1.一种变刚度悬臂梁传感器结构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的变刚度悬臂梁传感器结构，其特征在于，所述感应部具有平行于所述悬臂梁结构延伸方向的第一表面，所述压敏电阻设置于所述第一表面上；
3.如权利要求2所述的变刚度悬臂梁传感器结构，其特征在于，所述支撑结构具有平行于所述悬臂梁结构延伸方向的第三表面，所述第三表面与所述第一表面位于同一平面内；
4.如权利要求1所述的变刚度悬臂梁传感器结构，其特征在于，所述感应部的厚度与所述传递部厚度之比大于或等于1/3且小于1。
5.如权利要求1所述的变刚度悬臂梁传感器结构，其特征在于，所述传递部的长径比为200-800。
6.如权利要求5所述的变刚度悬臂梁传感器结构，其特征在于，所述传递部的长径比为400-600。
7.一种变刚度悬臂梁传感器阵列，其特征在于，包括：
8.如权利要求7所述的变刚度悬臂梁传感器阵列，其特征在于，多组所述悬臂梁结构传递部的长径比均不相同。
9.如权利要求7所述的变刚度悬臂梁传感器阵列，其特征在于，所述感应部具有平行于所述悬臂梁结构延伸方向的第一表面，所述压敏电阻设置于所述第一表面上；
10.一种如权利要求1-6任一所述的变刚度悬臂梁传感器结构的制作方法，其特征在于，包括：
11.如权利要求10所述的变刚度悬臂梁传感器结构的制作方法，其特征在于，从晶圆的第二表面刻蚀所述悬臂梁结构的感应部的步骤，包括：
12.如权利要求11所述的变刚度悬臂梁传感器结构的制作方法，其特征在于，提供模具组件，包括：
13.如权利要求12所述的变刚度悬臂梁传感器结构的制作方法，其特征在于，将晶圆放置于所述第一模具本体以及所述第二模具本体之间并限位，包括：