1.一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的气体传感器,其特征在于,所述支撑层(20)和/或介电层(40)的聚热区由多个悬梁和承载层构成,且多个所述悬梁的各自一端连接至所述承载层和多个所述悬梁的各自另一端连接至所述支撑层(20)和/或介电层(40),其中,
3.根据权利要求1或2所述的气体传感器,其特征在于,在所述聚热区布设的通孔以从所述承载层沿悬梁延伸方向逐渐减小的方式配置的状态下,所述悬梁以其宽度朝所述承载层所在端逐渐增大的方式配置。
4.根据权利要求1~3任一项所述的气体传感器,其特征在于,所述加热组件(30)还包括加热电极(301),且所述加热电极(301)电性连接于所述加热丝(302)两端,其中,
5.根据权利要求1~4任一项所述的气体传感器,其特征在于,所述支撑层(20)和介电层(40)各自的聚热区以在堆叠方向观察下彼此重合或包含的方式配置。
6.根据权利要求1~5任一项所述的气体传感器,其特征在于,所述检测电极(50)包括叉指电极(501),一对所述叉指电极(501)各自的电叉指(501)彼此交汇形成用于检测的传感区域(503),且所述传感区域(503)以在堆叠方向观察下与所述支撑层(20)和/或介电层(40)的承载层重叠的方式配置。
7.根据权利要求1~6任一项所述的气体传感器,其特征在于,所述沉积有气敏材料(70)的传感层(60)包括第一功能区和第二功能区,其中,
8.根据权利要求1~7任一项所述的气体传感器,其特征在于,所述介电层(40)构造有形状适配于所述加热组件(30)的加热电极(301)的容纳区域。
9.根据权利要求1~8任一项所述的气体传感器,其特征在于,所述支撑层(20)和/或介电层(40)是由氮化硅和氧化硅中的至少一个形成的复合结构。
10.一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器的制造方法,其特征在于,包括: