测装置，所述的真空栗包括机械栗（11)、分 子栗（12)和离子栗（13)。
[0031] 以上所述的行波管阴极蒸发速率的检测装置，所述的样品室（1)连接有压强计 (14)〇
[0032] 实施例2
[0033] -种行波管阴极蒸发速率的检测方法，其包括以下步骤：
[0034] 1)装样品、检查线路连接情况：打开样品室（1)上的观察窗，用万用表的中的连通 功能分别确定样品室（1)上的灯丝引线、阴极引线、阳极片引线、钨丝引线与样品室（1)内 部相应位置一一对应；然后将待检测的阴极（直径为《6mm的阴极）装到阴极组件（5)中 的支撑架上；并将挡板（4)移至阴极样品的正上方，关闭观察窗；
[0035] 2)抽真空：依次开启机械栗（11)、分子栗（12)、离子栗（13)，使样品室⑴内的真 空度彡5*10 5Pa ;
[0036] 3)测量阴极的蒸发速率：打开电源开关（6)，微电流计（7)、阳极-钨丝电源（8)， 阴极-阳极电源（9)，灯丝电源（10)，钨丝电源（17);
[0037] 灯丝电源（10)给阴极组件（5)中的热丝加热，将阴极加热使阴极受热蒸发；
[0038] 钨丝电源（17)给钨丝加热，钨丝闪炼1~2min，待钨丝温度为2000°C后，调整钨 丝电源（17)至钨丝温度为600~700°C，然后将挡板（4)移开，记录I k~t的变化情况，待 蒸发测试结束后，保存测试数据，测出钨丝上出现波峰所对应的时间
[0039] 根据贝克法原理来实现蒸发速率的测量，在测量系统的三极结构中，由公式Viw =GAni，测量出该阴极的蒸发速率为5*10 9g/cm2/s(直径为0:6mm阴极在T = 1050°C的蒸 发速率）。
[0040] 4)依次关闭微电流计（7)，阳极-钨丝电源（8)，阴极-阳极电源（9)，灯丝电源 (10)和钨丝电源（17);再依次关闭离子栗（13)，分子栗（12)和机械栗（11)。
[0041] 以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人 员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应 视为本发明的保护范围。
【主权项】
1. 一种行波管阴极蒸发速率的检测装置，其特征在于，它包括：真空系统和与真空系 统相连的测试电源； 所述的真空系统包括样品室（1)，与样品室（1)相连的真空栗，所述的样品室（1)内，从 上至下依次安装有钨丝（2)、阳极片（3)、挡板（4)和阴极组件（5); 所述的测试电源包括电源外壳，安装在电源外壳内的电源开关（6)，微电流计（7)，阳 极-钨丝电源（8)，阴极-阳极电源（9)，灯丝电源（10)和钨丝电源（17); 所述的钨丝（2)和钨丝电源（17)相连，阳极片（3)和阴极组件（5)中的阴极与阴 极-阳极电源（9)相连，钨丝⑵和阳极片（3)与阳极-钨丝电源⑶相连，阴极组件（5) 中的热丝与灯丝电源（10)相连。2. 根据权利要求1所述的行波管阴极蒸发速率的检测装置，其特征在于，所述的真空 栗包括机械栗（11)、分子栗（12)和离子栗（13)。3. 根据权利要求1所述的行波管阴极蒸发速率的检测装置，其特征在于，所述的样品 室⑴连接有压强计（14)。4. 根据权利要求1所述的行波管阴极蒸发速率的检测装置，其特征在于，所述的测试 电源包括工控机（15)和与工控机（15)相连的显示屏（16)，显示屏（16)与微电流计（7)相 连。5. -种行波管阴极蒸发速率的检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 1) 装样品、检查线路连接情况：打开样品室（1)上的观察窗，用万用表的中的连通功能 分别确定样品室（1)上的灯丝引线、阴极引线、阳极片引线、钨丝引线与样品室（1)内部相 应位置一一对应；然后将待检测的阴极装到阴极组件（5)中的支撑架上；并将挡板（4)移 至阴极样品的正上方，关闭观察窗； 2) 抽真空：依次开启机械栗（11)、分子栗（12)、离子栗（13)，使样品室⑴内的真空度 ^ 5X10 5Pa ； 3) 测量阴极的蒸发速率：打开电源开关（6)，微电流计（7)、阳极-钨丝电源（8)，阴 极-阳极电源（9)，灯丝电源（10)和钨丝电源（17); 灯丝电源（10)给阴极组件（5)中的热丝加热，将阴极加热使阴极受热蒸发； 钨丝电源（17)给钨丝加热，钨丝闪炼1~2min，待钨丝温度为2000°C，调整钨丝电源 (17)至钨丝温度为600~700°C，然后将挡板（4)移开，开始计时，记录Ik~t的变化情况， 待蒸发测试结束后，保存测试数据，读出钨丝上出现波峰所对应的时间 根据贝克法原理来实现蒸发速率的测量，在测量系统的三极结构中，由公式V+w= G/ tm，计算出阴极的蒸发速率； 4) 依次关闭微电流计（7)，阳极-钨丝电源（8)，阴极-阳极电源（9)，灯丝电源（10) 和钨丝电源（17);再依次关闭离子栗（13)，分子栗（12)和机械栗（11)。
【专利摘要】本发明公开了一种行波管阴极蒸发速率的检测装置及其检测方法，它包括：真空系统和与测试电源；真空系统包括样品室(1)，与样品室(1)相连的真空泵，样品室(1)内，从上至下依次安装有钨丝(2)、阳极片(3)、挡板(4)和阴极组件(5)；测试电源包括电源外壳，安装在电源外壳内的电源开关(6)，微电流计(7)，阳极-钨丝电源(8)，阴极-阳极电源(9)，灯丝电源(10)和钨丝电源(17)。本发明提供的行波管阴极蒸发速率的检测装置，结构设计合理，操作性强，能够实现多工位阴极蒸发速率的测量；能够实现同一个系统内不同试验条件的测量(如真空度变化)；测量周期短，测量效率更高，具有重要的应用价值。
【IPC分类】G01N27/49
【公开号】CN105044196
【申请号】CN201510493651
【发明人】王玉春, 赵请, 毕诗永, 许萌, 马静, 张坤, 武元元
【申请人】南京三乐电子信息产业集团有限公司
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年8月13日