一种半导体生产用MFC校验装置的制作方法

一种半导体生产用mfc校验装置
技术领域
1.本实用新型涉及一种mfc校验装置，用于对半导体生产过程中的 mfc进行校验。


背景技术：

2.mfc为质量流量控制器的英文简称，用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体的生产过程中，扩散、氧化、分子束外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备等都会用到mfc。
3.随着半导体设备的大规模应用，所用的工艺特气种类较多，且这些特气有强腐蚀性的、剧毒性的、易燃易爆，因此对这些工艺气体的控制必须是精确控制的，而mfc则是用来精确的控制流量，使其该流量与所需的实际流量一致，这不仅关系着工艺精度和一致性的要求，而且对人员和设备的安全也至关重要。
4.然目前在生产过程中，一些mfc经过长时间的使用后，可能并不准确，而目前又没有比较便携的装置对这些使用时间较长的mfc进行快速校准，这样容易导致控制的流量不够精确。


技术实现要素：

5.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种半导体生产用mfc 校验装置，该检验装置可以快速对待检验的mfc进行校准并且检测简单，方便。
6.为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种半导体生产用mfc校验装置，该校验装置包括壳体，所述壳体上设置有进气管接口和出气管接口，所述壳体内安装有与进气管接口和出气管接口相连通的已出厂标定的标准mfc本体，所述进气管接口和标准mfc本体之间安装有控制阀，所述壳体内安装有电源模块、标准调压器、标准设定电压显示仪和标准反馈电压显示仪表，所述标准调压器与电源模块的正负输出端连接，所述标准电调压器的输出端和所述标准反馈电压显示仪表通过第一标准接口与标准mfc本体连接，所述标准设定电压显示仪与标准调压器的输出端电连接，所述壳体内还安装有检测调压器、检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪表，所述检测调压器与电源模块的正负输出端连接，所述检测调压器的输出端和所述检测反馈电压显示仪表均连接第二标准接口，该第二标准接口固定在壳体的侧壁并且露出，所述检测设定电压显示仪与检测调压器的输出端电连接。
7.作为一种优选的方案，所述标准调压器的调压旋钮和检测调压器的调压旋钮设置在壳体的正面，所述标准设定电压显示仪、标准反馈电压显示仪表、检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪表也设置于壳体的正面。
8.作为一种优选的方案，所述标准设定电压显示仪和标准反馈电压显示仪表位于壳体正面的一侧，所述检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪表位于壳体的正面的另一侧。
9.作为一种优选的方案，所述标准调压器的调压旋钮处于标准设定电压显示仪和标
准反馈电压显示仪表之间的下方，所述检测调压器的调压旋钮处于检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪之间的下方，所述标准调压器的调压旋钮和检测调压器的调压旋钮之间相对于壳体正面的中心线对称设置。
10.作为一种优选的方案，所述壳体的顶部设置有用于控制电源模块的电源开关。
11.作为一种优选的方案，所述第二标准接口和出气管接口固定于壳体同一侧的侧壁上。
12.作为一种优选的方案，所述第一标准接口和第二标准接口为db15 标准接口或者db9标准接口。
13.采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于半导体生产用 mfc校验装置，该校验装置包括壳体，所述壳体上设置有进气管接口和出气管接口，所述壳体内安装有与进气管接口和出气管接口相连通的已出厂标定的标准mfc本体，所述进气管接口和标准mfc本体之间安装有控制阀，所述壳体内安装有电源模块、标准调压器、标准设定电压显示仪和标准反馈电压显示仪表，所述标准调压器与电源模块的正负输出端连接，所述标准电调压器的输出端和所述标准反馈电压显示仪表通过第一标准接口与标准mfc本体连接，所述标准设定电压显示仪与标准调压器的输出端电连接，所述壳体内还安装有检测调压器、检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪表，所述检测调压器与电源模块的正负输出端连接，所述检测调压器的输出端和所述检测反馈电压显示仪表均连接第二标准接口，该第二标准接口固定在壳体的侧壁并且露出，所述检测设定电压显示仪与检测调压器的输出端电连接，因此打开电源，通入气体，将标准调压器调节电压为1v，标准设定电压显示仪就显示1v，此时标准反馈电压显示仪表输出为1v，因此气体从标准mfc输出就是标准的1v的流量，这时通过出气口接入需要校验的mfc，同理将检测调压器调节电压为1v并且检测设定电压显示仪也显示1v，当检测反馈电压显示仪表反馈也为1v时则说明被检测mfc流量控制准确，反之则是被检测mfc控制有问题或控制不准确，该检验装置可以快速对待检验的mfc进行校准并且检测简单，方便。
