在受到了周围的环境的影响的情况下，通过噪音和衰落等能够看出影响。
[0197]可靠性值计算单元51比较振幅和规定值，对作为可靠性值的指标的数值进行计算。例如，能够将振幅分类为4个阶段，从最低阶段到最高阶段，用值“0”?“3”进行分类。
[0198]可靠性值计算单元51将计算出的可靠性值输出到加权处理部52。加权处理部52将可靠性值与电场的强度相乘而进行加权。即，在可靠性值较大的情况下(值“3”等)，加权后的电场的强度增大。另一方面，在可靠性值较小的情况下(值“1”等)，电场的强度较小。电场的强度的大小根据可靠性值补正。
[0199]静电量计算单元53根据该加权后的强度计算静电量。图9是表示本发明的实施方式2中的权重与计算出的静电量之间的关系的表。计算单元5使用该表，通过基于可靠性值的权重，能够计算符合周边环境的静电量。
[0200]表的纵轴表示可靠性值，从高可靠性开始，依次显示值“3”、“2”、“ 1 ”、“0”。计算单元5在由电子电路、半导体集成电路以及软件构成的情况下，通过2比特的信号表示可靠性值。表的横轴是测量单元4测量出的加权之前的电场的强度，没有特别考虑其单位类型。加权处理部52对该强度进行基于可靠性值的加权。静电量计算单元53根据该加权后的强度计算静电量。分别记载在表的内部的值是通过静电量计算单元53计算出的静电量。另夕卜，没有考虑单位类型。
[0201]如该表中所示，通过将基于测量对象物的振幅的可靠性值用于静电量计算的加权中，在可靠性值较低的情况下，所计算出的静电量较少(或者较多)。由此，考虑到周边环境的静电量由计算单元5计算。
[0202]另外，可靠性值计算单元51可根据测量对象物振幅计算可靠性值，但也可以根据其他要素计算可靠性值。使用振幅的平均值或分散等。另外，图9所示表中示出的是可靠性值较低时静电量变小的关系，与之相反，根据可靠性值较低时静电量较大的关系，计算单元5也可以计算静电量。
[0203]如上所示，实施方式2的静电量测量装置1通过基于电场的要素的可靠性值，能够在考虑了周边环境的基础上以较高精度对静电量进行测量。
[0204](实验结果)
[0205]对发明人进行的实验结果进行说明。
[0206](天线元件的空间分辨率的大小)
[0207]图10是表示作为现有技术的代表例的表面电位计(静电感应型、振动电容型)与本发明的天线元件(单极型天线)在对测量对象物的测量面的电场进行测量的情况下的不同点的实验结果。图10的实验是由发明人完成的。
[0208]图10的左上侧示出了用表面电位计测量的情况。图10的右上侧示出了使用本发明的天线元件的单极型天线进行测量的情况。无论距测量面的距离是2mm还是5mm，使用本发明的情况下的曲线图的倾斜都是急剧下降。即，由此可知很难受到测量面的规定区域以外的电场的影响。
[0209]与之相对，使用现有技术的表面电位计的情况下，可以看到倾斜度减缓，受到了测量面的规定区域(希望测量的区域)以外的电场的影响。在图10的右侧的表中，示出了传感器与测量面的距离相对于来自横方向的影响之间的比例。如图10的右侧的表所示，本发明的天线元件的单极型天线(图10中表示为本研究)的来自横向的影响即使换作为比例也非常小。即，由此可知很难受到测量面的规定区域以外的电场的影响。
[0210]这样，本发明的天线元件21能够接收将测量面210细致划分为区域211的每个区域内的正确的电场。
[0211](计算单元和描绘单元的正确性)
[0212]图11是示出本发明的实施方式2的静电分布的实验状态的说明图。关于图11的实验是由发明人完成的。
[0213]这里，发明人为了确认静电分布测量装置1的正确性，如图11的左下方照片和附图所示，在测量对象物200上设置多个贯通孔250。贯通孔250当然处于没有部件的状态，因此没有带有静电。
[0214]对于具有这样的贯通孔250的测量对象物200，通过实施方式1、2中说明的方式处理，计算单元5首先计算每个区域211的静电量。由计算单元5计算出的结果是图11的右上的静电量结果500。
[0215]此后，描绘单元6通过对该静电量结果500进行线性补正，描绘最终的静电分布图600。这里，通过静电分布图600可以明显看出，贯通孔250的部分没有色泽(色泽越浓静电越大，色泽越薄静电越小)。即，示出了没有带有静电。如上所述，由于贯通孔250本身就没有带有静电，所以可知静电分布测量装置1在这一点上也能够毫无问题地进行测量。
[0216]如上所述，从实验结果也能够确认出静电分布测量装置1的精度和可靠性。
[0217]另外，实施方式1、2中说明的静电分布测量装置也可以作为静电分布测量方法进行掌握。
[0218]如上所述，实施方式1?2中说明的静电分布测量装置仅仅是用于说明本发明的主旨的一例，包括不脱离本发明的主旨范围内的变形和改造。
[0219]标号说明
[0220]1静电分布测量装置
[0221]2阵列天线
[0222]21天线元件
[0223]3振动单元
[0224]4测量单元
[0225]5计算单元
[0226]6描绘单元
[0227]7显示单元
[0228]200测量对象物
[0229]210测量面
[0230]211区域
【主权项】
