1.一种物料路径的建立及编辑方法，其特征在于，包括：
预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息；
根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑所述步骤信息的第一约束条件；
根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示；
当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。
2.一种物料路径的建立及编辑方法，其特征在于，包括：
预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息；
根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑该步骤信息的第一约束条件；
判断当前待编辑的步骤是否存在子步骤，若判断结果为是，则根据子步骤序号及所述子步骤序号对应的子步骤信息，为每个所述子步骤设置编辑该子步骤信息的第二约束条件；
根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示；
当接收到对所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否同时满足第一约束条件、第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。
3.根据权利要求2所述的方法，所述将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示，包括：
在控制界面上以行列式的列表方式显示所述物料路径，所述步骤序号包括物料路径的工艺步骤号；所述步骤序号对应的步骤信息至少包括腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息；其中，所述物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号、所述物料路径的第二列节点为腔室节点、所述物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息、所述物料路径的第四列节点为工艺配方信息。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作；
所述第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺配方信息不同。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径，包括：
编辑并显示所述控制界面的所述第一列节点，当检测到用户触发所述工艺步骤号添加操作时，弹出第一下拉列表，接收用户通过所述第一下拉列表选择的所述工艺步骤号；
编辑并显示所述控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点；
编辑并显示所述控制界面的所述第三列节点，当检测到用户触发工艺腔室节点的腔室槽位添加操作时，弹出第三下拉列表，接收用户通过所述第三下拉列表选择的工艺腔室槽位信息；
编辑并显示所述控制界面的所述第四列节点，当检测到用户触发工艺腔室工艺配方添加操作时，弹出第四下拉列表，接收用户通过所述第四下拉列表选择的工艺配方信息。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述编辑并显示控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点的步骤包括：
获取待编辑行的工艺步骤号；
判断所述待编辑行是否是第一行，若是，并且所述待编辑行的工艺步骤号为1，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第一腔室信息；
若所述待编辑行不是第一行，则获取所述待编辑行的上一行的工艺步骤号，并将所述上一行的工艺步骤号作为待编辑行的工艺步骤号，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第二腔室信息，其中，所述第二腔室信息为除去所述上一行的工艺步骤号选择的所述第一腔室信息之外的腔室信息。
7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述编辑并显示控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点的步骤包括：
若所述待编辑行不是第一行，并且所述工艺步骤号不为1，则判断所述待编辑行的工艺步骤号是否大于1，若是，则遍历控制界面中的物料路径；
判断待编辑行的工艺步骤号与当前遍历行的工艺步骤号之差是否等于1，若是，则获取当前遍历行的工艺腔室信息；
从预先设置的腔室节点配置文件中获取全部腔室信息；
在所述全部腔室信息中筛选出与当前遍历行的工艺腔室信息相同的腔室信息；
获取所述当前遍历行的工艺腔室信息的机械手信息，并存储于第一机械手列表，所述第一机械手列表用于存储当前遍历行的工艺腔室周围的机械手信息。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
从预先设置的机械手节点配置文件中获取第二机械手列表，所述第二机械手列表用于存储全部机械手信息；
从所述第二机械手列表中选择第一个机械手信息；
判断所述第一个机械手信息是否存在于所述第一机械手列表中，若是获取所述第一个机械手信息可到达的腔室信息；
从所述腔室信息中选择第一个腔室信息；
判断所述第一个腔室信息的类型，并根据所述第一个腔室信息的类型将所述第一个腔室信息存储于第二下拉列表；
判断所述第一个腔室信息是否是所述第一个机械手可到达的最后一个腔室信息，若否，则返回所述从所述腔室信息中选择第一个腔室信息的步骤继续执行；
对所述第一个机械手可到达的全部腔室信息进行遍历之后，则返回从所述第二机械手列表中选择第一个机械手信息的步骤继续执行。
9.根据权利要求3-8任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
所述控制界面设置了记录接口，通过调用所述记录接口可以查看编辑物料路径的过程。
10.一种物料路径的建立及编辑装置，其特征在于，包括：
存储模块，用于存储预先获取的待显示路径的所有步骤及对应的步骤信息、用于存储预先获取的每个步骤中所包含的子步骤及对应的子步骤信息、以及用于存储为每个步骤所设置的编辑该步骤信息的第一约束条件、为每个子步骤所设置的编辑该子步骤信息的第二约束条件；所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作；所述第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺配方信息不同；
路径生成模块，连接所述存储模块、所述显示模块，用于根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，生成所述物料路径；
判断编辑模块，连接所述存储模块、所述显示模块，用于当接收到对所述步骤信息或所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否同时满足第一约束条件和第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并通过所述显示模块在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则通过所述显示模块显示非法编辑提示；
显示模块，用于在控制界面以行列式的列表方式显示物料路径，其中，所述物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号、所述物料路径的第二列节点为腔室节点、所述物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息、所述物料路径的第四列节点为工艺配方信息。