物件检测方法及装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明系有关于一种检测方法及装置，尤指一种用以在具反射表面的物件上进行检测的物件检测方法及装置。
【背景技术】
[0002]一般的电子组件由于体积微小，若发生瑕疵则检查上相当困难，因此在高科技产业中惯用CCD镜头来作检测，一方面将瑕疵部位放大，另一方面藉由数字化的影像来检测其瑕疵部位的确实位置，以进行补救制程或淘汰程序。
[0003]一种以光栅配合CCD镜头进行检测瑕疵的方法曾被采用，其主要利用光栅所产生的网格变形，透过CCD镜头来检出瑕疵的部位确实位置，在晶圆晶粒的瑕疵检测中亦曾采用此种检测方式，其通常于特定光源及角度下，经人工方式透过CXD镜头进行观察光栅因受瑕疵部位影响所产生的网格变形状态，来检出晶圆晶粒的瑕疵部位。
【发明内容】
[0004]然而以光栅配合CCD镜头进行检测瑕疵的方法固然为业界所惯用，惟先前技术在晶圆晶粒的瑕疵检测中采用此种方式检测常遭遇一些问题，因为晶圆晶粒表面具有极亮的光泽，加上晶圆晶粒表面的平整度，使晶圆晶粒表面纵有瑕疵裂痕，在特定光源及角度下，晶圆晶粒表面光泽的反射，将使CCD镜头受到表面光泽反射光源的干扰，而不易检测出瑕疵裂痕。
[0005]于是，本发明的目的，在于提供一种可依需要同时或切换不同检测装置对检测物进行瑕疵凹痕、裂痕检测的物件检测方法。
[0006]本发明的另一目的，在于提供一种可对易受表面光泽反射光源干扰，而不易检测出瑕疵凹痕、裂痕的检测物进行检测的物件检测方法。
[0007]本发明的又一目的，在于提供一种可藉共用光路以不同检测装置对检测物进行瑕疵凹痕、裂痕检测的物件检测方法。
[0008]本发明的再一目的，在于提供一种可依需要同时或切换或不同检测装置对检测物进行瑕疵凹痕、裂痕检测的物件检测装置。
[0009]本发明的又再一目的，在于提供一种可对易受表面光泽反射光源干扰，而不易检测出瑕疵凹痕、裂痕的检测物进行检测的物件检测方法。
[0010]本发明的又再一目的，在于提供一种可用以执行如权利要求1至8所述物件检测方法及装置。
[0011]依据本发明目的的物件检测方法，包括:提供一第一检测装置及一第二检测装置，使其以不同焦距分别撷取检测物表面影像，其中，第二检测装置撷取检测物表面影像中光栅网格变化者。
[0012]依据本发明另一目的的物件检测方法，包括:使具网格的光栅经一第一光源投射于检测物表面，以一第二检测装置经一第一分光镜的折射撷取检测物表面具网格影像，由影像中光栅网格变化观测检测物的瑕疵凹痕、裂痕者。
[0013]依据本发明又一目的的物件检测方法，包括:使一第二光源投射检测物表面，其反射形成一第一检测光路，及使具网格的光栅经一第一光源投射于检测物表面形成一第二检测光路；该第一检测光路由一第一检测装置撷取检测物表面的影像；该第二光路由一第二检测装置撷取检测物表面具网格的影像。
[0014]依据本发明再一目的的物件检测装置，包括:一第一检测装置，用以撷取检测物表面影像；一第一分光镜，其设于第一检测装置与检测物连成的轴向上；一第二检测装置，其对应该第一分光镜，以撷取第一分光镜折射的检测物表面影像；一第二分光镜，设于第一检测装置与检测物连成的轴向上，其设有具网格的光栅，一第一光源向光栅投射光源，使光栅上的网格经第二分光镜折射至检测物表面；一第二光源，位于第二分光镜与检测物表面间，并设于第一检测装置与检测物连成的垂直轴向上。
[0015]依据本发明又再一目的的物件检测装置，包括:一光栅，具有网格，并受一第一光源投射而将网格投射于一检测物表面；一第二检测装置，其经自一第一分光镜的折射，而撷取该检测物表面反射的具网格的检测物表面影像。
[0016]依据本发明又再一目的的物件检测装置，包括:可用以执行如权利要求1至8所述物件检测方法的装置。
[0017]本发明实施例的物件检测方法及装置，其以具网格的光栅屏蔽置于第一光源前端，使其投射于检测物的检测面上，再藉由第二检测装置的CCD镜头架构正确的焦距，清楚观测检测物表面网格变化，并标示瑕疵位置以屏幕用图像显示；其于检测物原第一检测装置的CCD镜头检测目所需光学机构上，再架构第二组具部份同光路的感测系统，以同时取得不受光源反射干扰而清楚表现检测物表面细微瑕疵裂痕的网格影像，用户不仅可以第一检测装置观测检测物表面影像，亦可同时或切换以第二检测装置作排除光源反射干扰的表面细微瑕疵凹痕、裂痕检查，不仅可提升检测速度，亦可达到精确检测的目的。
【附图说明】
[0018]图1系本发明实施例的机构配置示意图。
[0019]图2系本发明实施例中第一检测光路的形成路径示意图。
[0020]图3系本发明实施例中第二检测光路的形成路径示意图。
[0021]图4系本发明实施例中光栅的网格示意图。
[0022]图5系本发明实施例中光栅的网格出现变形的示意图。
[0023]图6系本发明实施例中将光栅的网格出现变形处以图像显示于屏幕的示意图。
[0024]符号说明
[0025]I 第一检测装置 2 检测物
[0026]3 第一分光镜 31镜体
[0027]4 第二检测装置 5 第二分光镜
[0028]51镜体52光栅
[0029]53第一光源6 第二光源
[0030]LI第一检测光路 L2第二检测光路
【具体实施方式】
[0031]请参阅图1，本发明实施例的物件检测方法及装置，可以图中所示的装置为例作说明；其中，包括:
[0032]一第一检测装置1，其可为一具有第一焦距的电荷耦合组件(CXD)或互补金属氧化半导体(CMOS)，并与检测物2呈垂直设置；
[0033]—第一分光镜3,其镜体31设为一左上右下的四十五度偏斜角度,并为第一检测装置I所对应，而设于第一检测装置I与检测物2连成的垂直轴向上，且与第一检测装置I呈垂直相邻；
[0034]一第二检测装置4，其可为一具有第二焦距的电荷耦合组件(CXD)或互补金属氧化半导体(CMOS)，所述第二焦距小于第一检测装置I的第一焦距；第二检测装置4与检测物2表面呈水平设置，并与第一检测装置I呈九十度夹角设置，其水平对应所述该第一分光镜3，且与该第一分光镜3呈水平相邻，以撷取第一分光镜折射的检测物2表面影像；
[0035]—第二分光镜5,其设为一左上右下的四十五度偏斜角度,并与第一分光镜3垂直相邻并对应，且设于第一检测装置I与检测物2连成的垂直轴向上，其设有位于镜体51 —侧而与前述垂直轴向平行的光栅52，该光栅52与镜体51呈四十五度夹角，并与第二检测装置4呈垂直；光栅52表面具有规律性网格状条纹,其相对于镜体51的另一侧设有发光二极管(IR)所发射的第一光源53,该第一光源53向光栅52投射光源,使光栅52上的网格经第二分光