一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置的制作方法

本技术涉及硅片分选设备，具体涉及一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置。

背景技术：

1、硅片作为重要的太阳能电池原材料，被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。应用在太阳能领域的硅片形状一般为方形或矩形，且其四个角为45°倒钝设计，在生产过程中，容易会有边缘棱边有硅落、崩边或表面脏污等不良品产生，目前是通过硅片分选机对硅片的质量进行把控和质量等级分选，以保证由硅片制造的太阳能电池、电路板等产品的质量。

2、硅片分选机一般由上料、检测和下料分选三部分组成，现有检测部分对棱边和上下表面缺陷的检测方法主要是先对硅片的一组平行边在第一个工位移动扫描检测，检测完后，硅片移动到第二个工位进行90°旋转，旋转后的硅片输送到第三个工位，对硅片的另一组平行边移动扫描检测，完成硅片的四周棱边崩边和硅落的检测，上下表面脏污的检测还需由其它工位完成，这种检测方法需要将硅片旋转，且对应的检测设备较多，成本高，导致工艺繁琐和检测效率低。

3、专利cn211086117u中公开了一种检测装置和硅片分选设备，所述检测装置包括用于输送待测物体的输送机构和两组检测机构，第一组检测机构被配置为检测待测物体的第一边缘和上表面，第二组检测机构被配置为检测待测物体的第二边缘和下表面，所述第一边缘和所述第二边缘为所述待测物体上相对的且与所述输送机构的输送方向垂直的两条边缘，每组检测机构均包括检测相机、表面照射光源、边缘照射光源和反射机构，其中，对于每组所述检测机构：所述反射机构被配置为对所述表面照射光源发出的表面照射光线进行至少一次反射，以使得表面照射光线经所述待测物体的被测表面反射后被对应的检测相机探测到；所述反射机构还被配置为对所述边缘照射光源发出的边缘照射光线进行至少一次反射，以使得边缘照射光线经所述待测物体的被测边缘反射后被对应的检测相机探测到。该专利利用反光镜设计一定的光路，将不同时间下采集的第一边缘/第二边缘图像和上下面图像反射到两组采集相机中，第一边缘和上表面为一组采集到一个相机中，第二边缘和下表面为一组采集到另一个相机中；该专利所述检测方法在一定程度上解决了上述现有检测方法的检测效率低、检测设备较多、成本高且工艺繁琐的问题，但同时引入光源和反射镜组多、导致调试变量多以及局部空间内光源多、器件多、维护可操作空间较小。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，可以实现光源少且光路简洁以及空间利用率高，以解决上述背景技术中所提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括沿着硅片输送方向依次设置的第一输送流线和第二输送流线、安装在所述第一输送流线的上方的第一线扫相机组件、安装在所述第二输送流线的下方的第二线扫相机组件、反射组件以及沿着硅片输送方向依次设置的第一隧道光源、条形高亮光源和第二隧道光源，所述第一输送流线的输出端与所述第二输送流线的输入端形成间隙，所述条形高亮光源位于所述间隙的正上方；所述第一隧道光源位于所述第一输送流线的上方，所述第二隧道光源位于所述第二输送流线的下方；

3、所述反射组件包括两个光路反射镜组、两个打光反射镜组和两个分光镜组，两个所述打光反射镜组均位于所述条形高亮光源的正下方，用于接收所述条形高亮光源发出的光以及分别将光反射至硅片的前棱边和后棱边；

4、两个所述光路反射镜组分别位于所述第一线扫相机组件和所述第一输送流线之间以及所述第二线扫相机组件和所述第二输送流线之间，用于接收对硅片的前棱边照射光线和后棱边照射光线进行至少一次反射至对应的所述分光镜组；

