质量流量控制器检测系统的制作方法

本申请涉及流量控制技术领域，具体而言，本申请涉及一种质量流量控制器检测系统。

背景技术：

目前，数字式气体质量流量控制器(digitalmassflowcontroller，dmfc)是一种通过数字信号实时监控并调节供气系统流量的控制器，它广泛应用于光伏、燃料电池、半导体工艺等领域，并且在这些领域的工艺设备供气系统中均为主要部件。因此，此种dmfc的精度及可靠性便成为上述各领域的工艺准确性及稳定性的关键因素，而决定dmfc的精度及可靠性的标定方法就变得尤为重要。

现有的标定方法是将dmfc放到标定系统中进行标定。具体来说，依靠人工方式将dmfc放到标定系统中，然后通过手动方式拧紧dmfc两端卡套螺母，待标定完成后手动松开dmfc两端卡套螺母。由于人工方式仅能每次对单个dmfc进行标定，其不仅人工劳动强度较高，而且还严重影响dmfc的标定效率。此外，现有标定系统中通过手动拧紧dmfc两端卡套螺母力度不够导致标定过程中漏气，从而会直接影响标定精度及dmfc的可靠性，并且还会严重影响应用dmfc的工艺设备的工艺准确性及稳定性。

技术实现要素：

本申请针对现有方式的缺点，提出一种质量流量控制器检测系统，用以解决现有技术存在由于人工操作造成质量流量控制器的标定效率较低且标定精度较低的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种质量流量控制器检测系统，包括：安装板、传输组件、安装组件及检漏组件；所述传输组件设置在所述安装板上，用于承载多个所述质量流量控制器，并带动多个所述质量流量控制器沿第一方向移动，使多个所述质量流量控制器依次停留在预设位置；所述安装组件设置在所述安装板上，且位于所述预设位置两侧，所述检漏组件包括有输出端及输入端，所述输出端及所述输入端分别设置于所述预设位置两侧的所述安装组件上；所述安装组件用于在所述质量流量控制器停留在所述预设位置时，将所述输出端及所述输入端分别连接至所述质量流量控制器的两端，以及从所述质量流量控制器的两端拆卸所述输出端及所述输入端，所述检漏组件用于在所述输出端及所述输入端连接至所述质量流量控制器的两端后，对所述质量流量控制器进行检漏。

于本申请的一实施例中，所述安装组件用于沿第二方向带动所述输出端及所述输入端靠近或远离所述预设位置，所述第一方向与第二方向相交。

于本申请的一实施例中，所述第一方向与第二方向互相垂直。

于本申请的一实施例中，所述安装组件包括移动机构、驱动部及连接块，所述移动机构设置于所述安装板上，沿所述第二方向延伸设置于所述预设位置的一侧，所述驱动部通过所述连接块设置于所述移动机构上，所述移动机构用于通过所述连接块带动所述驱动部在第二方向上移动；所述输出端及所述输入端设置于所述驱动部上，所述驱动部用于根据一预设扭矩将所述输出端及所述输入端连接至所述质量流量控制器的两端，以及从所述质量流量控制器的两端拆卸所述输出端及所述输入端。

于本申请的一实施例中，所述传输组件包括传输机构、夹持机构及固定块，所述传输机构设置于所述安装板上，沿所述第一方向延伸设置于所述预设位置的一侧，所述夹持机构通过所述固定块设置于所述传输机构上，用于承载多个所述质量流量控制器，所述传输机构用于通过所述固定块带动所述夹持机构在所述第一方向上移动。

于本申请的一实施例中，所述夹持机构包括有承载板、夹持块及伸缩缸，所述承载板底面与所述固定块的顶面连接，多个所述夹持块滑动设置于所述承载板的顶面，并且任意两相邻的所述夹持块可夹持一所述质量流量控制器；所述伸缩缸设置于所述承载板的顶面，用于带动多个所述夹持块同时运动以夹紧多个所述质量流量控制器。

于本申请的一实施例中，所述检漏组件还包括流量控制单元、流量显示器、第一阀门及第二阀门，所述流量控制单元的一端通过所述第一阀门与一流体供应装置连接，另一端与所述输出端连接，所述输入端与所述第二阀门连接，所述流量显示器与所述流量控制单元电连接。

