磁场检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种检测微小磁场等的磁场检测装置。
【背景技术】
[0002]近来，生物体磁场测定、探伤测定或者非破坏检测等测定微弱磁场的需求日益增加。
[0003]在微小磁场的测定中，进入检测对象磁场的地磁或者从测量装置产生的磁场等环境磁场的影响会成为问题，因而已提出了用于解决它们的各种各样的环境磁场消除技术的方案。
[0004]根据专利文献I (日本特开2009-297224号公报)，一边在用于减少环境磁场影响的多个线圈之中配置环境磁场检测传感器和检测传感器来排除环境磁场，一边检测检测对象的磁场。
[0005]根据专利文献2 (日本特开2012-152515号公报)，通过运算取得包含环境磁场和成为检测对象的检测磁场的磁传感器的输出与仅检测环境磁场的磁传感器的输出的差分，由此实现环境磁场的消除，并输出成为检测对象的检测磁场。这里，分别检测环境磁场即环境磁场和成为检测对象的检测磁场的一对差分运算部，进行一对差分运算部输出的差分运算，因而差分运算电路需要3个电路。
[0006]另外，一般而言，检测环境磁场的磁传感器的起因于环境温度变动的磁传感器的输出的变动即所谓的温度漂移有时会成为问题。特别是在磁场检测元件中使用磁敏电阻元件的情况下，在环境温度的变动下容易引起磁传感器的输出变动(温度漂移)。这是由磁敏电阻元件的电阻变化率随温度变动而引起的。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1:日本特开2009-297224号公报
[0010]专利文献2:日本特开2012-152515号公报
【发明内容】
[0011]发明所要解决的技术问题
[0012]在如专利文献2所述通过运算来取得差分的方式中，需要电子运算电路特别是多个差分运算部，不利于成本或者传感器部的小型化。
[0013]因此，本发明的目的在于减少差分运算部的部件个数、小型化。
[0014]解决技术问题的手段
[0015]为了达到上述目的，本发明所涉及的磁场检测装置具备:第I磁场产生部，其具有第I磁场产生导体；第I磁场检测部，其具有第I磁场检测元件和第I差分运算部，该第I差分运算部输入有对应于环境磁场的第I磁场检测元件的第I输出，并且使第I反馈电流流到第I磁场产生导体，从而第I磁场产生部将与环境磁场相反方向的第I反馈电流磁场赋给第I磁场检测元件;第2磁场产生部，其具有对应于第I反馈电流的第2电流所流过的第2磁场产生导体；以及第2磁场检测部，其具有第2磁场检测元件，第2磁场产生部将对应于第2电流的与环境磁场相反方向的磁场赋给第2磁场检测元件，第2磁场检测部检测检测磁场。
[0016]根据本发明，由于不需要用于排除环境磁场的传感器输出的运算，因此差分运算部的部件个数的减少和小型化变得可能。另外，可以抑制起因于环境磁场的环境温度的检测磁场用的磁场检测部的输出的变动(温度漂移)。
[0017]另外，在本发明中，可以成为如下磁场检测装置:第I磁场产生导体所产生的磁场与第2磁场产生导体所产生的磁场平行，第I磁场检测元件与第2磁场检测元件平行配置。
[0018]根据本发明，可以将第I磁场产生导体所产生的磁场与第2磁场产生导体所产生的磁场作为同等的磁场。
[0019]另外，在本发明中，可以成为如下磁场检测装置:第I磁场产生导体是与第I磁场检测元件分开配置的第I螺线管线圈，第2磁场产生导体是与第2磁场检测元件分开配置的第2螺线管线圈，第I磁场检测元件配置在第I螺线管线圈的内部，第2磁场检测元件配置在第2螺线管线圈的内部，第I磁场检测元件与第2磁场检测元件平行配置，第I螺线管线圈的中心线与第2螺线管线圈的中心线平行。
[0020]根据本发明，由于将第I和第2螺线管线圈个别配置，因此与成为一体的螺线管线圈相比较设计变得容易。
[0021]另外，在本发明中，可以成为如下磁场检测装置:第2磁场产生部具有第3磁场产生导体，第2磁场检测部具有第2差分运算部，该第2差分运算部输入有第2磁场检测元件的对应于检测磁场的第2输出并且使第2反馈电流流到第2磁场产生部，从而第2磁场产生部将与检测磁场相反方向的磁场赋给第2磁场检测元件，第2磁场产生部产生第2电流磁场和第2反馈电流磁场，该第2电流磁场对应于流到第2磁场产生导体的第2电流，该第2反馈电流磁场对应于流到第3磁场产生导体的第2反馈电流。
[0022]根据本发明，可以抑制起因于环境温度的变化的检测磁场用的磁场检测部(第2磁场检测部)的输出的变动(温度漂移)。另外，由于在第2磁场产生部产生与检测磁场相反方向的第2反馈电流磁场，因此第2磁场检测元件的动作区域受到限制，能够抑制由第2磁场检测元件的电阻值的温度引起的变动量，因而还可以改善输出电压的线性。
