基于红外辐射测量的激光功率计的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及激光功率测量技术领域,尤其涉及一种基于红外辐射测量的激光功率 计。
【背景技术】
[0002] 现有技术中,由于在生产、检验或维修激光设备和激光仪器时,均需要对激光设备 和激光仪器的激光功率进行测量,所以激光功率计成为了必不可少的工具。其中,光电型激 光功率计是测量激光功率所使用的主要设备之一。
[0003] 上述光电型激光功率计通常由光电探测器和适当的电路组成。其中,光电探测器 用于探测待测激光,并将探测到的待测激光进行光电转换,生成电信号,使光电型激光功率 计可以通过测量电信号确定待测激光的激光功率。
[0004] 但是,由于光电探测器具有光谱选择性,也就是说,光电探测器对不同波长范围内 的待测激光的响应度不一样,使得光电型激光功率计只能对特定波长范围内的待测激光的 激光功率进行测量,其探测的光谱范围较窄,适用性不高。
【发明内容】
[0005] 本发明提供一种基于红外辐射测量的激光功率计,用以解决现有技术中光电型激 光功率计探测的光谱范围较窄,适用性不高的技术问题。
[0006] 为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:
[0007] 第一方面,本发明提供一种基于红外辐射测量的激光功率计,所述基于红外辐射 测量的激光功率计包括:红外辐射转换器、会聚装置、斩波器、驱动器、第一探测器、第二探 测器和控制处理器;其中,所述驱动器的输入端与所述控制处理器的第一输出端连接,所述 驱动器的输出端与所述斩波器连接,所述控制处理器的第一输入端与所述第一探测器的输 出端连接,所述控制处理器的第二输入端与所述第二探测器的输出端连接;
[0008] 所述会聚装置位于所述红外辐射转换器和所述斩波器之间,用于将接收到的所述 红外辐射转换器发射的红外辐射线会聚至所述第一探测器的光敏面;
[0009] 所述斩波器位于所述第一探测器的光敏面和所述第二探测器的光敏面的正前方。 [0010] 结合第一方面,在第一方面的第一种可能的实施方式中,所述基于红外辐射测量 的激光功率计还包括:第一带通光学滤波器和第二带通光学滤波器;
[0011] 所述第一带通光学滤波器覆盖在所述第一探测器的光敏面,所述第二带通光学滤 波器覆盖在所述第二探测器的光敏面。
[0012] 结合第一方面或第一方面的第一种可能的实施方式,在第一方面的第二种可能的 实施方式中,所述基于红外辐射测量的激光功率计还包括:显示器;
[0013] 所述显示器的输入端与所述控制处理器的第二输出端连接。
[0014] 结合第一方面的第二种可能的实施方式,在第一方面的第三种可能的实施方式 中,所述红外辐射转换器的光感应区域设置有吸光涂层。
[0015] 结合第一方面的第三种可能的实施方式,在第一方面的第四种可能的实施方式 中,所述会聚装置为透射式会聚装置,所述透射式会聚装置用于将所述红外辐射转换器发 射的红外辐射线透射会聚至所述第一探测器的光敏面。
[0016] 结合第一方面的第四种可能的实施方式,在第一方面的第五种可能的实施方式 中,所述透射式会聚装置的入射面和出射面均镀有针对所述红外辐射线波长的增透膜。
[0017] 结合第一方面的第三种可能的实施方式,在第一方面的第六种可能的实施方式 中,所述会聚装置为反射式会聚装置,所述反射式会聚装置用于将所述红外辐射转换器发 射的红外辐射线反射会聚至所述第一探测器的光敏面。
[0018] 结合第一方面的第六种可能的实施方式,在第一方面的第七种可能的实施方式 中,所述反射式会聚装置的反射面镀有针对所述红外辐射线波长的反射膜,所述反射膜为 金膜、银膜、铜膜、铝膜或高反射介质膜;其中,所述高反射介质膜为对所述红外辐射线的反 射率大于99. 5%的反射介质膜。
[0019] 结合第一方面,在第一方面的第八种可能的实施方式中,所述第一探测器和所述 第二探测器均为锑化铟InSb探测器,或者,所述第一探测器和所述第二探测器均为碲镉汞 TgCdTe探测器。
[0020] 本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计,通过红外辐射转换器具有的光热 转换的功能,可以将紫外到远红外光谱区内任一波长的待测激光转换为红外辐射线,进而 通过测量红外辐射线即可确定待测激光的激光功率。因此,本发明提供的基于红外辐射测 量的激光功率计,可以对紫外到远红外光谱范围内的任一波长的待测激光的激光功率进行 测量,提高了激光功率计的适用性。
【附图说明】
[0021] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以 根据这些附图获得其他的附图。
