荧光X射线分析装置的制作方法

本发明涉及一种荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置对试样照射一次x射线，根据所产生的荧光x射线的测定强度，通过采用基本参数法或校准曲线法(検量線法)的定量机构，求出试样中的成分的含有率。

背景技术：

1、在过去，进行定量分析的荧光x射线分析装置大致分为基于校准曲线法的装置和基于基本参数法(也称为fp法)的装置。在基于校准曲线法的定量分析中，为了未知试样的分析，使用成分的含有率已知的一组标准试样，作为成分的含有率与对应于成分的测定元素的荧光x射线(测定线)的测定强度之间的相关性，求出校准曲线。另外，成分是指元素或化合物。另外，在成分为元素的情况下，该元素本身是与成分相对应的测定元素，在成分为化合物的情况下，代表该化合物的元素成为与成分相对应的测定元素(例如，参照专利文献1的第0002段)。

2、另一方面，在基于基本参数法的定量分析中，为了未知试样的分析，使用成分的含有率已知的一组标准试样，作为基于已知的含有率计算出的理论强度与测定强度之间的相关性，求出装置灵敏度曲线(例如，参照专利文献1的第0009段、专利文献2的第0003段以及图4)。另外，专利文献2中的术语“浓度比”表示将整体设为1时某成分在整体中所占的比例，相当于本技术中的术语“含有率”，并不相当于后述的“含有率之比”。

3、另外，在基于校准曲线法的定量分析、基于基本参数法的定量分析这两者中，根据试样的形态，为了进行更精确的分析，作为测定强度，使用基于试样的分析面的高度与测定强度之间的相关性，以除去试样的分析面的高度的变动而对测定强度造成的影响的方式进行了校正的测定强度，进行所谓的高度校正(例如，参照专利文献3的权利要求2、12)。

4、此外，在电子材料等的试样的定量分析中，在对于主成分彼此的含有率之比要求高精度时，有这样一种荧光x射线分析装置，其对于由两个主成分构成的钛酸钡的试样，制作并使用作为测定强度之比与含有率之比之间的相关性的校准曲线(参照非专利文献1的“e.校准曲线和测定例”、图13.45等)。

5、现有技术文献

6、专利文献

7、专利文献1：jp特开2021-51053号公报

8、专利文献2：wo2018/168939号公报

9、专利文献3：jp特开2002-82075号公报

10、非专利文献

11、中井泉编，「蛍光x線分析の実際」，初版，第7次印刷，朝仓书店，2011年1月30日，p.194-195。

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、然而，在非专利文献1中，没有记载用于去除试样的含有元素对荧光x射线的吸收、激发的影响的基体校正(マトリックス補正)，因此在对主成分彼此的含有率之比要求更精确的分析的情况下，即使考虑技术常识，也不清楚应该如何对作为测定强度之比与含有率之比之间的相关性的校准曲线进行基体校正。

3、另外，在基于基本参数法的定量分析中，为了对主成分彼此的含有率之比进行更精确的分析，也考虑针对多个主成分来制作并使用作为测定强度之比与理论强度之比之间的相关性的装置灵敏度曲线。但是，在基本参数法中，基于由假定的含有率而计算出的理论强度和通过装置灵敏度曲线换算成理论强度标度的测定强度，进行更新含有率这样的反复计算，将收敛后的含有率作为分析结果，因此即使使用作为测定强度之比与理论强度之比之间的相关性的装置灵敏度曲线，即使考虑技术常识也不清楚应该如何进行反复计算。

4、本发明是鉴于上述现有的问题而提出的，其目的在于，提供一种在通过采用基本参数法或校准曲线法的定量机构求出试样中的成分的含有率的荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置能够充分精确地对主成分彼此的含有率之比进行分析。

5、用于解决课题的技术方案

6、为了实现上述目的，本发明的第1方案涉及下述的荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置首先对试样照射一次x射线，基于所产生的荧光x射线的测定强度，通过采用基本参数法的定量机构，求出上述试样中的成分的含有率。

7、接着，上述定量机构进行：标准试样测定步骤，其中，针对标准试样，测定作为与成分相对应的荧光x射线的测定线的强度，在上述标准试样中，将作为构成基准的主成分的单一的基准主成分和与该基准主成分进行对比的对比主成分指定为成分，且各成分的含有率是已知的；标准试样理论强度计算步骤，其中，针对每条测定线，根据已知的含有率来计算理论强度；强度比装置灵敏度曲线制作步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于上述标准试样测定步骤中的测定强度以及上述标准试样理论强度计算步骤中的理论强度，制作强度比装置灵敏度曲线，上述强度比装置灵敏度曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的理论强度与基准主成分的理论强度之比的理论强度比之间的相关性。

