1.一种判定硅片等级的方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取待测硅片表面的检测结果数据，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述待测硅片表面的检测结果数据，计算获得所述待测硅片表面上每个指定区域内包含的所述颗粒物的累加面积以及所述颗粒物的总数量，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述每个指定区域内包含的所述颗粒物的累加面积以及所述颗粒物的总数量，按照设定的判定规则来判定所述待测硅片的等级，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述每个圆环区域内包含的所述颗粒物的累加面积p_area与所述每个圆环区域对应的面积area，计算获得所述待测硅片等级的面积判定系数p_area_judge，包括：
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述每个圆环区域内包含的所述颗粒物的总数量p_count与所述每个圆环区域对应的面积area，计算获得所述待测硅片等级的密度判定系数p_den_judge，包括：
7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述面积判定系数p_area_judge和所述密度判定系数p_den_judge，确定所述待测硅片的等级，包括：
8.一种判定硅片等级的装置，其特征在于，所述装置包括第一获取部分，第二获取部分以及判定部分；其中，
9.一种判定硅片等级的设备，其特征在于，所述设备包括：通信接口，存储器和处理器；各个组件通过总线系统耦合在一起；其中，
10.一种计算机存储介质，其特征在于，所述计算机存储介质有判定硅片等级的程序，所述判定硅片等级的程序被至少一个处理器执行时实现权利要求1至7中任一项所述判定硅片等级的方法的步骤。