于本申请的一实施例中，还包括：控制装置、多路切换装置及数据采集装置，其中，所述控制装置与所述传输组件、所述安装组件、所述检漏组件、多路切换装置及数据采集装置电连接；所述数据采集装置用于当所述质量流量控制器完成检漏后，采集所述质量流量控制器输出流量的电压值，所述控制装置用于根据所述电压值对所述质量流量控制器进行标定；所述多路切换装置用于与多个所述质量流量控制器连接，当所述质量流量控制器完成标定后向所述控制装置反馈一标定完成信号，所述控制装置用于根据所述标定完成信号通过所述多路切换装置切换多个所述质量流量控制器的连接状态。

于本申请的一实施例中，还包括与所述控制装置电连接的供电装置，所述供电装置与多个所述质量流量控制器电连接，用于在所述控制装置的控制下对所述质量流量控制器进行供电。

于本申请的一实施例中，所述供电装置包括多通道可编程电源。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：

本申请实施例通过传输组件带动多个质量流量控制器移动，并且采用安装组件将检漏组件的输出端及输入端与质量流量控制器连接或拆卸，以实现对质量流量控制器的检漏，从而不仅有效节省了人工成本，而且能避免人工操作由于力度不够导致漏气，从而提高了质量流量控制器的标定精度及效率。此外，由于先对质量流量控制器进行气密性检测，从而大幅提高了质量流量控制器的标定精度及可靠性，进而确保了工艺设备的工艺准确性及稳定性。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请实施例提供的一种检测系统的部分结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种安装组件的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的一种传输组件的侧视示意图；

图4为本申请实施例提供的一种传输组件的俯视示意图；

图5为本申请实施例提供的一种检漏组件的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的一种检测系统的整体结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

本申请实施例提供了一种质量流量控制器检测系统，该质量流量控制器检测系统的结构示意图如图1及图5所示，包括：安装板1、传输组件2、安装组件3及检漏组件4；传输组件2设置安装板1上，用于承载多个质量流量控制器200，并带动多个质量流量控制器200沿第一方向l1移动，使多个质量流量控制器200依次停留在预设位置11；安装组件3设置在安装板1上，且位于预设位置11两侧，检漏组件4包括有输出端41及输入端42，输出端41及输入端42分别设置于预设位置11两侧的安装组件3上；安装组件3用于在质量流量控制器200停留在预设位置11时，将输出端41及输入端42分别连接至质量流量控制器200的两端，检漏组件4用于在输出端41及输入端42连接至质量流量控制器200的两端后，对质量流量控制器200进行检漏。

如图1及图5所示，预设位置11具体可以位于安装板1上，该安装板1可以为采用一金属材质制成的矩形板状结构。传输组件2可以设置于安装板1上，传输组件2位于预设位置11的一侧，并且沿第一方向l1延伸设置。第一方向l1为图1示出的上下方向，为了便于说明下文中涉及到的第一方向l1均以此为例，不再重复说明。传输组件2上设置有多个沿第一方向l1并列排布的承载工位24，承载工位24用于承载质量流量控制器200，并且传输组件2能带动多个质量流量控制在第一方向l1上移动，并且能使各承载工位24与预设位置11对齐，以使质量流量控制器200在预设位置11上进行检漏。两个安装组件13设置于安装板1上，并且分别位于预设位置11的两侧，检漏组件4包括有输出端41及输入端42，输出端41具体可以设置于位于预设位置11左侧的安装组件3上；而输入端42具体可以设置于位于预设位置11右侧的安装组件3上。安装组件3可以将检漏组件4的输出端41安装于质量流量控制器200的左端，以及将检漏组件4的输入端42安装于质量流量控制器200的右端，从而完成对质量流量控制器200的检漏。当目前的质量流量控制器200完成检漏后，可以直接对质量流量控制器200进行标定，待完成标定后安装组件3将检漏组件4的输出端41及输出端41拆卸，传输组件2沿第一方向l1移动，从而对下一个质量流量控制器200进行检漏及标定，通过重复上述动作从而完成对多个质量流量控制器200的检漏及标定。

