一种基于SOI的跑道型微环葡萄糖传感器及其传感方法

文档序号:36493220发布日期:2023-12-27 03:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器,其特征在于,所述传感器包括粘合层、微流通道层和光子芯片;所述粘合层、微流通道层和光子芯片三层结构密封键合;所述微流通道层上设置有微流通道、储液池和流阻;

2.根据权利要求1所述的基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器,其特征在于,所述粘合层上设置有若干数量的圆形通孔,所述粘合层的圆形通孔分别对应微流通道的各个反应液入口;所述微流通道具有主路和若干与主路连接的支路,微流通道层的反应液入口分别与微流通道的支路连接,微流通道的所有支路连接微流通道的主路,主路同时连接储液池,将反应液集中汇聚到储液池内,所述储液池的出口经流阻连接排样口,所述流阻具有蛇形走线。

3.根据权利要求1所述的基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器,其特征在于,所述跑道型微环谐振器的数量为四个,四个跑道型微环谐振器的结构参数不同,所述输入/输出波导和反射波导相互平行;所述跑道型微环谐振器输出光谱的自由光谱区fsr大于1×8阵列波导光栅的相邻通道间隔;每个跑道型微环谐振器上跑道型环波导的数量为四个,四个跑道型环波导依次布置,且四个跑道型环波导的中轴线与反射波导平行。

4.根据权利要求1所述的基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器,其特征在于,光子芯片的二氧化硅下包层厚度为3µm,折射率为1.45~1.46,光子芯片的波导芯层厚度为220nm,折射率为3.46~3.47;所述god上包层厚度为2µm,god上包层固化形成所用的god溶液浓度为15mg/ml,折射率为1.3391。

5.根据权利要求1所述的基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器,其特征在于,所述跑道型微环谐振器的跑道型环波导的环半径为4.9μm~5.5μm,粘合层和微流通道层构成微流控模块,微流控模块整体尺寸为1cm×0.5cm,所述储液池形状为矩形,尺寸为2mm×1mm,微流通道的宽度为200μm~500µm,微流通道的深宽比不超过1.5:1,粘合层厚度为0.2mm~0.5mm,微流通道层厚度为1.5mm~2mm,光子芯片厚度为0.75mm。

6.根据权利要求1所述的基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器,其特征在于,所述god上包层的形成过程是:将god与ph=5.5的磷酸盐缓冲液进行混合,制备浓度为15mg/ml的 god溶液;

7.一种权利要求1-6任一所述的基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器的传感方法,其特征在于,使用所述传感器进行葡萄糖检测,还包括片上光源和信号处理电路;1×2 mmi耦合器的接收端连接片上光源,1×2 mmi耦合器的输出连接跑道型微环谐振器的输入,跑道型微环谐振器的输出经1×2 mmi耦合器连接1×8阵列波导光栅,所述1×8阵列波导光栅用于对不同波长的光进行解调,1×8阵列波导光栅具有八个通道,1×8阵列波导光栅的输出连接光电探测器,光电探测器的输出连接信号处理电路;


技术总结
本发明公开了一种基于SOI的跑道型微环葡萄糖传感器及其传感方法,包括跑道型微环谐振器、GOD上包层、微流控模块、1×8阵列波导光栅、光电探测器和信号处理电路,GOD上包层与跑道型微环谐振器形成三维矩形接触,葡萄糖溶液进入微流控模块到达储液池后,与GOD上包层充分反应,通过阵列波导光栅和光电探测器将光信号转换为电信号,再由信号处理电路输出待测葡萄糖的浓度,实现葡萄糖传感功能。本发明基于SOI的跑道型微环葡萄糖传感器克服了笨重光学检测仪器的缺陷,同时具有集成度高、特异性高、灵敏度高的优点,在便携式可穿戴生物传感器和健康检测领域有广泛的应用前景。

技术研发人员:李鸿强,谢芳琳,左莎莎,韩明,马帅,张立震,朱智越
受保护的技术使用者:天津工业大学
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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