8、然后，上述定量机构进行：未知试样测定步骤，其中，针对将上述基准主成分以及上述对比主成分指定为成分且各成分的含有率未知的未知试样，测定上述测定线的强度；强度比换算步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述强度比装置灵敏度曲线制作步骤中的强度比装置灵敏度曲线，将作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比换算成理论强度标度，作为换算测定强度比；含有率初始值设定步骤，其中，设定各成分的含有率的初始值。

9、此外，上述定量机构进行：未知试样理论强度计算步骤，其中，针对每条测定线，基于最新的含有率来计算理论强度；含有率比更新步骤，其中，针对每个对比主成分，基于上述强度比换算步骤中的换算测定强度比和上述未知试样理论强度计算步骤中的基于理论强度的理论强度比，更新作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比；含有率更新步骤，其中，基于最新的含有率比，更新各成分的含有率；收敛判断步骤，其中，基于预定收敛条件进行收敛判断；以及结果输出步骤，其中，输出最新的含有率作为应求出的未知试样中的成分的含有率，在上述收敛判断步骤中，在判断为未收敛的情况下，使流程返回到上述未知试样理论强度计算步骤，在判断为收敛的情况下，使流程进行至上述结果输出步骤。

10、在上述第1方案的荧光x射线分析装置中，使用基本参数法的定量机构进行：制作强度比装置灵敏度曲线的强度比装置灵敏度曲线制作步骤、强度比换算步骤、含有率比更新步骤和含有率更新步骤，上述强度比装置灵敏度曲线为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与对比主成分的理论强度与基准主成分的理论强度之比的理论强度比之间的相关性，上述强度比换算步骤是基于强度比装置灵敏度曲线，将测定强度比换算成理论强度标度而作为换算测定强度比的步骤，上述含有率比更新步骤是基于换算测定强度比来更新作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比的步骤，上述含有率更新步骤是基于最新的含有率比来更新各成分的含有率的步骤。通过进行在现有技术的基本参数法的算法中不存在的这些步骤，针对主成分彼此的含有率之比来进行足够精确的分析。

11、本发明的第2方案涉及下述的荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置首先对试样照射一次x射线，基于所产生的荧光x射线的测定强度，通过采用基本参数法的定量机构，求出上述试样中的成分的含有率。

12、接着，上述定量机构进行：标准试样测定步骤，其中，针对标准试样，测定作为与成分相对应的荧光x射线的测定线的强度，在上述标准试样中，将作为构成基准的主成分的单一的基准主成分、与该基准主成分进行对比的对比主成分、以及副成分指定为成分，且各成分的含有率是已知的；标准试样理论强度计算步骤，其中，针对每条测定线，基于已知的含有率来计算理论强度；装置灵敏度曲线制作步骤，其中，针对与副成分相对应的每条测定线，基于上述标准试样测定步骤中的测定强度以及上述标准试样理论强度计算步骤中的理论强度，制作作为副成分的测定强度与副成分的理论强度之间的相关性的装置灵敏度曲线；强度比装置灵敏度曲线制作步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于上述标准试样测定步骤中的测定强度以及上述标准试样理论强度计算步骤中的理论强度，制作强度比装置灵敏度曲线，上述强度比装置灵敏度曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的理论强度与基准主成分的理论强度之比的理论强度比之间的相关性。

13、还有，上述定量机构进行：未知试样测定步骤，其中，针对上述基准主成分、上述对比主成分以及上述副成分指定为成分且各成分的含有率未知的未知试样，测定上述测定线的强度；强度换算步骤，其中，针对与副成分相对应的每条测定线，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述装置灵敏度曲线制作步骤中的装置灵敏度曲线，将副成分的测定强度换算成理论强度标度，作为换算测定强度；强度比换算步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述强度比装置灵敏度曲线制作步骤中的强度比装置灵敏度曲线，将作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比换算成理论强度标度，作为换算测定强度比；含有率初始值设定步骤，其中，设定各成分的含有率的初始值。

14、再有，上述定量机构进行：未知试样理论强度计算步骤，其中，针对每条测定线，基于最新的含有率来计算理论强度；副成分含有率更新步骤，针对每个副成分，基于上述强度换算步骤中的换算测定强度和上述未知试样理论强度计算步骤中的理论强度，更新含有率；含有率比更新步骤，其中，针对每个对比主成分，基于上述强度比换算步骤中的换算测定强度比和上述未知试样理论强度计算步骤中的基于理论强度的理论强度比，更新作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比；主成分含有率更新步骤，其中，基于最新的含有率比及最新的副成分的含有率，更新对比主成分的含有率及基准主成分的含有率；收敛判断步骤，其中，基于预定收敛条件进行收敛判断；以及结果输出步骤，输出作为应求出的未知试样中的成分的含有率的最新的含有率，在上述收敛判断步骤中，在判断为未收敛的情况下，使流程返回到上述未知试样理论强度计算步骤，在判断为收敛的情况下，使流程进行至上述结果输出步骤。

15、在第2方案的荧光x射线分析装置中，使用基本参数法的定量机构进行：制作强度比装置灵敏度曲线的强度比装置灵敏度曲线制作步骤、强度比换算步骤、含有率比更新步骤及主成分含有率更新步骤，上述强度比装置灵敏度曲线为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与对比主成分的理论强度与基准主成分的理论强度之比的理论强度比之间的相关性，上述强度比换算步骤是基于强度比装置灵敏度曲线，将测定强度比换算成理论强度标度作为换算测定强度比的步骤，上述含有率比更新步骤是基于换算测定强度比来更新对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比的步骤，上述主成分含有率更新步骤是基于最新的含有率比来更新对比主成分的含有率及基准主成分的含有率的步骤。通过进行在现有技术的基本参数法的算法中不存在的这些步骤，针对主成分彼此的含有率之比来进行足够精确的分析。

16、本发明的第3方案涉及下述的荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置首先对试样照射一次x射线，基于所产生的荧光x射线的测定强度，通过采用基本参数法的定量机构，求出上述试样中的成分的含有率。

17、接着，上述定量机构进行：标准试样测定步骤，其中，针对标准试样，测定作为与成分相对应的荧光x射线的测定线的强度，在上述标准试样中，将作为构成基准的主成分的单一的基准主成分、与该基准主成分进行对比的对比主成分、以及副成分指定为成分，且各成分的含有率是已知的；标准试样理论强度计算步骤，其中，针对每条测定线，基于已知的含有率来计算理论强度；装置灵敏度曲线制作步骤，其中，针对每条测定线，基于上述标准试样测定步骤中的测定强度以及上述标准试样理论强度计算步骤中的理论强度，制作作为测定强度与理论强度的相关性的装置灵敏度曲线；强度比装置灵敏度曲线制作步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于上述标准试样测定步骤中的测定强度以及上述标准试样理论强度计算步骤中的理论强度，制作强度比装置灵敏度曲线，上述强度比装置灵敏度曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的理论强度与基准主成分的理论强度之比的理论强度比之间的相关性。

18、此外，上述定量机构进行：未知试样测定步骤，其中，针对将上述基准主成分、上述对比主成分以及上述副成分指定为成分且各成分的含有率未知的未知试样，测定上述测定线的强度；强度换算步骤，其中，针对每条测定线，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述装置灵敏度曲线制作步骤中的装置灵敏度曲线，将测定强度换算成理论强度标度，作为换算测定强度；强度比换算步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述强度比装置灵敏度曲线制作步骤中的强度比装置灵敏度曲线，将作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比换算成理论强度标度，作为换算测定强度比；含有率初始值设定步骤，其中，设定各成分的含有率的初始值。

19、还有，上述定量机构进行：未知试样理论强度计算步骤，其中，针对每条测定线，基于最新的含有率来计算理论强度；副成分含有率更新步骤，其中，针对每个副成分，基于上述强度换算步骤中的换算测定强度和上述未知试样理论强度计算步骤中的理论强度，更新含有率；推定含有率计算步骤，其中，对于对比主成分以及基准主成分，基于上述强度换算步骤中的换算测定强度和上述未知试样理论强度计算步骤中的理论强度，计算推定含有率；含有率比更新步骤，其中，针对每个对比主成分，基于上述强度比换算步骤中的换算测定强度比和上述未知试样理论强度计算步骤中的基于理论强度的理论强度比，更新作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比；主成分含有率更新步骤，其中，基于上述推定含有率计算步骤中的对比主成分的推定含有率及基准主成分的推定含有率的合计以及最新的含有率比，更新对比主成分的含有率及基准主成分的含有率；收敛判断步骤，其中，基于预定收敛条件进行收敛判断；以及结果输出步骤，其中，输出作为应求出的未知试样中的成分的含有率的最新的含有率，在上述收敛判断步骤中，在判断为未收敛的情况下，使流程返回到上述未知试样理论强度计算步骤，在判断为收敛的情况下，使流程进行至上述结果输出步骤。