14.又由于所述标准调压器的调压旋钮和检测调压器的调压旋钮设置在壳体的正面，所述标准设定电压显示仪、标准反馈电压显示仪表、检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪表也设置于壳体的正面，因此在调压时，一方面方便了调节电压，另一方面方便了观察电压数值。
15.又由于所述标准设定电压显示仪和标准反馈电压显示仪表位于壳体正面的一侧，所述检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪表位于壳体的正面的另一侧，所述标准调压器的调压旋钮处于标准设定电压显示仪和标准反馈电压显示仪表之间的下方，所述检测调压器的调压旋钮处于检测设定电压显示仪和检测反馈电压显示仪之间的下方，所述标准调压器的调压旋钮和检测调压器的调压旋钮之间相对于壳体正面的中心线对称设置，有利于快速区分标准的仪器和需要检测的仪器并且方便调节标准调压器的调压旋钮和检测调压器的调压旋钮。
16.又由于所述第二标准接口和出气管接口固定于壳体同一侧的侧壁上，方便连接需要检验的mfc。
附图说明
17.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
18.图1是本实用新型实施例的结构示意图；
19.图2是本实用新型实施例的原理图；
20.图中：1、壳体；2、进气管接口；3、出气管接口；4、标准mfc； 5、控制阀；6、电源模块；7、标准调压器；8、标准设定电压显示仪； 9、标准反馈电压显示仪表；10、第一标准接口；11、检测调压器；12、检测设定电压显示仪；13、检测反馈电压显示仪表；14、第二标准接口； 15、调压旋钮。
具体实施方式
21.下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。
22.如图1所示，一种半导体生产用mfc校验装置，该校验装置包括壳体1，所述壳体1上设置有进气管接口2和出气管接口3，所述壳体1 内安装有与进气管接口2和出气管接口3相连通的已出厂标定的标准mfc4本体，所述进气管接口和标准mfc4本体之间安装有控制阀5，所述壳体1内安装有电源模块6、标准调压器7、标准设定电压显示仪8 和标准反馈电压显示仪表9，所述标准调压器7与电源模块6的正负输出端连接，所述标准电调压器的输出端和所述标准反馈电压显示仪表9 通过第一标准接口10与标准mfc4本体连接，所述标准设定电压显示仪8与标准调压器7的输出端电连接，所述壳体1内还安装有检测调压器11、检测设定电压显示仪12和检测反馈电压显示仪表13，所述检测调压器11与电源模块6的正负输出端连接，所述检测调压器的输出端和所述检测反馈电压显示仪表13均连接第二标准接口14，该第二标准接口14固定在壳体1的侧壁并且露出，所述检测设定电压显示仪12与检测调压器11的输出端电连接。
23.在本实施例中，所述壳体1的顶部设置有用于控制电源模块6的电源开关，首先将电源打开，通入气体，将标准调压器7调节电压为1v，标准设定电压显示仪8就显示1v，此时标准反馈电压显示仪表9输出为1v，因此气体从标准mfc4输出就是标准的1v的流量，这是通过出气口接入需要校验的mfc，同理将检测调压器11调节电压为1v并且检测设定电压显示仪12也显示1v，当检测反馈电压显示仪表13反馈也为1v时则说明被检测mfc流量控制准确，反之则是被检测mfc控制有问题或控制不准确，当然还可以将电压设定在0-5v之间，多次检测，提高准确性，该检验装置可以快速对待检验的mfc进行校准并且检测简单，方便。
24.进一步的，所述标准调压器7的调压旋钮15和检测调压器11的调压旋钮15设置在壳体1的正面，所述标准设定电压显示仪8、标准反馈电压显示仪表9、检测设定电压显示仪12和检测反馈电压显示仪表13 也设置于壳体1的正面，所述标准设定电压显示仪8和标准反馈电压显示仪表9位于壳体1正面的一侧，所述检测设定电压显示仪12和检测反馈电压显示仪表13位于壳体1的正面的另一侧，所述标准调压器7 的调压旋钮15处于标准设定电压显示仪8和标准反馈电压显示仪表9 之间的下方，所述检测调压器11的调压旋钮15处于检测设定电压显示仪12和检测反馈电压显示仪之间的下方，所述标准调压器7的调压旋钮15和检测调压器11的调压旋钮15之间相对于壳体1正面的中心线对称设置，这样使仪器都处于一个平面内，方便观察调节，并且充分节省占用的空间，使壳体1尽可能的小，方便检验携带。
25.所述第二标准接口14和出气管接口3固定于壳体1同一侧的侧壁上，所述第一标准接口10和第二标准接口14为db15标准接口或者db9 标准接口，这样方便了连接需要检测的mfc，并且可以按照需要选择标准接口。
26.本实用新型的工作原理：将第二标准接口14和出气管接口3连接到需要检测的mfc上，接着将电源打开，再打开控制阀5通入气体，将标准调压器7调节电压为1v，标准设定电压显示仪8就显示1v，此时标准反馈电压显示仪表9输出为1v，因此气体从标准mfc4输出就是标准的1v的流量，通过出气接口将标准1v流量输送至被检测的mfc 上，同理将检测调压器11调节电压为1v并且检测设定电压显示仪12 也显示1v，这时当检测反馈电压显示仪表13反馈也为1v时则说明被检测mfc流量控制准确，反之则是被检测mfc控制有问题或控制不准确，在标准调压器7调节电压时可以设定0-5v之间任意电压进行检验，并且可以多次检验，提高准确性。
27.以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。