1.中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量方法,其特征在于:利用光路自准直原理对被测镜组进行偏心监测,结合五维调整结构对被测镜组的安装偏心和倾斜位姿误差进行补偿,保证被测镜组轴线与测量光轴严格重合,从而消除阿贝误差;利用激光差动共焦光路对被测镜组间隔上顶点和下顶点进行高分辨定焦,实现对被测镜组参数的高分辨、高精度测量。
2.根据权利要求1所述的中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量方法,其特征在于:包括如下步骤,
3.根据权利要求2所述的中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量方法,其特征在于:被测样品(6)包括双片镜组结构、多片镜组结构。
4.中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量装置,用于实现如权利要求2或3所述的中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量方法,其特征在于:包括点光源(1)、位于点光源(1)出射方向的分光镜一(2),位于分光镜一(2)反射方向的分光镜二(3)、准直镜(4)、测量物镜(5)、被测样品(6),位于分光镜二(3)反射方向的分光镜三(8)和点探测器二(10),位于分光镜三(8)反射方向的点探测器一(9),位于分光镜一(2)反射方向反方向的图像探测系统(7)。
5.根据权利要求4所述的中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量装置,其特征在于:点光源(1)由激光器(17)和光源会聚镜(18)构成。
6.根据权利要求4所述的中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量装置,其特征在于:点探测器一(9)由放大镜一(20)和光强探测器二(21)构成;点探测器二(10)由放大镜二(22)和光强探测器二(23)构成。
7.根据权利要求4所述的中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量装置,其特征在于:图像探测系统(7)由ccd构成。
8.根据权利要求4所述的中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量装置,其特征在于:图像探测系统(7)由图像放大物镜和ccd构成。
9.根据权利要求4所述的中心偏差监测调整激光差动共焦镜组间隔测量,其特征在于:被测样品(6)回转驱动由回转工作台(26)驱动,回转工作台(26)由轴承(27)、调心调倾工作台(31)、联轴结(28)、电机(30)和电机驱动器(29)组成。