图像进行目视或图像处理，将振动状态的不连续部检测为缺陷。

3、[现有技术文献]

4、[专利文献]

5、专利文献1：日本专利特开2017-219318号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、此处，虽在所述日本专利特开2017-219318号公报中未明确记载，但振动的传播存在与检查对象物的表面正交的方向(上下方向)以及沿着表面的方向(面内方向)。而且，在检查对象物中发生比较深的龟裂的情况下，在与检查对象物的表面正交的方向(上下方向)以及沿着检查对象物的表面的方向(面内方向)的此两个方向上，振动状态的不连续(位移)大幅度发生。另一方面，在检查对象物中发生比较浅的龟裂的情况下，与检查对象物的表面正交的方向(上下方向)上的振动状态的不连续(位移)的发生小。在如所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的那样的现有的缺陷检查装置中，基于所获取的与检查对象物的表面正交的方向(上下方向)上的检查对象物的振动状态的不连续(位移)来判定有无缺陷，因此可判定有无比较深的龟裂。另一方面，在如所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的那样的现有的缺陷检查装置中，难以容易地判定有无与检查对象物的表面正交的方向(上下方向)上的振动状态的不连续(位移)的发生小的比较浅的龟裂。另外，虽在所述日本专利特开2017-219318号公报中未明确记载，但通过如所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的那样的现有的缺陷检查装置而获取(观测到)的振动状态的不连续(位移)的方向成为将相对于检查对象物而言照明部与位移测定部所成的角二等分的方向。

3、因此，在如所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的那样的现有的缺陷检查装置中，在判定有无比较浅的龟裂时，需要变更检查对象物相对于位移测定部的角度等，使获取振动状态的不连续(位移)的方向(获取干涉图像的方向)变化。因此，需要根据龟裂的深度来变更检查对象物相对于测定部的角度。因此，期望的是在不变更检查对象物相对于测定部的角度的情况下容易地判定有无各种深度的龟裂(比较深的龟裂或比较浅的龟裂等)。

4、本发明是为了解决所述课题而成，本发明的一个目的在于提供一种在不变更检查对象物相对于测定部的角度的情况下能够容易地判定有无各种深度的龟裂的缺陷检查装置及缺陷检查方法。

5、[解决问题的技术手段]

6、本发明的第一方面的缺陷检查装置包括：激振部，对检查对象物赋予弹性波振动并激发；照射部，对由激振部激发了弹性波振动的状态下的检查对象物照射激光；以及测定部，使由检查对象物反射的激光的相位发生变化，使相位变化前后的激光彼此干涉，并且对干涉光进行测定，测定部构成为，基于从照射部照射并经过从检查对象物朝向测定部反射的第一光路的激光的干涉光，获取表示从沿着第一光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像，并且基于从照射部照射并经过从检查对象物朝向与第一光路不同的方向反射的第二光路的激光的干涉光，获取表示从沿着第二光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像。

7、本发明的第二方面的缺陷检查方法是对检查对象物赋予弹性波振动并激发，对激发了弹性波振动的状态下的检查对象物照射激光；基于经过朝向如下测定部、即、使由检查对象物反射的激光的相位发生变化、使相位变化前后的激光彼此干涉并且对干涉光进行测定的测定部反射的第一光路的激光的干涉光，获取表示从沿着第一光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像，并且基于经过从检查对象物朝向与第一光路不同的方向反射的第二光路的激光的干涉光，获取表示从沿着第二光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像。

8、[发明的效果]

9、本发明的基于第一方面的缺陷检查装置及第二方面的缺陷检查方法基于经过朝向对干涉光进行测定的测定部反射的第一光路的激光的干涉光，获取表示从沿着第一光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像。而且，本发明的基于第一方面的缺陷检查装置及第二方面的缺陷检查方法基于经过从检查对象物朝向与第一光路不同的方向反射的第二光路的激光的干涉光，获取表示从沿着第二光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像。由此，可获取表示从沿着朝向对干涉光进行测定的测定部反射的第一光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像、以及表示从沿着朝向与第一光路不同的方向反射的第二光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像，因此可从不同的两个方向获取表示检查对象物的振动状态的干涉图像。因此，在不变更检查对象物相对于测定部的角度的情况下，可获取从沿着朝向测定部反射的第一光路的方向及沿着朝向与第一光路不同的方向反射的第二光路的方向的彼此不同的方向(不同的两个方向)观察到的检查对象物的振动状态的位移。由此，可获取从多个方向观察到的检查对象物的振动状态的位移，因此可观察到各种深度的龟裂(比较浅的龟裂或比较深的龟裂等)的振动状态的位移。其结果，可提供一种在不变更检查对象物相对于测定部的角度的情况下能够容易地判定有无各种深度的龟裂的缺陷检查装置及缺陷检查方法。

10、此处，在所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的现有的缺陷检查装置中，在沿着具有圆筒形或圆柱形等曲面的检查物体的曲面(周向)大范围地进行缺陷的检查的情况下，需要转动检查对象物或者改变位移测定部的位置等，同时在沿着具有圆筒形或圆柱形等曲面的检查物体的曲面的方向(周向)上进行多次测定。如此，在检查对象物具有曲面的情况下，也存在如下课题：难以在不使检查对象物及测定部的位置发生变化的情况下容易地扩大判定有无缺陷的测定区域，本发明中也能够解决所述课题。即，在本发明的基于第一方面的缺陷检查装置及第二方面的缺陷检查方法中，由于获取表示从沿着第一光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像及表示从沿着第二光路的方向观察到的检查对象物的振动状态的干涉图像，因此可从不同的两个方向获取表示振动状态的干涉图像。由此，可相对于检查对象物的曲面从多个方向获取表示检查对象物的振动状态的干涉图像，因此与仅从一个方向获取表示具有曲面的检查对象物的振动状态的干涉图像的情况不同，可在不使检查对象物及测定部的位置发生变化的情况下扩大判定有无缺陷的测定区域。其结果，可提供一种缺陷检查装置及缺陷检查方法，在检查对象物具有曲面的情况下能够在不使检查对象物及测定部的位置发生变化的情况下容易地扩大判定有无缺陷的测定区域。