一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器的制作方法

本实用新型涉及气体质量流量控制器技术领域，具体为一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器。

背景技术：

质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用，一般的气体质量流量控制器，连接不够稳定，连接不够密闭容易泄漏，对气体流量质量等检测不到位，不用时无法进行封闭，因此，我们提出一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，以解决现有技术中存在的连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器连接不够稳定，连接不够密闭容易泄漏，对气体流量质量等检测不到位，不用时无法进行封闭的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，包括管体、封盖和振管，所述管体的左端内部设置有进气管，且进气管的外表面设置有固定螺栓，所述进气管的右端外表面设置有限位环，且限位环的右端连接有转块，所述转块的外侧安装有隔磁环，且隔磁环的右侧设置有衔铁，所述衔铁的外侧设置有导向环，且导向环的右端内表面设置有温度感应器，所述导向环的右端连接有内壳，且内壳的内部设置有固定环，所述固定环的内部固定有出气管，且出气管的左侧外表面设置有弹簧，所述封盖位于管体的右端，且管体的内部设置有流量传感器，所述振管位于流量传感器的内部，且振管的外表面设置有驱动线圈，所述管体的上端设置有显示屏，且显示屏的右侧设置有调节按钮。

优选的，所述进气管贯穿在管体的内部，且进气管与固定螺栓的连接方式为螺纹连接，并且进气管的纵截面呈“T”字型结构。

优选的，所述隔磁环的直径与导向环的内径相等，且隔磁环卡合在转块的外表面，并且转块在导向环的内部为转动结构。

优选的，所述出气管贯穿在固定环的内部，且固定环关于内壳对称设置有2组，并且内壳与导向环的连接方式为螺纹连接。

优选的，所述弹簧等间距设置在出气管的两侧，且出气管与衔铁的连接方式为卡槽连接，并且衔铁在导向环的内部为滑动结构。

优选的，所述驱动线圈缠绕在振管的外表面，且振管关于管体对称设置有2组，并且振管呈“T”字型结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，连接较为稳定，连接十分密闭不容易泄漏，对气体流量质量等检测较到位，不用时可以进行封闭，防止进入杂质。

附图说明

图1为本实用新型中的纵剖图；

图2为本实用新型中的转块和隔磁环的连接结构示意图；

图3为本实用新型中的振管和驱动线圈的连接结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，包括管体1、进气管2、固定螺栓3、限位环4、转块5、隔磁环6、衔铁7、导向环8、温度感应器9、内壳10、固定环11、出气管12、弹簧13、封盖14、流量传感器15、振管16、驱动线圈17、显示屏18和调节按钮19，管体1的左端内部设置有进气管2，且进气管2的外表面设置有固定螺栓3，进气管2的右端外表面设置有限位环4，且限位环4的右端连接有转块5，转块5的外侧安装有隔磁环6，且隔磁环6的右侧设置有衔铁7，衔铁7的外侧设置有导向环8，且导向环8的右端内表面设置有温度感应器9，隔磁环6的直径与导向环8的内径相等，且隔磁环6卡合在转块5的外表面，并且转块5在导向环8的内部为转动结构，方便通过转块5的转动作用来控制隔磁环6对衔铁7的作用，方便使衔铁7与出气管12分离或卡合，导向环8的右端连接有内壳10，且内壳10的内部设置有固定环11，固定环11的内部固定有出气管12，且出气管12的左侧外表面设置有弹簧13，弹簧13等间距设置在出气管12的两侧，且出气管12与衔铁7的连接方式为卡槽连接，并且衔铁7在导向环8的内部为滑动结构，封盖14位于管体1的右端，且管体1的内部设置有流量传感器15，振管16位于流量传感器15的内部，且振管16的外表面设置有驱动线圈17，管体1的上端设置有显示屏18，且显示屏18的右侧设置有调节按钮19。

如图1中进气管2贯穿在管体1的内部，且进气管2与固定螺栓3的连接方式为螺纹连接，并且进气管2的纵截面呈“T”字型结构，方便将气体快速通入到内部，且通过将进气管2通过限位环4固定在管体1的内部，增加进气管2的稳定效果，而且限位环4还起到密封的作用，防止气体从管体1和进气管2的间隙流出；

如图1中出气管12贯穿在固定环11的内部，且固定环11关于内壳10对称设置有2组，并且内壳10与导向环8的连接方式为螺纹连接，通过内壳10的螺纹连接使装置更加密封，且通过两组固定环11将出气管12固定在内壳10的内部，再通过弹簧13的缓冲作用，使得出气管12更加的稳定，不会受到衔铁7的影响；

如图1中驱动线圈17缠绕在振管16的外表面，且振管16关于管体1对称设置有2组，并且振管16呈“T”字型结构，对进入的气体进行一定的感应，当感应出不同的电流信号传递到显示屏18上，再通过调节按钮19来调节，方便控制气体质量流量。

工作原理：在使用该连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器时，首先将气体从进气管2的左端通入，固定螺栓3和限位环4均对进气管2有固定作用，防止进气管2移动，然后气体流入到导向环8的内部，通过上下两组流量传感器15DN40的作用，检测气体的流量以及质量问题，然后当气体进入到流量传感器15的内部后，通过振管16的振动作用，经由驱动线圈17将电信号传递到上方的显示屏18中，从中了解气体流量质量情况，随后通过操作调节按钮19来控制转块5的转动，使得转块5外表面的隔磁环6对衔铁7产生作用，使衔铁7向右侧滑动与出气管12卡合并将其封闭，气体会通过衔铁7和导向环8之间的间隙流入到右侧，再经由温度感应器9CWDZ11的作用感应气体的温度情况并通过单片机将信号传递到显示屏18上，方便了解数值，最后再通过操作调节按钮19使其向左侧滑动，并与出气管12分离，在此过程中，弹簧13对出气管12有缓冲作用，固定环11对出气管12有固定作用，最后使气体通过出气管12流出，这就是该装置的工作原理以及操作方法。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接

等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。