压力传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具有压力检测元件的压力传感器，所述压力检测元件具有EPROM以及用于对EPROM进行写入的端子，本发明尤其涉及一种压力传感器，能够防止由于施加于ERPOM写入用端子上的高电压的脉冲噪音等而消除EPROM中所储存的信息。
【背景技术】
[0002]以往，提出了各种压力传感器:在收纳有压力检测元件的受压空间内封入有液体，所述压力检测元件具有EPROM (可擦除可编程只读储存器)等非易失性储存器，从外部施加在压力检测室上的压力通过液体而传递至压力检测元件，由此从压力检测元件输出对应于外部压力的电压信号。
[0003]作为上述液体封入式压力传感器的一例，专利文献I记载了一种下述的压力传感器:通过膜片承受流体压力，用传感器芯片(压力检测元件)检测出通过封入液体传递的压力，将检测出的压力转换为电压，通过键合线与配置在基座的同心圆上的多个电极销(引线销)连接，并通过配线基板向外部输出。
[0004]另外，从压力传感器的压力检测元件输出的电压在制造时、或由于部件的波动而不能直接向外部输出，必须对应于各压力传感器的特性进行补正。电压补正如专利文献2所记载，一般预先将补正信息储存在只读储存器中，并在压力计测时读取所储存的信息而对电压进行补正。
[0005]该情况下，引线销除了用于输出，还配设有用于上述电压补正(以下，称为“调整用”)的结构。输出用引线销软钎焊在配线基板上，将来自压力检测元件的电压信号经由配线基板向例如从该压力传感器的中心引出的外部输出用引线传递，但是调整用引线销仅在制造时对补正信息进行储存的情况下使用，不与外部输出用引线连接。另外，考虑到压力检测元件的结构和上述调整作业的容易性，输出用引线销与调整用引线销通常按照各组划分配设。
[0006]专利文献1:日本特开2001-41838号公报
[0007]专利文献2:日本特开昭62 - 175631号公报
[0008]发明所要解决的课题
[0009]但是，在以往所采用的压力传感器中，EPROM的数据有可能丢失。对其原因进行调查，结果发现由于对压力检测元件施加高电压的脉冲噪音等，因而产生数据丢失。更详细地对原因进行调查，由于反复对EPROM漏极端子施加高电压的脉冲噪音，因而储存于浮栅的电荷下降，储存于EPROM的数据会产生失位，即会产生数据丢失。由此不能从压力检测元件输出正确的信号，结果，会产生压力传感器不按照正确的动作进行工作的情况。
【发明内容】
[0010]因此，本发明为了解决上述课题而做，其目的是提供一种压力传感器，该压力传感器具有能够防止由于施加于压力检测元件的EPROM写入端子的高电压的脉冲噪音等而产生的储存于EPROM的各种数据的丢失。
[0011]用于解决课题的手段
[0012]为了达到上述目的，本发明是一种压力传感器(1)，具有压力检测元件(21)，所述压力检测元件(21)具有:多个输出用端子(21b?21d)，所述多个输出用端子(21b?21d)至少包含用于接地的接地端子(21d);非易失性储存器(21a);漏极端子(21h)以及控制栅极端子(21i)，该压力传感器的特征是，该漏极端子(21h)以及控制栅极端子(21i)是用于对非易失性储存器进行写入的2个端子，所述接地端子(21d)与所述漏极端子(21h)通过噪音去除元件而电连接。
[0013]上述压力传感器的特征是，所述输出用端子(21b?21d)、所述用于对非易失性储存器进行写入的控制栅极端子(21i)以及漏极端子(21h)分别与引线销(33、37)连接，该引线销(33、37)固定在基板(31)上，所述噪音除去元件配置所述基板(31)上。
[0014]上述压力传感器的特征是，所述引线销(33)与外部设备连接用的引线(32)连接。
[0015]上述压力传感器的特征是，所述噪音去除元件是电容器(60)。
[0016]发明效果
[0017]如上所述，采用本发明，能够保护压力传感器的压力检测元件所具备的EPROM等的非易失性储存器中所储存的各种数据由于高电压的脉冲噪音等而产生数据丢失。
【附图说明】
[0018]图1是表示本发明的压力传感器的一实施方式的示图，图1(a)为纵截面图，图1(b)为图1(a)的A-A线向视图，表示拆下接头34以及箱体35的状态。