本申请实施例通过传输组件带动多个质量流量控制器移动，并且采用安装组件将检漏组件的输出端及输入端与质量流量控制器连接或拆卸，以实现对质量流量控制器的检漏，从而不仅有效节省了人工成本，而且能避免人工操作由于力度不够导致漏气，从而提高了质量流量控制器的标定精度及效率。此外，由于先对质量流量控制器进行气密性检测，从而大幅提高了质量流量控制器的标定精度及可靠性，进而确保了工艺设备的工艺准确性及稳定性。

需要说明的是，本申请实施例并不限定质量流量控制器200的具体类型以及第一方向l1的具体方向，例如本申请实施例可以应用数字式质量流量控制器及模拟式质量流量控制器；第一方向l1也可以为其它方向。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1所示，安装组件3用于沿第二方向l2带动输出端41及输入端42靠近或远离预设位置11，第一方向l1与第二方向l2相交。可选地，第一方向l1与第二方向l2互相垂直。

如图1所示，两个安装组件3均沿第二方向l2延伸设置，该第二方向l2具体可以是图1中左右方向，即第二方向l2具体可以与第一方向l1互相垂直采用该设计可以使得本申请结构设计合理，便于两个安装组件3对输出端41及输入端42进行连接或拆卸，从而降低本申请实施例故障率及延长使用寿命。为了便于说明，下文中涉及到的第二方向l2均以此为例，不再重复说明。在实际应用时，两个安装组件3可以同时带动输出端41及输入端42向预设位置11移动，以便于将输出端41及输入端42靠近预设位置11并连接于质量流量控制器200的两端上，待检漏及标定完成后，两个安装组件3可以将输出端41及输入端42拆卸，然后再带动输出端41及输入端42同时远离预设位置11。采用上述设计，由于两个安装组件3同时选择性靠近预设位置11，不仅可以提高工作效率，而且还可以避免与传输组件2发生机械干涉，从而进一步降低故障率，进而大幅提高本申请实施例的使用寿命。

需要说明的是，本申请实施例并不限定第二方向l2的具体方向，例如第二方向l2也可以为其它方向，例如将第一方向l1与第二方向l2互换。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1及图2所示，安装组件3包括移动机构31、驱动部32及连接块33，移动机构31设置于安装板上，沿第二方向l2延伸设置于预设位置11的一侧，驱动部32通过连接块33设置于移动机构31上，移动机构31用于通过连接块33带动驱动部32在第二方向l2上移动；输出端41及输入端42设置于驱动部32上，驱动部32用于根据一预设扭矩将输出端41及输入端42连接至质量流量控制器200的两端，以及从质量流量控制器200的两端拆卸输出端41及输入端42。

如图1及图2所示，移动机构31可以沿第二方向l2延伸设置，并且两个安装组件3的移动机构31分别设置于预设位置11的左右两侧，移动机构31用于带动驱动部32在第二方向l2上往复运动。驱动部32可以通过连接块33设置于移动机构31上，并且驱动部32远离预设位置11设置，以便于移动机构31带动驱动部32向预设位置11移动。连接块33具体可以为采用金属材质制成中空方块，连接块33的两相对侧壁通过螺栓连接方式与移动机构31及驱动部32连接，以便于对安装组件3进行拆装维护，但是本申请实施例并不以此为限。进一步的，输出端41及输入端42均为卡套螺母，而驱动部32可以根据一预设扭矩带动输出端41及输入端42进行旋转，以将输出端41及输入端42安装于质量流量控制器200的两端，还可以用于将输出端41及输入端从质量流量控制器200的两端拆卸。由于根据预设扭矩将输出端41及输入端42连接至质量流量控制器200的两端，能有效避免由于人为操作造成拧紧力度过大或过小造成检漏失败的问题，不仅能大幅提高安装效率，并且还能进一步提高检漏及标定的精度及可靠性。

