1.一种拉曼光谱设备,所述设备包括:
2.根据权利要求1所述的设备,其中,所述成像光学系统被配置成将所述拉曼散射光聚焦到所述摄谱仪的输入焦平面。
3.根据权利要求1或2所述的设备,所述设备被配置成使得所述摄谱仪接收光束的线性阵列,每个光束包括来自所述照亮点中的相应一个照亮点的拉曼散射光。
4.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,所述摄谱仪被配置成接收光束的线性阵列。
5.根据权利要求4所述的设备,其中,所述摄谱仪包括入口孔径,所述入口孔径成形为限定用于接收所述光束的线性阵列的狭缝,所述入口孔径优选地位于所述摄谱仪的所述输入焦平面处。
6.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,所述照射光学系统被配置成使得所述多个照亮点被布置成线性阵列。
7.根据从属于权利要求5的权利要求6所述的设备,其中,所述成像光学系统被配置成使来自所述照亮点的线性阵列的光成像,或将来自所述照亮点的线性阵列的光透射到所述狭缝。
8.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,所述设备被配置成对所述拉曼散射光进行至少一次测量,其中,在每次测量中,所述设备对多个拉曼光谱进行检测,每个拉曼光谱对应于所述照亮点中的相应一个照亮点。
9.根据权利要求8所述的设备,其中,所述设备被配置成进行多次所述测量,其中,在每次测量中,所述拉曼光谱对应于所述照亮点中的相应一组照亮点,所述照亮点中的每组照亮点对应于所述物体的不同区域,所述照亮点中的每组照亮点优选地对应于所述物体的相应线性区域。
10.根据权利要求9所述的设备,其中,所述设备被配置成对所述物体进行扫描,使得所述区域共同覆盖所述物体的目标区域。
11.根据权利要求9所述的设备,其中,所述设备包括扫描构件,所述扫描构件用于在所述物体和所述物体的所述区域之间实现相对移动,每次测量都是针对所述区域进行的。
12.根据权利要求11所述的设备,其中,所述扫描构件包括以下中的任一个或多个:用于使所述物体相对于所述照射光学系统移动的构件;被配置成相对于所述物体扫描来自所述光源的光的扫描系统;和/或用于使所述摄谱仪的入口孔径移动的构件。
13.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,光学检测器设置在所述摄谱仪的出口孔径处,通常设置在所述摄谱仪的出口焦平面处。
14.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,所述设备被配置成或能配置成执行拉曼光谱和/或拉曼成像,并且在拉曼成像模式下,所述照射光学系统被配置成在多个照亮点处照亮所述物体的目标区域,并且所述成像光学系统被配置成通过检测来自所述照亮点的在所选择的一个或多个波长范围内的拉曼散射光来捕获所述目标区域的至少一个拉曼图像。
15.根据权利要求14所述的设备,其中,所述成像光学系统包括光谱滤波器,所述光谱滤波器能配置成使仅在多个可选择波长范围中的所选择的一个或多个波长范围中的光透射。
16.根据权利要求15所述的设备,其中,在所述拉曼成像模式下,所述光谱滤波器位于到所述摄谱仪的所述光学路径中,并且被配置成在所述所选择的一个或多个波长范围中将光透射到所述摄谱仪。
17.根据权利要求15或16所述的设备,其中,所述光谱滤波器能移动至到所述摄谱仪的光学路径中并且能移动出到所述摄谱仪的所述光学路径之外,或者所述光谱滤波器能配置成使在所有所述可选择波长范围中的光同时通过。
18.根据权利要求14至17中任一项所述的设备,其中,在拉曼光谱模式下,所述摄谱仪被配置成按波长使所述拉曼散射光色散,并且在所述拉曼成像模式下,所述摄谱仪被配置成不按波长使所述拉曼散射光色散,所述摄谱仪优选地被配置成将拉曼图像从所述摄谱仪的入口传递到出口。
19.根据权利要求18所述的设备,其中,所述摄谱仪包括至少一个色散元件,并且其中,所述至少一个色散元件能够移动到所述摄谱仪的所述入口和所述出口之间的光的路径中,并且能够移动到所述摄谱仪的所述入口和所述出口之间的光的路径之外,所述至少一个色散元件在所述拉曼光谱模式下位于所述光的路径中,在所述拉曼成像模式下位于所述光的路径之外,或者其中,所述至少一个色散元件能被配置成在色散状态和非色散状态之间。
20.根据权利要求19所述的设备,其中,所述摄谱仪包括至少一个非色散元件,所述至少一个非色散元件能移动到所述光的路径中并且能移动到所述光的路径之外,其中,在所述拉曼成像模式下,所述至少一个非色散元件代替所述光的路径中的所述至少一个色散元件。
21.根据权利要求20所述的设备,其中,所述至少一个色散元件和所述至少一个非色散元件设置在组件上,所述组件能够在色散状态和非色散状态之间移动,在所述色散状态下,所述至少一个色散元件位于所述光的路径中,在所述非色散状态下,所述至少一个非色散元件位于所述光的路径中。
22.根据权利要求15所述的设备,其中,所述光谱滤波器位于光学检测器之前的所述光学路径中,所述成像光学系统包括用于将所述拉曼散射光引导到所述摄谱仪和/或所述光学检测器的引导构件。
23.根据权利要求22所述的设备,其中,所述引导构件包括分束器、镜或一个或多个任何其他合适的光束切换或光束引导元件。
24.根据权利要求22或33所述的设备,其中,所述引导构件能相对于所述光学路径移动,或者能调节使得在拉曼光谱模式下,至少一些所述拉曼散射光被引导到所述摄谱仪,并且在所述拉曼成像模式下,至少一些所述拉曼散射光被引导到所述光学检测器。
25.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,所述扫描装置包括与所述多个孔径对准的多个透镜,以将所述光聚焦在所述孔径上。
26.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,所述扫描装置包括能旋转的扫描盘。
27.根据从属于权利要求25的权利要求26所述的设备,其中,所述扫描装置包括能旋转的透镜盘,在能旋转的透镜盘中,提供了所述多个透镜,所述透镜盘能与所述扫描盘一起旋转。
28.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,所述光源是激光光源,并且被配置成产生激光光束。
29.根据前述权利要求中任一项所述的设备,所述设备还包括分束器,所述分束器位于所述光学路径中,并且使所述光源的光和所述拉曼散射光中的一个透射,并且使所述光源的光和所述拉曼散射光中的另一个反射,所述成像光学系统被配置成使所述物体成像,或者通过所述分束器将来自所述物体的光透射到所述光学检测器,并且所述照射光学系统被配置成通过所述分束器照亮所述物体。
30.根据权利要求29所述的设备,其中,所述分束器使所述光源的光透射并使所述散射拉曼光反射。
31.根据权利要求29或30所述的设备,其中,所述分束器位于所述扫描装置和所述摄谱仪之间。
32.根据权利要求15所述的设备,其中,所述光谱滤波器是能调节的或能调谐的,以使仅在多个可选择波长范围中的所选择的一个或多个波长范围中的光透射。
33.根据前述权利要求中任一项所述的设备,其中,所述照射光学系统和所述成像光学系统被配置成使所述物体共焦地照亮和成像。
34.一种拉曼光谱方法,所述拉曼光谱方法包括: