基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测的制作方法

文档序号:37057996发布日期:2024-02-20 21:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测装置,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测装置,其特征在于:所述探测入射光的光子能量低于所述探测样品中任意材料的禁带宽度。

3.根据权利要求1所述的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测装置,其特征在于:

4.根据权利要求1所述的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测装置,其特征在于:

5.根据权利要求1-4任一项所述的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测装置,其特征在于:所述激发入射光路中还包括光补偿器。

6.应用权利要求1-5任一项所述的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测装置的材料禁带宽度已知的样品的固定波长二谐波测量方法,其特征在于,所述固定波长二谐波测量方法包括:

7.根据权利要求6所述的材料禁带宽度已知的样品的固定波长二谐波测量方法,其特征在于,所述固定波长二谐波测量方法还包括:

8.应用权利要求1-5任一项所述的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测装置的材料禁带宽度未知的样品的可调谐波长二谐波测量方法,其特征在于,所述可调谐波长二谐波测量方法包括:

9.一种电子设备,其特征在于,包括:

10.一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机指令用于使所述计算机执行权利要求6-8中任一项所述的方法。


技术总结
本发明提出的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测方案,解决的问题是因不同禁带宽度的材料的检测需求不同而导致的检测范围的局限性问题及实现该方案的障碍。本发明,首先有适用范围的提升。双光源系统不仅能对材料的能带结构做精确测量,而且能够针对性调节激发光的波长,使得本发明适用的材料范围更大。其次,测量参数的增多。双光源结构,当激发光关闭后,依然能够使用探测光对电子的复合进行检测,能够观测到其复合的过程,从而可对载流子寿命以及扩散长度做分析。最后,通过确保探测光斑所探测到的区域的能量分布是均匀一致的,提升了测量的准确性。本发明提高了样品检测的全面性和准确性,对现有的二谐波检测系统具有重大的提升。

技术研发人员:赵威威,黄崇基,周朴希
受保护的技术使用者:上海微崇半导体设备有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/19
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