20、在第3方案的荧光x射线分析装置中，上述使用基本参数方法的定量机构进行：制作强度比装置灵敏度曲线的强度比装置灵敏度曲线制作步骤、强度比换算步骤、推定含有率计算步骤、含有率比更新步骤和主成分含有率更新步骤，上述强度比装置灵敏度曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的理论强度与基准主成分的理论强度之比的理论强度比之间的相关性，上述强度比换算步骤是基于强度比装置灵敏度曲线，将测定强度比换算为理论强度标度，作为换算测定强度比的步骤，上述推定含有率计算步骤是针对对比主成分及基准主成分来计算推定含有率的步骤，上述含有率比更新步骤是基于换算测定强度比，更新作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比的步骤，上述主成分含有率更新步骤是基于对比主成分的推定含有率及基准主成分的推定含有率的合计以及最新的含有率比，更新对比主成分的含有率及基准主成分的含有率的步骤。通过进行在现有技术的基本参数法的算法中不存在的这些步骤，针对主成分彼此的含有率之比来进行足够精确的分析。

21、在第3方案的荧光x射线分析装置中，上述定量机构在针对标准试样和未知试样，副成分没有指定为成分的情况下，跳过上述副成分含有率更新步骤。

22、本发明的第4方案涉及下述的荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置首先对试样照射一次x射线，基于所产生的荧光x射线的测定强度，通过采用校准曲线法的定量机构，求出上述试样中的成分的含有率。

23、接着，上述定量机构进行：标准试样测定步骤，其中，针对标准试样，测定作为与成分相对应的荧光x射线的测定线的强度，在上述标准试样中，将作为构成基准的主成分的单一的基准主成分和与该基准主成分进行对比的对比主成分指定为成分，各成分的含有率是已知的，从全部成分中指定用于基体校正的附加校正成分；强度比校准曲线制作步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于已知的含有率以及上述标准试样测定步骤中的测定强度，制作强度比校准曲线，该强度比校准曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比之间的相关性，且包含基体校正项。

24、此外，上述定量机构进行：未知试样测定步骤，其中，针对上述基准主成分以及上述对比主成分指定为成分、各成分的含有率未知且上述附加校正成分指定的未知试样，测定上述测定线的强度；未校正含有率比计算步骤，其中，针对每个对比主成分，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述强度比校准曲线制作步骤中的强度比校准曲线，计算基体校正前的未校正含有率比；含有率初始值设定步骤，其中，针对各成分，基于上述未校正含有率比计算步骤中的未校正含有率比，计算基体校正前的未校正含有率并设定为含有率的初始值。

25、还有，上述定量机构进行：含有率比更新步骤，其中，针对每个对比主成分，基于最新的附加校正成分的含有率，对上述未校正含有率比计算步骤中的未校正含有率比进行基体校正，更新含有率比；含有率更新步骤，基于在上述含有率比更新步骤中已更新的含有率比，更新各成分的含有率；收敛判断步骤，其中，基于预定收敛条件进行收敛判断；以及结果输出步骤，其中，输出作为应求出的未知试样中的成分的含有率的最新的含有率，在上述收敛判断步骤中，在判断为未收敛的情况下，使流程返回到上述含有率比更新步骤，在判断为收敛的情况下，使流程进行至上述结果输出步骤。

26、在第4方案的荧光x射线分析装置中，使用校准曲线法的定量机构进行：制作强度比校准曲线的强度比校准曲线制作步骤、未校正含有率比计算步骤、含有率比更新步骤和含有率更新步骤，上述强度比校准曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比之间的相关性，且包含基体校正项，上述未校正含有率比计算步骤是基于强度比校准曲线来计算基体校正前的未校正含有率比的步骤，上述含有率比更新步骤是基于最新的附加校正成分的含有率对未校正含有率比进行基体校正，并更新含有率比的步骤，上述含有率更新步骤是基于更新后的含有率比来更新各成分的含有率的步骤。通过进行在现有技术的校准曲线法的算法中不存在的这些步骤，针对主成分彼此的含有率比来进行足够精确的分析。

