1.一种具有多种连接方式的多通道激光振镜运动控制系统,其特征在于:该运动控制系统包括上位机控制模块1,同步控制模块2以及伺服驱动模块3。同步控制模块2又可分为mcu控制模块4和fpga控制模块5;伺服驱动模块3又可分为xy振镜模块6、z轴动态聚焦模块7、xy运动平台8,其中xy振镜模块6及xy运动平台8各自包含xy的双轴通道,z轴动态聚焦模块7包含单个z轴通道。上位机控制模块1将总体运动控制任务分解,得到各个通道的运动轨迹指令,并将其通过eth接口下发给mcu控制模块4;mcu控制模块4通过串行外设接口(spi)向fpga控制模块5发送输入信号;fpga控制模块5通过内置算法实现闭环控制,并通过d/a接口实现与伺服驱动模块3的通信,同时将输出信号通过spi接口返回mcu控制模块4,fpga控制模块5还可以基于xy2-100或其他自定义协议实现不同伺服驱动模块之间的数据交互与同步控制;伺服驱动模块3接收由mcu控制模块4提供的驱动信号,实现xy振镜模块6单独的平面扫描运动,或xy振镜模块6与z轴动态聚焦模块7的协同运动,或xy振镜模块6与xy运动平台8的协同运动。
2.根据权利要求1所述的具有多种连接方式的多通道激光振镜运动控制系统,其特征在于,单个同步控制模块2,包括mcu控制模块4和fpga控制模块5组成一张控制板卡。权利要求1所述的具有多种连接方式的多通道激光振镜运动控制系统共有两张相同的控制板卡,其中板卡1用于xy振镜模块6的控制,板卡2可在z轴动态聚焦模块7的控制与xy运动平台8的控制之间切换。通过切换板卡2所控制的伺服对象,可以选择进行不同的扫描模式。
3.根据权利要求2所述的具有多种连接方式的多通道激光振镜运动控制系统,其特征在于,所述xy振镜模块6单独工作,可以实现一般工况下双通道的振镜平面扫描;所述xy振镜模块6与z轴动态聚焦模块7协同运动,可实现三通道的平面大范围、高速激光振镜扫描;所述xy振镜模块6与xy运动平台8协同运动,并配合f-theta场镜,可实现四通道的平面大范围、高精度激光振镜扫描。
4.根据权利要求1所述的具有多种连接方式的多通道激光振镜运动控制系统,其特征在于,fpga控制模块5实现不同伺服驱动模块之间的数据交互与协同,同时指令信号在fpga控制模块5内完成同步,保证各通道终端的高性能协同运动。
5.根据权利要求4所述的具有多种连接方式的多通道激光振镜运动控制系统,其特征在于,同步信号的通信协议包括但不仅限于xy2-100,也可采用自定义协议实现。