需要说明的是，本申请实施例并不限定预设扭矩的具体数值，其可以根据输出端41及输入端42的类型以及质量流量控制器200规格进行设置。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1及图2所示，驱动部32包括伺服电机，输入端42及输出端41均与伺服电机的输出轴传动连接。具体来说，驱动部32采用伺服电机，不仅易于控制提高控制精确性，而且还能大幅降低本申请实施例的应用成本。需要说明的是，本申请实施例并不限定驱动部32的具体类型，只要其能根据预设扭矩对输出端41及输入端42进行操作即可。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1及图3所示，传输组件2包括传输机构21、夹持机构22及固定块23，传输机构21沿第一方向l1延伸设置于预设位置11的一侧，夹持机构22通过固定块23设置于传输机构21上，用于承载多个质量流量控制器200，传输机构21用于通过固定块23带动夹持机构22在第一方向l1上移动。

如图1及图3所示，传输机构21可以沿第一方向l1延伸设置，并且传输机构21具体可以位于预设位置11的下侧，即如图1中所示传输机构21位于两个安装组件3的下侧，但是本申请实施例并不以此为限，例如传输机构21还可以位于两个安装组件3的上侧，只要传输机构21能带动夹持机构22在第一方向l1上移动即可。夹持机构22具体通过固定块23设置于传输机构21上，固定块23具体可位于传输机构21及夹持机构22之间，并且位于远离预设位置11的一端，但是本申请实施例并不以此为限。固定块23具体可以为采用金属材质制成中空方块，固定块23的两相对侧壁通过螺栓连接方式与传输机构21及夹持机构22连接，以便于对传输组件2进行拆装维护，但是本申请实施例并不以此为限。采用上述设计，不仅能大幅提高拆装维护效率，而且还能有效降低应用及维护成本。

于本申请的一实施例中，如图1、图3及图4所示，夹持机构22包括有承载板221、夹持块222及伸缩缸223，承载板221底面与固定块23的顶面连接，多个夹持块222滑动设置于承载板221的顶面，并且任意两相邻的夹持块222可夹持一质量流量控制器200；伸缩缸223设置于承载板221的顶面，用于带动多个夹持块222同时运动以夹紧多个质量流量控制器200。

如图1、图3及图4所示，承载板221具体可以为采用金属材质制成的板状结构，承载板221的底面与固定块23的顶面连接。多个夹持块222可以为采用金属材质制成的块状结构，多个夹持块222间隔设置于承载板221的顶面上，并且能相对于承载板221滑动，任意两相邻的夹持块222之间形成承载工位24，以用于承载并夹持质量流量控制器200。伸缩缸223设置于承载板221的顶面上，并且远离预设位置11设置，伸缩缸223的伸缩杆可以带动多个夹持块222运动，以用于夹持多个质量流量控制器200。采用上述设计，不仅使得本申请实施例的结构简单，而且还能大幅提高稳定性，从而便于安装组件3对输出端41及输入端42进行拆装，从而进一步提高工作效率。

于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，移动机构31及传输机构21均包括直线模组。具体来说，直线模组为类似于丝杠传动机构的一种装置，以便于带动安装组件3的驱动部32及传输组件2夹持机构22运动，并且还能对其移动过程中进行精确控制，从而进一步提高本申请实施例的运行稳定性及可靠性。但是本申请实施例并不以此为限，移动机构31及传输机构21均可以包括伸缩气缸结构。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1及图5所示，检漏组件4还包括流量控制单元43、流量显示器44、第一阀门45及第二阀门46，流量控制单元43的一端通过第一阀门45与一流体供应装置(图中未示出)连接，另一端与输出端41连接，输入端42与第二阀门46连接，流量显示器44与流量控制单元43电连接。可选地，第一阀门45及第二阀门46均包括电磁阀。

