技术特征：
技术总结
提供一种压力控制装置，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积大的情况，或者是流量控制阀与腔室之间的配管长的情况下，也可以把腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置1，把腔室3内的压力保持在设定压力，具备：频率特性校正电路20，把表示经由压力传感器4所检测出的腔室3内的压力之压力信号，校正为接近表示设定压力之设定压力信号；比较电路21，对校正过的前述压力信号、与前述设定压力信号进行比较；以及，阀驱动电路22，根据由比较单元21所致之比较结果，控制流量控制阀14的开闭。频率特性校正电路20为滤波电路，其频率特性在指定的频率具有峰值，把压力信号校正为提升压力信号的指定的频率的成分。
技术研发人员：野泽崇浩;中村刚
受保护的技术使用者：株式会社富士金
技术研发日：2016.01.06
技术公布日：2017.08.01