基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构

本发明涉及半导体材料器件测量，具体为基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构。

背景技术：

1、半导体材料器件是指用来制作半导体材料器件和集成电路的电子材料，而在制备不同半导体材料器件和集成电路时对半导体材料器件有不同的形态要求，包括单晶的切片、磨片、抛光片、薄膜等，而在对半导体材料器件进行使用的过程中需要通过光学测量组件配合智能传送组件对其进行测量，以确保半导体材料器件能够适应不同集成电路的需求，而半导体材料器件的形状各不相同，因而在对半导体材料器件进行测量的过程中需要对其进行多方位的测量。

2、但是现有的半导体材料器件测量机构在使用时，还存在以下问题：

3、1、在通过现有的半导体材料器件测量机构和智能传送和下料组件对半导体材料器件进行测量的过程中，智能传送组件上的夹持定位组件对半导体材料器件进行夹持定位时，测量机构只能对半导体材料器件进行单方位的测量，使得在对半导体材料器件进行测量时需要对半导体材料器件进行拆卸和再安装才能够实现多方位的测量，从而降低了现有半导体材料器件测量机构使用便捷性和智能传送组件的使用效果；

4、2、在对半导体材料器件进行测量时，光学测量组件会受到周围环境光和半导体材料器件上粘接灰尘的影响，可能会导致测量的结果存在误差，从而降低了现有半导体材料器件测量机构的使用效果。

5、鉴于此，针对上述问题，深入研究，遂有本案产生。

6、针对上述问题，在原有基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构的基础上进行创新设计。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构，以解决上述背景技术中提出不便于对半导体材料器件进行多方位测量和测量受环境光和灰尘影响产生误差的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构，包括智能传送组件、液压升降组件、连接板、光学测量组件和除尘箱，

3、所述智能传送组件的背部固定安装有液压升降组件，所述液压升降组件的顶端固定连接有连接板，所述连接板的底部安装有遮光罩，所述遮光罩的底部设置有缓冲机构；

4、所述连接板的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部贴合有光学测量组件，所述光学测量组件的外圈固定安装有支撑座，且支撑座与连接板之间通过定位机构相互连接；

5、所述液压升降组件的两侧安装有吸尘动力机构，所述吸尘动力机构的顶端与连接板固定连接；

6、所述吸尘动力机构的一侧连接有除尘箱，所述除尘箱的内部安装有过滤机构，所述除尘箱的一侧法兰连接有集流管，所述集流管上等间距分布有吸尘口；

7、所述智能传送组件的表面安装有翻转夹持机构，且智能传送组件的顶面中部安装有齿板，并且齿板与翻转夹持机构啮合连接。

8、优选的，所述缓冲机构包括限位杆，所述遮光罩的底端内部滑动连接有限位杆，所述限位杆的表面套接有第一弹簧，所述限位杆的底端固定连接有缓冲垫，且缓冲垫通过第一弹簧和限位杆与遮光罩构成伸缩结构。

9、采用上述技术方案，使得缓冲机构的设置能够在液压升降组件带动遮光罩与翻转夹持机构进行对接的过程中进行缓冲，避免两者产生直接的刚性接触产生损坏，同时遮光罩的设置能够对测量中的环境光进行有效的遮蔽，提高了该半导体材料器件多方位测量机构的测量精准性。

10、优选的，所述定位机构包括固定轴，所述连接板的一侧安装有固定轴，所述固定轴的一端转动连接有调节杆，所述调节杆的表面套设有活动板，所述活动板的内部开设有连接槽，且连接槽与调节杆螺纹连接，所述活动板的顶部固定安装有错位板，且错位板与支撑座错位卡合连接。

11、采用上述技术方案，使得通过对定位机构的控制能够便于对损坏和精准度下降的光学测量组件和支撑座进行便捷的更换，提高了该半导体材料器件多方位测量机构光学测量组件和支撑座更换的便捷性和精准性。

