1.一种显微镜镜头脏污检测方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种显微镜镜头脏污检测方法,其特征在于,所述待检测的显微镜镜头相对于不同空间频率的响应值通过刃边函数响应和傅里叶变换求出,所述显微镜镜头相对于不同空间频率的响应值包括显微镜镜头的竖直方向响应值、与显微镜镜头的水平方向响应值;
3.根据权利要求1所述的一种显微镜镜头脏污检测方法,其特征在于,所述将所述调制传递函数曲线与预设阈值区域进行比对,输出镜头脏污或镜头干净的检测结果的步骤包括:
4.根据权利要求3所述的一种显微镜镜头脏污检测方法,其特征在于,所示设定阈值区域步骤还包括,
5.一种显微镜镜头脏污清理方法,其特征在于,包括,
6.根据权利要求5所述的一种显微镜镜头脏污清理方法,其特征在于,所述依据所述实时检测结果对显微镜镜头进行清理步骤包括,
7.一种显微镜镜头脏污检测装置,其特征在于,包括,
8.根据权利要求1所述的一种显微镜镜头脏污检测方法,其特征在于,所述检测板为一通过玻璃蚀刻工艺制作的微型分辨率测试标板,所述微型分辨率测试标板具有棋盘格测试图形,所述棋盘格测试图形由黑色方格与白色方格交错排列而成,所述黑色方格与白色方格的尺寸均为0.02mm*0.02mm。
9.根据权利要求7所述的一种显微镜镜头脏污检测装置,其特征在于,还包括镜头清理结构,所述镜头清理结构与所述分析单元信号连接,根据所述分析单元输出的镜头脏污的检测结果信息,执行对镜头进行的清理工作。
10.一种显微镜镜头脏污检测系统,其特征在于,包括,