27、本发明的第5方案涉及下述的荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置首先对试样照射一次x射线，基于所产生的荧光x射线的测定强度，通过采用校准曲线法的定量机构，求出上述试样中的成分的含有率。

28、另外，上述定量机构进行：标准试样测定步骤，其中，针对标准试样，测定作为与成分相对应的荧光x射线的测定线的强度，在上述标准试样中，将作为构成基准的主成分的单一的基准主成分、与该基准主成分进行对比的对比主成分、以及副成分指定为成分，各成分的含有率是已知的，从全部成分中指定用于基体校正的附加校正成分；校准曲线制作步骤，其中，针对与副成分相对应的每条测定线，基于已知的含有率以及上述标准试样测定步骤中的测定强度，制作校准曲线，上述校准曲线是副成分的测定强度与副成分的含有率之间的相关性，且包含基体校正项；强度比校准曲线制作步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于已知的含有率以及上述标准试样测定步骤中的测定强度，制作强度比校准曲线，该强度比校准曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比之间的相关性，且包含基体校正项；

29、还有，上述定量机构进行：未知试样测定步骤，其中，针对上述基准主成分、上述对比主成分以及上述副成分指定为成分、各成分的含有率未知且上述附加校正成分指定的未知试样，测定上述测定线的强度；副成分含有率初始值设定步骤，其中，针对每个副成分，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度及上述校准曲线制作步骤中的校准曲线，计算基体校正前的未校正含有率并设定为含有率的初始值；未校正含有率比计算步骤，其中，针对每个对比主成分，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述强度比校准曲线制作步骤中的强度比校准曲线，计算基体校正前的未校正含有率比；主成分含有率初始值设定步骤，其中，针对对比主成分及基准主成分，基于上述未校正含有率比计算步骤中的未校正含有率比和上述副成分含有率初始值设定步骤中的副成分的未校正含有率，计算基体校正前的未校正含有率并设定为含有率的初始值。

30、再有，上述定量机构进行：副成分含有率更新步骤，其中，针对每个副成分，基于最新的附加校正成分的含有率，对上述副成分含有率初始值设定步骤中的未校正含有率进行基体校正，更新含有率；含有率比更新步骤，其中，针对每个对比主成分，基于在上述副成分含有率更新步骤中使用的最新的附加校正成分的含有率，对上述未校正含有率比计算步骤中的未校正含有率比进行基体校正，更新含有率比；主成分含有率更新步骤，基于在上述含有率比更新步骤中更新的含有率比及在上述副成分含有率更新步骤中已更新的副成分的含有率，更新对比主成分及基准主成分的含有率；收敛判断步骤，基于预定收敛条件进行收敛判断；以及结果输出步骤，输出作为应求出的未知试样中的成分的含有率的最新的含有率，在上述收敛判断步骤中，在判断为未收敛的情况下，使流程返回到上述副成分含有率更新步骤，在判断为收敛的情况下，使流程进行至上述结果输出步骤。

31、在第5方案的荧光x射线分析装置中，使用校准曲线法的定量机构进行：制作强度比校准曲线的强度比校准曲线制作步骤、未校正含有率比计算步骤、含有率比更新步骤和主成分含有率更新步骤，上述强度比校准曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比之间的相关性，且包含基体校正项，上述未校正含有率比计算步骤是基于强度比校准曲线计算基体校正前的未校正含有率比的步骤，上述含有率比更新步骤是基于最新的附加校正成分的含有率对未校正含有率比进行基体校正，并更新含有率比的步骤，上述主成分含有率更新步骤是基于已更新的含有率比，更新对比主成分及基准主成分的含有率的步骤。通过进行在现有技术的校准曲线法的算法中不存在的这些步骤，针对主成分彼此的含有率比来进行足够精确的分析。

32、本发明的第6方案涉及下述的荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置首先对试样照射一次x射线，基于所产生的荧光x射线的测定强度，通过采用校准曲线法的定量机构，求出上述试样中的成分的含有率。

33、另外，上述定量机构进行：标准试样测定步骤，其中，针对标准试样，测定作为与成分相对应的荧光x射线的测定线的强度，在上述标准试样中，将作为构成基准的主成分的单一的基准主成分、与该基准主成分进行对比的对比主成分、以及副成分指定为成分，各成分的含有率是已知的，从全部成分中指定用于基体校正的附加校正成分；校准曲线制作步骤，其中，针对每条测定线，基于已知的含有率以及上述标准试样测定步骤中的测定强度，制作校准曲线，上述校准曲线为测定强度与含有率之间的相关性，且包含基体校正项；强度比校准曲线制作步骤，其中，针对与对比主成分相对应的每条测定线，基于已知的含有率以及上述标准试样测定步骤中的测定强度，制作强度比校准曲线，该强度比校准曲线为作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比之间的相关性，且包含基体校正项。