5、两个所述光路反射镜组还分别用于接收对所述第一隧道光源、所述第二隧道光源所发出的硅片上表面照射光线和下表面照射光线进行至少一次反射至对应的所述分光镜组；

6、两个所述分光镜组分别位于第一线扫相机组件的正下方和第二线扫相机组件的正上方，用以接收对应的所述光路反射镜组反射的光线和分别透射至第一线扫相机组件和第二线扫相机组件。

7、进一步地，还包括安装支架，所述安装支架包括安装左立板和安装右立板，所述安装左立板和所述安装右立板通过多个固定板固定连接；所述第一输送流线、所述第二输送流线、所述第一线扫相机组件、所述第二线扫相机组件、所述反射组件、所述第一隧道光源、所述条形高亮光源和所述第二隧道光源均安装在所述安装左立板和所述安装右立板上。

8、进一步地，还包括安装在所述安装支架上的两组点光源补光组件，两组所述点光源补光组件分别位于所述第一输送流线的输出端与所述第二输送流线的输入端形成的间隙的两侧，所述点光源补光组件包括支撑杆和与所述支撑杆的一端连接的点光源。

9、进一步地，所述支撑杆上安装有十字调节组件。

10、进一步地，还包括第一动态快门遮挡组件和第二动态快门遮挡组件，所述第一动态快门遮挡组件位于所述第一线扫相机组件与所述条形高亮光源之间，所述第二动态快门遮挡组件位于所述第二线扫相机组件与所述条形高亮光源之间。

11、进一步地，所述第一动态快门遮挡组件包括安装在所述安装左立板的左固定板、安装在所述安装右立板的右固定板、安装在右固定板上的驱动件和与所述左固定板和所述右固定板转动连接的挡板旋转轴，所述挡板旋转轴上设有挡板，所述挡板旋转轴的一端与驱动件连接；所述第二动态快门遮挡组件与所述第一动态快门遮挡组件的结构和连接方式相同。

12、进一步地，所述第一隧道光源的两侧均连接有第一活动调整板，两个所述第一活动调整板分别与所述安装左立板和所述安装右立板滑动连接；所述第二隧道光源的两侧均连接有第二活动调整板，所述第二活动调整板与所述第一活动调整板的结构和连接方式相同；所述第一活动调整板上位于所述第一隧道光源的上方安装有所述光路反射镜组，所述第二活动调整板上位于所述第二隧道光源的下方安装有所述光路反射镜组。

13、进一步地，所述安装右立板上设有第一固定块，所述第一活动调整板设有第二固定块，所述第一固定块和所述第二固定块通过调整螺母和调整螺栓配合连接。

14、进一步地，所述安装支架上设有两组移动滑台，两组移动滑台分别与所述第一线扫相机组件和所述第二线扫相机组件连接。

15、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

16、本实用新型使用时，设置第一隧道光源，用于给硅片的上表面打光，形成硅片上表面照射光线，经光路反射镜组反射至第一线扫相机组件下方的分光镜组，使得第一线扫相机组件采集到硅片的上表面图像；设置第二隧道光源，用于给硅片的下表面打光，形成硅片下表面照射光线，经光路反射镜组反射至第二线扫相机组件上方的分光镜组，使得第二线扫相机组件采集到硅片的下表面图像；设置条形高亮光源，用于对硅片的前棱边和后棱边打光，条形高亮光源发出的光路经过打光反射镜组对硅片的前棱边和后棱边分别打亮后，分别形成前棱边照射光线和后棱边照射光线，通过光路反射镜组分别反射至第一线扫相机组件下方的分光镜组、第二线扫相机组件上方的分光镜组，使得第一线扫相机组件采集到硅片的前棱边图像，第二线扫相机组件采集到硅片的后棱边图像；只用一个条形高亮光源即可实现对硅片的前棱边和后棱边的收集，实现光源少且光路简洁；硅片通过第一输送流线和第二输送流线输送，依次对硅片的上表面、前棱边、后棱边、下表面进行检测，结构设计紧凑，使得空间利用率高。