[0019]图2是表示本发明的压力传感器的电路图。
[0020]符号说明
[0021]I压力传感器
[0022]2压力检测部
[0023]3接头连接部
[0024]21压力检测元件
[0025]21a EPROM (非易失性储存器)
[0026]21b、21c、21d 输出用端子
[0027]21e.21f.21g 调整用端子
[0028]21h、21i EPROM 写入用端子
[0029]22流体流入部
[0030]23 基座
[0031]23a贯通孔
[0032]23b密封件
[0033]23c环状角部
[0034]24承受部件
[0035]25 膜片
[0036]26受压空间
[0037]27加压空间
[0038]28 球
[0039]29键合线
[0040]31配线基板
[0041]32外部输出用引线
[0042]33 (33A.33B.33C)输出用引线销
[0043]33AGND用引线销
[0044]33B信号输出用引线销
[0045]33C电压供给用引线销
[0046]34 接头
[0047]35 罩盖
[0048]35a环状段部
[0049]36 (36A、36B、36C)调整用引线销
[0050]36A串行数据输入输出端子
[0051]36B移位寄存器用时钟输入端子
[0052]36C ENABLE 端子
[0053]37 (37A、37B) EPROM 写入用引线销
[0054]37A EPROM 漏极
[0055]37B EPROM 控制栅极
[0056]38 (38A.38B.38C)连接端子
[0057]38AGND用连接端子
[0058]38B信号输出用端子
[0059]38C电压供给用端子
[0060]41 空间
[0061]50配线结构
[0062]51金属箔
[0063]60电容器
【具体实施方式】
[0064]接着，参照附图对用于实施本发明的实施方式进行详细的说明。
[0065]图1表示本发明的压力传感器的一实施方式，该压力传感器I在内部具有压力检测元件21，并且具有与流体流入部22连接的压力检测部2以及接头连接部3，所述接头连接部3包围压力检测部2，并且收纳与压力检测元件21连接的配线基板(以下称为“基板”)31和外部输出用引线32。
[0066]压力检测部2具有:压力检测元件21、基座23、与基座23相对配置的承受部件24、以及由基座23和承受部件24夹持的膜片25。在基座23与膜片25之间的受压空间26中封入有油等绝缘性的液体。压力检测元件21在受压空间26的内部固定在基座23上。在承受部件24与膜片25之间形成有作为压力导入空间的加压空间27，加压空间27与流体流入部22的内部空间连通。
[0067]基座23形成为盖状，在基座23的下表面固定有压力检测元件21。承受部件24形成为上方开口的盘状，在中心部开口钎焊固定有流体流入部22。膜片25的外周缘部被夹在基座23的凸缘部与承受部件24的凸缘部之间，这3个部件23?25在膜片25的外周缘部露出的外周缘部分通过激光焊接等被同时焊接，并作为压力检测部2而一体化。液体(油)从贯通基座23而形成的填充孔(未图示)注入受压空间26后，在基座23的上表面填充孔被球28封住。
[0068]压力检测元件21是例如压电式元件，该压电式元件是强磁性体的一种，也被称为压电元件，当施加振动、压力等的力时，会产生电压，相反当施加电压时，会进行伸缩。
[0069]压力检测元件21，如图2所示，具有:输出用端子、调整用端子、EPROM写入用端子。这些端子是设置于压力检测元件21上的焊盘。输出用端子由电源输入用的Vcc端子21b、信号输出用的Vout端子21c、用于接地的GND端子21d构成。另外，调整用端子由用于串行数据输入输出的DS端子21e、用于移位寄存器用时钟输入用的CLK端子21f、用于对调整用信号的有效无效进行控制的E端子21G构成。EPROM写入用端子由控制栅极端子211、漏极端子21h构成。各端子分别与插通形成于基座23的贯通孔23a的输出用引线销33 (GND引线销33A、信号输出用引线销33B、电压供给用引线销33C)、调整用引线销36 (串行数据输入