12、优选的，所述吸尘动力机构包括联动板，所述连接板的两侧固定连接有联动板，所述联动板的内部固定安装有活塞杆，所述活塞杆的底端安装有活塞板，所述活塞板的表面套接有活塞管，所述活塞管的顶端内部嵌合有密封套，所述活塞管的顶端对称分布有出气阀和进气阀，所述进气阀的一端与除尘箱相互连接。

13、采用上述技术方案，能够利用液压升降组件在带动遮光罩和光学测量组件升降过程中产生的动能，驱动吸尘动力机构进行运作，从而便于通过除尘箱、集流管和吸尘口对被测量的半导体材料器件进行有效的灰尘清除，避免灰尘影响测量的精准性，提高了该半导体材料器件多方位测量机构的结构联动性。

14、优选的，所述活塞杆通过活塞板与活塞管构成活塞结构，且密封套与活塞杆滑动连接。

15、采用上述技术方案，使得密封套的设置能够对吸尘动力机构的密封性进行提升，避免活塞杆与活塞管的连接处产生泄露，提高了该吸尘动力机构的使用效果，同时活塞结构的设置能够对液压升降组件升降的动能进行充分的利用，提高了该半导体材料器件多方位测量机构的资源利用率。

16、优选的，所述过滤机构包括顶板，所述除尘箱的顶端内部嵌合有顶板，所述顶板的底面中部安装有滤网，所述顶板的顶面固定安装有定位板，所述定位板的内部滑动连接有定位杆，所述定位杆的一端表面套设有第二弹簧，且定位杆通过第二弹簧与定位板伸缩连接，所述定位杆的另一端固定安装有卡合板，所述除尘箱的一侧开设有与卡合板对应的卡合槽，且卡合板与卡合槽卡合连接。

17、采用上述技术方案，使得过滤机构的设置能够防止吸收的灰尘进入吸尘动力机构内部产生影响，同时也便于对过滤机构进行安装和拆卸，提高了过滤机构和除尘箱清理工作的便捷性。

18、优选的，所述翻转夹持机构包括固定框，所述智能传送组件的表面固定安装有固定框，所述固定框的两侧内部镶嵌有连接轴，一侧所述连接轴的内部贯穿有连接杆，另一侧所述连接轴的内部连接有气缸，且气缸和连接杆的一端均安装有夹持板，所述气缸的一端安装有齿轮。

19、采用上述技术方案，使得翻转夹持机构配合齿板和智能传送组件能够在对半导体材料器件进行移动上下料和测量的过程中实现自动的翻转，提高了该半导体材料器件多方位测量机构与智能传送组件之间的联动性，同时提高了该半导体材料器件多方位测量机构的使用便捷性。

20、优选的，所述气缸和连接杆通过连接轴与固定框构成旋转结构，且气缸通过齿轮与齿板啮合连接。

21、采用上述技术方案，使得气缸能够配合连接杆在旋转的过程中通过夹持板对半导体材料器件进行稳定的夹持，同时提高了半导体材料器件在翻转过程中的稳定性。

22、与现有技术相比，本发明的有益效果是：该基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构，通过液压升降组件实现对遮光罩和光学测量组件的升降，以便于在对半导体材料器件进行测量的过程中通过遮光罩对环境光进行遮蔽，并且该测量机构还利用液压升降组件在升降过程中产生的动能联动吸尘动力机构，配合除尘箱、集流管和吸尘口对半导体材料器件表面粘接的灰尘进行有效的清除，有利于避免环境光和灰尘造成测量的误差，提高了该半导体材料器件多方位测量机构的结构联动性和测量精准性；

23、同时利用智能传送组件带动半导体材料器件进行移动和上下料的过程中，配合翻转夹持机构和齿板的设置，能够在半导体材料器件移动的过程中辅助其进行翻转，从而能够便于对半导体材料器件进行翻转并进行多方位的测量，提高了该半导体材料器件测量机构的使用效果，同时提高了该半导体材料器件测量机构与智能传送组件之间的联动性。