一种XXY对位平台的制作方法

本技术涉及对位平台的领域，尤其是涉及一种xxy对位平台。

背景技术：

1、随着社会的不断进步和科技的快速发展，对许多产品的加工精度等要求也越来越高，因此对相应的加工设备的要求也越来越高。目前，在半导体、液晶显示器制造、高精密贴合或检测等设备中都需要用到对位装置，对位装置能够精确调整待加工产品的位置，对位装置的对准精度对于产品的加工质量具有直接的影响，其中对位装置会使用xxy对位平台，xxy对位平台又称为uvw对位平台。

2、相关技术中，如公开号cn115061509a，一种uvw对位平台包括基座100、移动机构300、旋转支撑组件400、工作台500和驱动机构，工作台500和基座100相对设置，四个移动机构300呈矩形排布在基座100上，每个移动机构300的输出端均能沿x方向或者沿y方向移动，每个移动机构300的输出端均与一个旋转支撑组件400的输入端连接，每个旋转支撑组件400的输出端均与工作台500连接。驱动机构包括第一驱动机构600、第二驱动机构700和第三驱动机构800，第一驱动机构600、第二驱动机构700和第三驱动机构800的输出端依次与三个移动机构300的输入端连接，并且第一驱动机构600与第二驱动机构700平行设置且位于基座100的同侧，第一驱动机构600与第三驱动机构800垂直设置，第一驱动机构600被配置为驱动工作台500沿x方向移动，第二驱动机构700被配置为驱动工作台500沿x方向移动，第三驱动机构800被配置为驱动工作台500沿y方向移动。

3、针对上述中的相关技术，存在有在多工位设备中，一个对位平台会对应一个工位，其中沿y向驱动元件所在方向来布置多个对位平台，则相邻两个对位平台之间的距离需要能容纳得下y向驱动件的长度，并且该距离范围内所剩下的区域不足以放置其他元件而会造成浪费，从而导致多工位设备的占用空间较大的缺陷。

技术实现思路

1、为了既能通过更短的长度布置更多的xxy对位平台，也能减少布置多个xxy对位平台所产生的无用区域，本技术提供一种xxy对位平台。

2、本技术提供的一种xxy对位平台采用如下的技术方案：

3、一种xxy对位平台，包括：

4、基板；

5、x用双向滑台，设置在所述基板上；

6、y用双向滑台，设置在所述基板上；

7、承载板，与所述x用双向滑台以及所述y用双向滑台的上侧相连接；

8、y用单向滑台，设置在所述基板上，所述y用单向滑台沿x方向运动；

9、y向引导台，与所述y用单向滑台相连接，所述y向引导台相对于所述y用单向滑台以x方向与y方向的正交方向运动；

10、传递板，分别与所述y向引导台相连接以及所述y用双向滑台沿y方向运动的部分相连接；

11、x用驱动件，与所述x用双向滑台沿x方向运动的部分相连接；

12、y用驱动件，与所述y用单向滑台相连接；

13、一个对位平台在所在矩形范围内的剩余区域至多有一个。

14、通过采用上述技术方案，因y向引导台以及y用单向滑台的设置，则y用驱动件让y用单向滑台沿x方向运动时，可以让y向引导台产生y方向的位移，y向引导台再通过传递板让y用双向滑台沿y方向运动，y用双向滑台再通过承载板让剩余的两个x用双向滑台也沿y方向运动，以实现xxy对位平台的基本功能，综上y用驱动件与x用驱动件的分布方向平行，则多个对位平台沿y方向布置时，原先y用驱动件与x用驱动件之间所剩余的空间，可以被相邻另一个对位平台占据，或者被y用双向滑台、y用单向滑台以及y用驱动件的复合宽度范围占据一部分，剩下一部分被相邻另一个对位平台占据，从而既能通过更短的长度布置更多的对位平台，也能减少多个对位平台布置之后所剩余的无用区域，进而能让多工位设备所占据的空间更小。

