1.一种晶圆老化测试设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，所述晶圆测试模块组包括：第一晶圆测试模块、第二晶圆测试模块和第三晶圆测试模块，其中，所述第一晶圆测试模块、所述第二晶圆测试模块和所述第三晶圆测试模块包括：探针板卡、驱动板、加热恒温台、加压保护模块、定位与气动系统。
3.根据权利要求2所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，所述系统电源包括：栅偏电源和反偏电源；所述晶圆测试模块组还包括：控制电路，所述控制电路包括：继电器组、mos管组、电阻集合、tvs管组、二极管组、运算放大器、电流采样输出口和阈值检测分压检测输出口；其中，
7.根据权利要求6所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，
8.根据权利要求6所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，
9.根据权利要求6所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，
10.根据权利要求1所述的晶圆老化测试设备，其特征在于，所述至少一个待测试晶圆包括：sic。