[0022] 图1为本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计实施例一的结构示意图;
[0023] 图2为本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计实施例二的结构示意图;
[0024] 图3为本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计实施例三的结构示意图;
[0025] 图4为本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计实施例四的结构示意图。
[0026] 附图标记:
[0027] 101 :红外辐射转换器; 102 :会聚装置;
[0028] 103 :斩波器; 104 :驱动器;
[0029] 105 :第一探测器; 106 :第二探测器;
[0030] 107 :控制处理器; 108 :激光发射源;
[0031] 109 :第一带通光学滤波器; 110 :第二带通光学滤波器;
[0032] 111 :显示器; 1041 :驱动器的输入端;
[0033] 1042 :驱动器的输出端; 1051 :第一探测器的输出端;
[0034] 1052 :第一探测器的光敏面; 1061 :第二探测器的输出端;
[0035] 1062 :第二探测器的光敏面; 1071 :控制处理器的第一输入端;
[0036] 1072 :控制处理器的第二输入端;1073 :控制处理器的第一输出端;
[0037] 1074 :控制处理器的第二输出端;1111 :显示器的输入端。
【具体实施方式】
[0038] 下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例,都属于本发明保护的范围。
[0039] 本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计可以用于测量待测激光的激光功 率。其中,该待测激光可以为任一激光发射源所发射的激光,例如:激光器、激光应用设备 等。
[0040] 本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计,旨在解决现有技术中的光电型激 光功率计探测的光谱范围较窄,适用性不高的技术问题。
[0041] 为了便于对本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计进行描述,在下述实施 例中,将基于红外辐射测量的激光功率计简称为激光功率计,将除待测激光和"红外辐射转 换器发射的红外辐射线"之外的其他光均称为杂散光。
[0042] 下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施 例可以相互结合,对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
[0043]图1为本发明提供的基于红外辐射测量的激光功率计实施例一的结构示意图,如 图1所示,该基于红外辐射测量的激光功率计包括:红外辐射转换器101、会聚装置102、斩 波器103、驱动器104、第一探测器105、第二探测器106和控制处理器107 ;其中,驱动器的 输入端1041与控制处理器的第一输出端1073连接,驱动器的输出端1042与斩波器103连 接,控制处理器的第一输入端1071与第一探测器的输出端1051连接,控制处理器的第二输 入端1072与第二探测器的输出端1061连接;会聚装置102位于红外辐射转换器101和斩 波器103之间,用于将接收到的红外辐射转换器101发射的红外辐射线会聚至第一探测器 的光敏面1052。斩波器103位于第一探测器的光敏面1052和第二探测器的光敏面1062的 正前方。
[0044] 具体的,上述红外辐射转换器101可以设置在能够吸收激光发射源108发射的待 测激光的任一位置,其中,红外辐射转换器101上设置有光感应区域,该光感应区域用于吸 收激光发射源108发射的待测激光,并对吸收的待测激光进行光热转换,使光感应区域的 温度升高并向外发射红外辐射线,由设置在红外辐射转换器101所发射的红外辐射线所覆 盖的范围内的会聚装置102接收该部分红外辐射线,并将接收到的红外辐射线会聚至第一 探测器的光敏面1052。由于上述红外辐射转换器101具有在紫外到远红外光谱区响应曲线 平坦的特点,因此,上述红外辐射转换器101可以对紫外到远红外光谱区内的任一波长的 待测激光进行光热转换,并向外发射红外辐射线,也就是说,上述红外辐射转换器101对其 吸收的待测激光的波长没有限制,因而,本发明提供的激光功率计,可以通过红外辐射转换 器1