15、优选的，所述x用双向滑台以及所述y用双向滑台的上侧设置有旋转台，所述旋转台与所述承载板相连接，所述旋转台的回转轴线沿z方向。

16、通过采用上述技术方案，则在承载板同时受到x方向以及y方向的作用力时，承载板能够发生旋转，从而能使对位平台的位置调整功能更加丰富。

17、优选的，两个所述x用双向滑台、一个所述y用双向滑台以及一个所述y用单向滑台呈四边形分布设置。

18、通过采用上述技术方案，则承载板的面积可以更大，从而能让对位平台适配更重的工件。

19、优选的，两个所述x用双向滑台、一个所述y用双向滑台以及一个所述y用单向滑台呈直线分布设置，所述x用驱动件以及所述y用驱动件位于所述承载板的同一侧上。

20、通过采用上述技术方案，则多个对位平台可以安装在y方向上狭长的空间中，从而能提升多工位设备的布置多样性。

21、优选的，所述x用驱动件以及所述y用驱动件位于所述承载板的同一侧上。

22、通过采用上述技术方案，则对位平台可以适配位于承载板相对的另一侧有元件要放置的情况，从而使对位平台能够适配更多不同元件布局形式的多工位设备。

23、优选的，所述x用驱动件与所述y用驱动件分别位于所述承载板相对的两侧上。

24、通过采用上述技术方案，则对位平台沿y方向上的长度能够更短，所以可以沿y方向布置更多的对位平台，从而沿y方向对工件进行传递的多工位设备所占据的空间能更小。

25、优选的，两个所述x用双向滑台、一个所述y用双向滑台以及一个所述y用单向滑台呈正方形分布设置，所述y向引导台相对于所述y用单向滑台的正交运动方向为45°的正交方向。

26、通过采用上述技术方案，相比于其他正交运动方向的方式，此种设计方式，既能保持y用单向滑台的运动流畅性，也能保持y向引导台的运动流畅性，从而能提升对位平台的调整流畅性。

27、优选的，所述x用驱动件以及所述y用驱动件均包括工作电机、联轴器以及驱动丝杠，所述工作电机连接在所述基板上；所述联轴器连接在所述工作电机的输出轴上；所述驱动丝杠一端与所述联轴器相连接，另一端螺纹穿设所述x用双向滑台或所述y用单向滑台。

28、通过采用上述技术方案，相比于通过伸缩缸来让x用双向滑台或y用单向滑台运动的方式，此种设计方式，一方面，通过驱动丝杠的螺纹传动，能提升承载板的运动精度，另一方面，也可以通过驱动丝杠的螺纹传动，让承载板在姿态确定后更加稳定，以提升承载板的姿态稳定性。

29、优选的，所述x用驱动件以及所述y用驱动件均配合设置有定位组件，一个所述定位组件包括三个光电传感器以及一个感应片，所述光电传感器设置在所述基板上，三个所述光电传感器沿x方向分布设置；所述感应片一端连接在所述x用双向滑台沿x向运动的部分或所述y用单向滑台上，另一端具有两个感应脚，所述感应脚用于切断所述光电传感器。

30、通过采用上述技术方案，一方面，首尾两个传感器可以用来判断y用单向滑台或者x用双向滑台沿x方向运动的两个极限位置，中间的传感器可以判断y用单向滑台或者x用双向滑台的起始位置；另一方面，感应片的两个感应脚，能够在y用单向滑台以及x用双向滑台行程较短的情况下，满足沿y用单向滑台以及x用双向滑台首尾两个极限位以及中间起始位的判断。

31、优选的，所述y用双向滑台靠近所述承载板的部分沿x方向运动，远离所述承载板的部分沿y方向运动。

32、通过采用上述技术方案，一方面，在需要让承载板发生y向位移时，可以通过y用双向滑台的底下部分进行驱动，所以能提升承载板的运动稳定性；另一方面，在需要让承载板发生x向位移时，只有y用双向滑台上方的部分沿x方向运动，同时y用双向滑台的上方部分恰好与传递板错位设置，从而在实现降低对位平台沿y方向长度的同时，能使得整个对位平台的结构更加简洁。

33、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

34、1.因y向引导台以及y用单向滑台的设置，则y用驱动件让y用单向滑台沿x方向运动时，可以让y向引导台产生y方向的位移，y向引导台再通过传递板让y用双向滑台沿y方向运动，y用双向滑台再通过承载板让剩余的两个x用双向滑台也沿y方向运动，以实现xxy对位平台的基本功能，综上y用驱动件与x用驱动件的分布方向平行，则多个对位平台沿y方向布置时，原先y用驱动件与x用驱动件之间所剩余的空间，可以被相邻另一个对位平台占据，或者被y用双向滑台、y用单向滑台以及y用驱动件的复合宽度范围占据一部分，剩下一部分被相邻另一个对位平台占据，从而既能通过更短的长度布置更多的对位平台，也能减少多个对位平台布置之后所剩余的无用区域，进而能让多工位设备所占据的空间更小；

35、2.则在承载板同时受到x方向以及y方向的作用力时，承载板能够发生旋转，从而能使对位平台的位置调整功能更加丰富。