超声波探头及超声波指纹识别装置的制作方法

文档序号:12601467阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超声波探头,用于超声波指纹识别装置,其特征在于,所述超声波探头包括:

压电层,所述压电层包括多个压电柱,所述多个压电柱沿第一方向排成多行且沿第二方向排成多列,所述第一方向与所述第二方向的夹角为锐角,沿所述第一方向的相邻两个所述压电柱之间的距离大于相邻两行所述压电柱之间的距离。

2.如权利要求1所述的超声波探头,其特征在于,所述压电柱的横截面的形状为圆形或矩形。

3.如权利要求2所述的超声波探头,其特征在于,当所述压电柱的横截面的形状为矩形时,所述矩形的边与所述第二方向垂直或平行。

4.如权利要求1所述的超声波探头,其特征在于,所述压电柱的高度为70-80微米。

5.如权利要求1所述的超声波探头,其特征在于,所述压电柱包括锆钛酸铅压电材料。

6.如权利要求1所述的超声波探头,其特征在于,所述压电层包括设置在所述多个压电柱的侧面间隙的填充材料。

7.如权利要求6所述的超声波探头,其特征在于,所述填充材料包括环氧树脂。

8.如权利要求1所述的超声波探头,其特征在于,所述超声波探头包括:

设置在所述多个压电柱的下方的多条发射极线,每条所述发射极线沿所述第一方向与一行所述压电柱连接;及

设置在所述多个压电柱的上方的多条接收极线,每条所述接收极线沿所述第二方向与一列所述压电柱连接。

9.如权利要求8所述的超声波探头,其特征在于,所述超声波探头包括:

设置在所述多条发射极线的下方的下保护层;及

设置在所述多条接收极线的上方的上保护层。

10.一种超声波指纹识别装置,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的超声波探头。

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