基于双预测器协同决策的晶圆级适应性测试方法

文档序号:35140639发布日期:2023-08-17 15:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于双预测器协同决策的晶圆级适应性测试方法,其特征在于,是按如下步骤进行:

2.一种电子设备,包括存储器以及处理器,其特征在于,所述存储器用于存储支持处理器执行权利要求1所述晶圆级适应性方法的程序,所述处理器被配置为用于执行所述存储器中存储的程序。

3.一种计算机可读存储介质,计算机可读存储介质上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器运行时执行权利要求1所述晶圆级适应性方法的步骤。


技术总结
本发明公开了一种基于双预测器协同决策的晶圆级适应性测试方法,包括:1、数据预处理;2、利用RFECV算法对测试项进行筛选;3、利用随机森林算法建立基于测试项的质量预测器;4、根据BNR将晶粒划分为不同等级,建立基于空间信息的质量预测器;5、根据两种预测结果利用DBSCAN聚类算法对晶粒进行聚类,将不同类别的晶粒划分质量等级,根据晶粒不同等级类别的分布结果,逐次确定各个类别晶粒的质量。本发明能在降低晶圆的测试成本的同时,将测试逃逸和产量损失控制在极低的水平,保证较好的测试质量。

技术研发人员:梁华国,潘宇琦,李俊明,汤宇新,曲金星,易茂祥,黄正峰,鲁迎春
受保护的技术使用者:合肥工业大学
技术研发日:
技术公布日:2024/1/14
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