1.一种静电分布测量装置，其对测量对象物的测量面上的静电分布进行测量，其中， 所述静电分布测量装置具有: 阵列天线，其接收由振动在所述测量面上的多个区域的每个区域内产生的电场； 振动单元，其使所述测量对象物或所述阵列天线振动； 测量单元，其对所述阵列天线接收的所述多个区域的每个区域内的所述电场的强度、频率以及相位的至少一个进行测量； 计算单元，其根据所述测量单元的测量结果，对所述多个区域的每个区域内的静电量进行计算；以及 描绘单元，其根据所述多个区域的每个区域内的静电量，对所述测量面上的静电分布进行描绘， 所述阵列天线具有对应于所述多个区域的每个区域的多个天线元件。2.根据权利要求1所述的静电分布测量装置，其中， 所述测量对象物是在生产现场使用的电子部件、电子元件、半导体集成元件、电子基板、电子设备、机械部件、运输用设备、化学品、食品、纸制品、陶瓷材料、塑料材料、高分子材料、薄膜产品、橡胶产品、树脂产品、金属产品、药品以及纤维产品中的任意一种产品要素。3.根据权利要求2所述的静电分布测量装置，其中， 所述产品要素在生产现场的生产线上流动。4.根据权利要求1?3中的任意一项所述的静电分布测量装置，其中， 所述多个区域在所述测量对象物中被虚拟设置在与所述阵列天线相对的面即所述测量面上。5.根据权利要求4所述的静电分布测量装置，其中， 所述多个区域的每个区域根据所述阵列天线具有的多个所述天线元件相对的区域被划分。6.根据权利要求5所述的静电分布测量装置，其中， 所述多个区域的每个区域的面积根据所述天线元件的接收指向性被确定。7.根据权利要求1?6中的任意一项所述的静电分布测量装置，其中， 所述多个天线元件排列为规定格子状，所述多个区域的每个区域在所述测量对象物中以对应于所述规定格子状的方式被划分。8.根据权利要求1?7中的任意一项所述的静电分布测量装置，其中， 所述多个天线元件的每个天线元件具有集中于所述多个区域的面积的指向性。9.根据权利要求1?8中的任意一项所述的静电分布测量装置，其中， 所述振动单元在所述阵列天线固定的状态下使所述测量对象物振动，或者在所述测量对象物固定的状态下使所述阵列天线振动，由此，形成所述测量对象物和所述阵列天线相对振动的状态。10.根据权利要求1?9中的任意一项所述的静电分布测量装置，其中， 所述计算单元根据所述测量对象物或所述阵列天线的振幅计算可靠性值，并对根据所述电场的强度计算出的静电量和根据所述电场的相位计算出的电极性进行所述可靠性值的加权，从而计算所述多个区域的每个区域的静电量。11.根据权利要求10所述的静电分布测量装置，其中， 所述可靠性值在所述测量对象物或所述阵列天线的振幅较小的情况下小，在所述测量对象物的振幅较大的情况下大。12.根据权利要求1?11中的任意一项所述的静电分布测量装置，其中， 所述计算单元对所述多个区域的每个区域的静电量进行计算并作为该区域的绝对值， 所述描绘单元通过对所述多个区域的每个区域内的作为绝对值的静电量进行规定的插值处理来描绘所述测量对象物的所述测量面上的静电分布。13.根据权利要求12所述的静电分布测量装置，其中， 所述规定的插值包括线性插值。14.根据权利要求1?13中的任意一项所述的静电分布测量装置，其中， 所述静电分布测量装置还具有显示单元，其对所述描绘单元描绘出的所述测量面的静电分布进行显示。15.一种静电分布测量方法，其对测量对象物的测量面上的静电分布进行测量，其中， 所述静电分布测量方法具有: 阵列天线，其接收由振动在所述测量面上的多个区域的每个区域内产生的电场； 所述方法包括以下步骤: 振动步骤，使所述测量对象物或所述阵列天线振动； 测量步骤，对所述阵列天线接收的所述多个区域的每个区域内的所述电场的强度、频率以及相位的至少一个进行测量； 计算步骤，根据所述测量步骤的测量结果，对所述多个区域的每个区域内的静电量进行计算；以及 描绘步骤，根据所述多个区域的每个区域内的静电量，对所述测量对象物的静电分布进行描绘， 所述阵列天线具有对应于所述多个区域的每个区域的多个天线元件。
【专利摘要】本发明提供对测量对象物(200)的测量面上的静电分布进行测量的静电分布测量装置(1)，其具有：阵列天线(2)，其接收由振动在测量面上的多个区域(211)的每个区域内产生的电场；振动单元(3)，其使测量对象物(200)或阵列天线(2)振动；测量单元(4)，其对阵列天线(2)接收的多个区域(211)的每个区域内的电场的强度、频率以及相位的至少一个进行测量；计算单元(5)，其根据测量单元(4)的测量结果，对多个区域(211)的每个区域内的静电量进行计算；以及描绘单元(6)，其根据多个区域(211)的每个区域内的静电量，对测量面上的静电分布进行描绘，阵列天线(2)具有对应于多个区域(211)的每个区域的多个天线元件(21)。
【IPC分类】G01R29/24, G01R29/12
【公开号】CN105431744
【申请号】CN201480041180
【发明人】菊永和也, 野中一洋
【申请人】独立行政法人产业技术综合研究所
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2014年3月13日
【公告号】EP3026448A1, EP3026448A4, US20160154042, WO2015011942A1