如图1及图5所示，第一阀门45及第二阀门46均可以采用电磁阀，但是本申请实施例并不以此为限。第一阀门45通过管件与流体供应装置及流量控制单元43的一端连接，流量控制单元43的另一端通过管件与输入端42连接,输入端42通过一管件与第二阀门46连接。流量显示器44通过数据连接线与流量控制单元43电连接。管件具体可以为采用不锈钢材质制成管路，从而提高承压能力及延长检漏组件4的使用寿命。在实际应用时，将第一阀门45与流体供应装置连接，该流体供应装置具体可以为供气装置，但是本申请实施例并不以此为限。进一步的，将输出端41及输入端42分别连接至质量流量控制器200的左右两端。此时控制第一阀门45、质量流量控制器200及第二阀门46开启，以使检漏组件4处于通气状态，并且根据第一预设时间进行通气，然后控制第一阀门45及第二阀门46关闭，并且根据第二预设时间进行保压。根据流量显示器44的读数判断检漏组件4与质量流量控制器200之间是否泄漏，若流量显示器44读数不变则说明无泄漏，若流量显示器44读数有变化，则说明有泄漏，从而完成对质量流量控制器200的气密性检测。采用上述设计，不仅便于对质量流量控制器200检漏实现自动控制，并且由于预先对质量流量控制器200进行检漏，可以有效防止由于人为操作造成的漏气，从而大幅提高应用本申请实施例的质量流量控制器200的标定精度及可靠性。

于本申请的一实施例中，如图6所示，质量流量控制器检测系统还包括：控制装置5、多路切换装置6及数据采集装置7，其中，控制装置5与传输组件2、安装组件3、检漏组件4、多路切换装置6及数据采集装置7电连接；数据采集装置7用于当质量流量控制器200完成检漏后，采集质量流量控制器200输出流量的电压值，控制装置5用于根据电压值对质量流量控制器200进行标定；多路切换装置6用于与多个质量流量控制器200连接，当质量流量控制器200完成标定后向控制装置5反馈一标定完成信号，控制装置5用于根据标定完成信号通过多路切换装置6切换多个质量流量控制器200的连接状态。

可选地，质量流量控制器检测系统还包括与控制装置5电连接的供电装置8，供电装置8与多个质量流量控制器200电连接，用于在控制装置5的控制下对质量流量控制器200进行供电。可选地，供电装置8包括多通道可编程电源。

如图1及图6所示，控制装置5用于控制传输组件2、安装组件3、检漏组件4、多路切换装置6、数据采集装置7及供电装置8的运行状态。具体来说，控制装置5控制传输组件2将质量流量控制器200移动至预设位置11，之后再控制安装组件3将检漏组件4的输出端41及输入端42连接至质量流量控制器200的左右两端，此时检漏组件4对当前质量流量控制器200进行检漏，并将检漏完成信号反馈给控制装置5。控制装置5控制供电装置8向当前质量流量控制器200施加一设定标定电压，质量流量流量控制器200根据设定标定电压控制输出流量，控制装置5控制采集装置7采集质量流量控制器200对应输出流量的电压值，控制装置5将设定标定电压及电压值通过最小二乘法进行曲线拟合，得到三阶曲线并写入当前质量流量控制器200以完成标定，此时多路切换装置6将当前质量流量控制器200标定完成信号反馈给控制装置5，控制装置5通过多路切换装置6与下一个质量流量控制器200连接，并且通过控制传输组件2、安装组件3及检漏组件4对下一个质量流量控制器200进行检漏及标定。供电装置8具体采用多通道可编程电源，其不仅用于接收控制装置5的指令后对质量流量控制器200施加一设定标定电压，以为质量流量控制器200进行流量控制提供需要的稳定电压值，还用于为质量流量控制器200提供工作电压，但是本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。采用上述设计，由于采用多路切换装置对多个质量流量控制器进行切换，使得控制装置可以一次完成多个质量流量控制器进行标定，从而大幅提高了本申请实施例的工作效率。

应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：

本申请实施例通过传输组件带动多个质量流量控制器移动，并且采用安装组件将检漏组件的输出端及输入端与质量流量控制器连接或拆卸，以实现对质量流量控制器的检漏，从而不仅有效节省了人工成本，而且能避免人工操作由于力度不够导致漏气，从而提高了质量流量控制器的标定精度及效率。此外，由于先对质量流量控制器进行气密性检测，从而大幅提高了质量流量控制器的标定精度及可靠性，进而确保了工艺设备的工艺准确性及稳定性。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。