计算装置和通过使用计算装置提取测量数据的特征的方法与流程

本公开内容涉及计算装置和使用该计算装置提取测量数据的特征的方法，并且具体地，涉及通过使用与基于多个第一值和多个第二值提取的测量数据的特征相关的多个第三值来检测处理中的异常的技术，所述多个第一值和多个第二值是通过将池化层应用于具有一维或更高维张量结构的测量数据而提取的。

背景技术：

1、在半导体制造处理期间，可以执行各种基板处理例如绝缘膜和金属材料的沉积和蚀刻，并且层在沉积和蚀刻处理之后是否已经均匀地形成至所期望的厚度可以是用于确认处理的目标是否已经实现的重要标准。另外，在将薄膜施加于基板上的涂覆处理的情况下，薄膜是否已经均匀地涂覆至期望的高度可以是用于确认处理的目标是否已经实现的重要标准。

2、在这样的各种处理中，重要的是薄膜是否已经均匀地形成至预定高度，而为此目的，可以使用由传感器测量的薄膜高度来评估在处理中是否存在异常。

3、在常规技术中，使用整个测量数据来评估在处理中是否存在异常。当如此使用整个测量数据时，可以确定每个位置处的精确上限值和下限值，但是数据管理的效率由于必须使用整个测量数据而劣化，并且还难以根据测量数据相对于薄膜高度对整体形状进行预测。

4、另外，在其他现有技术中，使用整个测量数据的统计值例如最大值、最小值和平均值来评估在处理中是否存在异常。当如此使用整个测量数据的统计值时，可以提高数据管理的效率，但是相对于薄膜高度对整体形状进行预测是非常受限的，并且难以推断出偏离与上限和下限相关的阈值的测量数据的精确位置。

5、另外，在其他常规技术中，将移动平均值应用于与由传感器测量的薄膜高度相对应的测量数据，以相对于薄膜高度预测平均形状，并且据此，评估在处理中是否存在异常。然而，由于移动平均的性质，因此移动平均的应用仅能够相对于薄膜高度表示平均形状而可能不能精确地预测与薄膜高度相关的特定特征，并且因此，当评估在处理中是否存在异常时总是可能发生错误。作为示例，如果在测量数据的上限值或下限值被设定为针对质量评估的处理中的重要处理目标的情况下应用移动平均，则与测量数据的上限值或下限值相对应的边界线仅表示相对于薄膜高度的近似形状，并且可能出现相对更多的与实际上限值或下限值的偏差，这使得难以准确评估在处理中是否存在异常。

6、因此，当测量数据的上限值或下限值被设定为重要处理目标时，需要通过提取测量数据的特定特征的指标(例如，相对于薄膜高度的精确形状)同时使与实际测量数据的偏差最小化或消除与实际测量数据的偏差来提高处理评估的准确性的技术。

技术实现思路

1、技术目标

2、所公开的示例实施方式旨在示出用于通过提取测量数据的特定特征来准确地评估处理的技术。通过本公开内容实现的技术目标不限于上面描述的技术方面，并且可以从以下示例实施方式推断出其他目标。

3、技术解决方案

4、根据第一示例实施方式，提供了一种使用计算装置提取测量数据的特征的方法，其中，该方法可以包括：识别在处理期间获得的测量数据；识别与测量数据相关的目标数据；基于目标数据对测量数据执行计算；通过对所计算出的测量数据应用最大池化层来提取多个第一值；通过对所计算出的测量数据应用最小池化层来提取多个第二值；以及使用多个第一值和多个第二值来提取与测量数据的特征相关的多个第三值。