[0023]另外，在本发明中，可以成为如下磁场检测装置:第2磁场检测部具有第2差分运算部，该第2差分运算部输入有第2磁场检测元件的对应于检测磁场的第2输出并且使第2反馈电流流到第2磁场产生部，从而第2磁场产生部将与检测磁场相反方向的磁场赋给第2磁场检测元件，第2磁场产生部产生对应于流到第2磁场产生导体的第2电流以及第2反馈电流的磁场。
[0024]根据本发明，第2磁场产生部产生对应于流到第2磁场产生导体的第2电流和第2反馈电流的磁场，因而能够减少部件个数。
[0025]另外，第I和第2磁场检测元件可以作为磁阻元件。
[0026]发明的效果
[0027]由于不需要用于排除环境磁场的对传感器输出的差分运算，因此差分运算部的部件个数的减少、传感器小型化变得可能。
【附图说明】
[0028]图1是实施方式I的磁场检测装置的说明图。
[0029]图2是实施方式2的磁场检测装置的说明图。
[0030]图3是表示实施本发明的方式与磁场的关系的示意图。
[0031 ]图4是实施例1的第I磁场检测部的结构图。
[0032]图5是实施例1的第2磁场检测部和第2磁场产生部所具有的第3磁场产生导体的结构图。
[0033]图6是实施例1的磁场检测装置的构造图。
[0034]符号的说明:
[0035]1、2、3.磁场检测装置
[0036]Ia.贴装基板
[0037]10、20.磁场检测元件
[0038]110、120.磁场产生部
[0039]111、121、122.磁场产生导体
[0040]123、124、125.导电体部
[0041]210,220.差分运算部
[0042]211,221.差分运算电路
[0043]410,420.磁场检测部
[0044]510,520.电阻
[0045]530、540.检测电阻
【具体实施方式】
[0046]图3是表示成为实施本发明的前提的第I磁场检测元件10、第2磁场检测元件20、环境磁场和检测磁场的关系的示意图。第I磁场检测元件10配置在仅检测环境磁场的位置。第2磁场检测元件20配置在能够检测检测磁场的位置，并对环境磁场和检测磁场表现感磁特性。即，第2磁场检测元件20配置在检测磁场产生源的附近。这里，在第2磁场检测元件20中，为了仅检测检测磁场，有必要减少由环境磁场引起的检测量。由于环境磁场大致均匀，因此，对应于环境磁场的第I磁场检测元件10的检测量看作与第2磁场检测元件20的对应于环境磁场的检测量同等，因而通过以相对于第2磁场检测元件20的环境磁场成为相反方向的方式赋予在第I磁场检测兀件10的对应于检测量的磁场,从而可以在第2磁场检测元件20中在降低环境磁场的影响的状态下检测检测磁场。再有，这里，检测磁场不用去追究直流磁场、交流磁场。另外，相对于环境磁场相反方向是指减少第I磁场检测元件10和第2磁场检测兀件20的对应于环境磁场的检测量而成为不同符号的磁场的方向。在以后的说明中，相反方向也是同样的意思。另外，也同样适用于第I磁场检测元件10和第2磁场检测元件以外的磁场检测元件。
[0047]以下，一边参照附图一边就本发明优选的实施方式进行说明。再有，本发明并不限定于以下的实施方式。另外，在以下所记载的构成要素中，包含有本领域技术人员能够容易想到的构成要素、实质上相同的构成要素。此外，以下所记载的构成要素可以适当组合。再有，附图是示意性的，为了便于说明，厚度与平面尺寸的关系、以及装置相互间的厚度的比率在能够得到本实施方式的效果的范围内可以与现实的传感器构造有所不同。
[0048](实施方式I)
[0049]图1是本实施方式I的磁场检测装置I的概要图。磁场检测装置I具备第I磁场产生部110所具有的第I磁场产生导体111、第I磁场检测元件10、第I差分运算部210所具有的第I差分运算电路211、第I电阻510、第2磁场产生部120所具有的第2磁场产生导体121、第2磁场检测元件20、检测电阻530。这里，第I磁场检测元件10、第I差分运算部210、第I电阻510构成第I磁场检测部410 ?’第2磁场检测元件20、检测电阻530构成第2磁场检测部420。
[0050]第I磁场产生部110所具有的第I磁场产生导体111的一端连接于第I差分运算部210所具有的第I差分运算电路211的输出端。在第I差分运算电路211的一对输入端当中的一个输入端，连接有一端连接于第I电位(Vc)的第I磁场检测元件10的另一端。第I差分运算电路211的一对输入端当中的另一个输入端连接于第3电位(Gnd)。第I磁场检测元件10的另一端与一端连接于第2电位(-Vc)的第I电阻510的另一端相连接。第I磁场产生导体111的另一端连接于第2磁场产生部120所具有的第2磁场产生导体121的一端。第2磁场产生导体121的另一端连接于第3电位(Gnd)。一端连接于第I电位(Vc)的第2磁场检测元件20的另一端连接于检测电阻530的一端。检测电阻530的另一端连接于第2电位(-Vc)。这里,第I磁场检测兀件10的