34、还有，上述定量机构进行：未知试样测定步骤，其中，针对上述基准主成分、上述对比主成分以及上述副成分指定为成分、各成分的含有率未知且上述附加校正成分指定的未知试样，测定上述测定线的强度；含有率初始值设定步骤，其中，针对各成分，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述校准曲线制作步骤中的校准曲线，计算基体校正前的未校正含有率并设定为含有率的初始值；未校正含有率比计算步骤，其中，针对每个对比主成分，基于上述未知试样测定步骤中的测定强度以及上述强度比校准曲线制作步骤中的强度比校准曲线，计算基体校正前的未校正含有率比。

35、再有，上述定量机构进行：副成分含有率更新步骤，其中，针对每个副成分，基于最新的附加校正成分的含有率，对上述含有率初始值设定步骤中的未校正含有率进行基体校正，更新含有率；推定含有率计算步骤，其中，对于对比主成分及基准主成分，基于在上述副成分含有率更新步骤中使用的最新的附加校正成分的含有率，对上述含有率初始值设定步骤中的未校正含有率进行基体校正，计算推定含有率；含有率比更新步骤，其中，针对每个对比主成分，基于在上述副成分含有率更新步骤中使用的最新的附加校正成分的含有率，对上述未校正含有率比计算步骤中的未校正含有率比进行基体校正，更新含有率比；主成分含有率更新步骤，其中，基于上述推定含有率计算步骤中的对比主成分的推定含有率及基准主成分的推定含有率的合计以及在上述含有率比更新步骤中已更新的含有率比，更新对比主成分的含有率及基准主成分的含有率；收敛判断步骤，其中，基于预定收敛条件进行收敛判断；以及结果输出步骤，输出作为应求出的未知试样中的成分的含有率的最新的含有率，在上述收敛判断步骤中，在判断为未收敛的情况下，使流程返回到上述副成分含有率更新步骤，在判断为收敛的情况下，使流程进行至上述结果输出步骤。

36、在第6方案的荧光x射线分析装置中，使用校准曲线法的定量机构进行：制作强度比校准曲线的强度比校准曲线制作步骤、未校正含有率比计算步骤、推定含有率计算步骤、含有率比更新步骤和主成分含有率更新步骤，上述强度比校准曲线为构成作为对比主成分的测定强度与基准主成分的测定强度之比的测定强度比、与作为对比主成分的含有率与基准主成分的含有率之比的含有率比之间的相关性，且包含基体校正项，上述未校正含有率比计算步骤是基于强度比校准曲线计算基体校正前的未校正含有率比的步骤，上述推定含有率计算步骤是基于最新的附加校正成分的含有率，对对比主成分及基准主成分的未校正含有率进行基体校正并计算推定含有率的步骤，上述含有率比更新步骤是基于最新的附加校正成分的含有率，对未校正含有率比进行基体校正并更新含有率比的步骤，上述主成分含有率更新步骤是基于对比主成分的推定含有率及基准主成分的推定含有率的合计以及最新的含有率比来更新对比主成分的含有率及基准主成分的含有率的步骤。通过进行在现有技术的校准曲线法的算法中不存在的这些步骤，针对主成分彼此的含有率比来进行足够精确的分析。

37、在第6方案的荧光x射线分析装置中，对于上述定量机构，在针对标准试样和未知试样，副成分没有指定为成分的情况下，跳过上述副成分含有率更新步骤。

38、在本发明的荧光x射线分析装置中，对于上述定量机构，也可作为上述标准试样测定步骤中的测定强度和上述未知试样测定步骤中的测定强度，采用基于试样的分析面的高度与测定强度之间的相关性，按照除去试样的分析面的高度的变动而对测定强度造成的影响的方式进行了校正的测定强度。根据试样的形态，通过像这样进行高度校正，针对主成分彼此的含有率之比来进行更精确的分析。

39、权利要求书和/或说明书和/或附图所公开的至少两种结构的任意组合也包含在本发明中。特别是，权利要求书中各项权利要求的两项以上的任意组合也包含在本发明中。