技术特征：1.一种原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
6.根据权利要求4所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
10.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针安装装置，其特征在于，
技术总结本发明公开了一种原子力显微镜探针安装装置，其扫描器包括激光光源、扫描管和位置调整机构；该扫描管远离激光光源的端部设有扫描器安装座；该位置调整机构设于扫描器的外壳上，位置调整机构包括可进行平移控制的调整压电管、以及流入电流可控的电磁线圈；该调整压电管以可移动的方式套于扫描管外；该电磁线圈用于磁吸探针载体于调整压电管上，或控制探针载体磁吸于扫描器安装座上；此时由于激光光源位置固定，所以在定位面具有相同的磨损情况下，调整探针载体所出现的波动位移不会被放大，可较快实现悬臂对准激光，从而避免了位置调整机构引导表面磨损导致的激光光斑在探针处出现较大的水平波动位移，造成系统不能快速完成调整的情况。
技术研发人员：杨杰,杨天国,谢梦龙,曹嘉伦,李蓉
受保护的技术使用者：广东工业大学
技术研发日：技术公布日：2024/3/17