技术特征：
1.一种温控系统，其特征在于：包括制冷装置、循环装置和废气处理设备，所述制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、第一蒸发器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，以及所述压缩机、所述冷凝器的放热通路、第二蒸发器的吸热通路依次连通形成的第二制冷回路，所述循环装置包括所述第一蒸发器的放热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，所述废气处理设备包括喷淋组件和水池，所述水池、所述第二蒸发器的放热通路、第二泵体和所述喷淋组件依次连通。2.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述废气处理设备包括燃烧腔和喷淋塔，所述喷淋组件设置于所述喷淋塔内所述燃烧腔的出气口通过所述水池与所述喷淋塔的进口连通。3.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述冷凝器的放热通路的出口与所述第二蒸发器的吸热通路的进口连通的管路上设有第一阀体。4.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述第二泵体与所述喷淋组件连通的管路上设有第二阀体。5.根据权利要求4所述的温控系统，其特征在于：所述第二泵体与所述喷淋组件连通的管路上设有第一温度检测件，所述第二阀体与所述第一温度检测件沿液体流向依次设置。6.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述冷凝器的放热通路的出口与所述第一蒸发器的吸热通路的进口连通的管路上设有第三阀体。7.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述第一泵体与所述负载连通的管路上设有第二温度检测件。8.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述负载与所述第一蒸发器的放热通道连通的管路上设有第三温度检测件。
技术总结
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控系统，包括制冷装置、循环装置和废气处理设备，制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、第一蒸发器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，以及压缩机、冷凝器的放热通路、第二蒸发器的吸热通路依次连通形成的第二制冷回路，循环装置包括第一蒸发器的放热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，废气处理设备包括喷淋组件和水池，水池、第二蒸发器的放热通路、第二泵体和喷淋组件依次连通。将制冷装置的多余的制冷量充分利用起来，用于废气处理设备的废气的降温，有效的将温控系统的多余的制冷量总和利用起来。温控系统的多余的制冷量总和利用起来。温控系统的多余的制冷量总和利用起来。
技术研发人员：何茂栋 芮守祯 曹小康 常鑫 李文博 冯涛 董春辉 宋朝阳
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/5/17