关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的系统和方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明涉及关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的系统和方法。讨论了用于半导体器件制造的虚拟制造环境，该虚拟制造环境包括用于执行关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的分析模块。

技术研发人员：威廉·J·伊根;肯尼思·B·格雷纳;大卫·M·弗里德;安舒曼·孔瓦尔
受保护的技术使用者：科文托尔公司
技术研发日：2018.06.19
技术公布日：2019.01.04