1.一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，所述把激光器发射的单个细光束变为多个细光束，包括如下步骤：
3.根据权利要求2所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，所述将多个所述细光束作为入射光束依次打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位，包括：
5.根据权利要求4所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，所述多个所述细光束依次经过第二透光板后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域内的测量点位，包括如下步骤：
6.根据权利要求1所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，所述旋转所述待测光栅样品，确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期，包括如下步骤：
7.根据权利要求6所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，所述旋转所述待测光栅样品，使得设定级次的衍射光与当前入射光束重合，获取待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角与入射角，包括如下步骤：
8.根据权利要求7所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，所述基于所述当前测量点位的衍射角与入射角，根据光栅方程，确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期，包括如下步骤：
9.根据权利要求6所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，所述旋转所述待测光栅样品，使得设定级次的衍射光与当前入射光束重合，获取待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角与入射角，包括如下步骤：
10.根据权利要求9所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，所述基于所述当前测量点位的衍射角与入射角，根据光栅方程，确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期，包括：
11.根据权利要求1所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，在旋转所述待测光栅样品之前，还包括如下步骤：
12.根据权利要求1所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法，其特征在于，在所述确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期之后，还包括：
13.一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，包括基材治具、激光器、第一光束转换部件以及第二光束转换部件；
14.根据权利要求13所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，
15.根据权利要求14所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，
16.根据权利要求13所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，
17.根据权利要求16所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，还包括动力组件以及控制器，所述动力组件包括驱动电机和从动轴；
18.根据权利要求16所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，
19.根据权利要求18所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，所述基材治具还包括角位台；
20.根据权利要求18所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，所述基材治具还包括横向滑轨和纵向滑轨；
21.根据权利要求18所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，还包括角度感应箱体、信号处理器以及计算机；
22.根据权利要求21所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，当设定级次的衍射光与当前入射光束重合状态下，在计算机内基于光栅方程构建衍射周期如下计算模型：