5、根据示例实施方式，提取多个第三值可以包括基于多个第一值的绝对值与多个第二值的绝对值之间的比较来提取。

6、根据示例实施方式，提取多个第三值可以包括通过选择多个第一值与多个第二值之间的具有较大绝对值的值来提取。

7、根据示例实施方式，该方法还可以包括：将多个第三值与预定容限范围进行比较；以及基于比较结果来识别在处理期间获得的测量数据中是否存在异常。

8、根据示例实施方式，识别是否存在异常可以包括：当多个第三值中存在未包括在预定容限范围内的值时，识别不包括在预定容限范围内的测量数据，并且提供相关信息。

9、根据示例实施方式，多个第一值可以包括基于使用预定参数的最大池化层确定的关于所计算出的测量数据的多个上限值。

10、根据示例实施方式，参数可以包括内核大小、步幅和池化数中的至少一个。

11、根据示例实施方式，参数可以根据处理预先确定。

12、根据示例实施方式，测量数据可以是n维张量，n是等于或大于1的整数。

13、根据示例实施方式，执行计算可以包括执行测量数据与目标数据之间的减法计算。

14、根据示例实施方式，多个第二值可以包括基于使用预定参数的最小池化层确定的关于所计算出的测量数据的多个下限值。

15、根据示例实施方式，参数可以包括内核大小、步幅和池化数中的至少一个。

16、根据示例实施方式，参数可以根据处理预先确定。

17、根据示例实施方式，第一曲线、第二曲线和第三曲线可以由n维数据组成，n是等于或大于1的整数。

18、根据示例实施方式，该方法还可以包括通过连接多个第一值来提取第一曲线。

19、根据示例实施方式，该方法还可以包括通过连接多个第二值来提取第二曲线。

20、根据示例实施方式，该方法还可以包括通过连接所提取的多个第三值来提取第三曲线。

21、根据示例实施方式，内核大小可以大于或等于步幅，并且可以基于步幅和池化数来调整多个第一值的数目。

22、根据第二示例实施方式，一种计算机可读记录介质，可以包括非暂态记录介质，在该非暂态记录介质中记录有用于在计算机中执行上述方法的程序。

23、根据第三示例实施方式，一种用于提取测量数据的特征的计算装置，可以包括：存储器，在该存储器中存储有计算机可读指令；以及处理器，其中，连接至存储器的处理器被配置成：识别在处理期间获得的测量数据；识别与测量数据相关的目标数据；基于目标数据对测量数据执行计算；通过对所计算出的测量数据应用最大池化层来提取多个第一值；通过对所计算出的测量数据应用最小池化层来提取多个第二值；以及使用多个第一值和多个第二值来提取与测量数据的特征相关的多个第三值。

24、其他示例实施方式的细节包括在后续详细描述和附图中。

25、效果

26、根据本公开内容，可以通过对测量数据应用最大池化层来提取多个上限值，并且可以通过对测量数据应用最小池化层来提取多个下限值。此处，可以基于多个上限值和多个下限值中具有相对较大绝对值的值是否被包括在预定容限范围内来准确地评估在处理中是否存在异常。具体地，可以通过将多个上限值和多个下限值中具有相对较大绝对值的值与预定容限范围进行比较来评估在处理中是否存在异常，并且可以通过提供与发生异常的区域相关的信息来提高通过后续处理制造的产品的可靠性。另外，通过使用通过对具有一维或更高张量结构的测量数据应用最大池化层和最小池化层而提取的多个上限值和多个下限值，不仅可以提高数据管理的效率，而且还可以显著降低计算复杂度。此处，可以通过连接多个上限值来确定第一曲线，可以通过连接多个下限值来确定第二曲线，以及可以通过连接具有相对较大绝对值的值来确定第三曲线。第一曲线和第二曲线可以表示与测量数据的上限值和下限值相对应的边界线，以及第三曲线可以对应于被可视化用于评估在处理中是否存在异常的图。通过使用第三曲线来对测量数据的精确形状进行可视化，可以容易地对偏离预定容限范围的值进行可视化。

27、本公开内容的效果不限于上面描述的那些，并且可以根据权利要求的描述使得其他效果对于本领域技术人员来说是明显的。