光掩膜版的射频识别管理系统及方法与流程

本发明涉及一种光掩膜版的管理系统及方法，具体涉及一种光掩膜版的射频识别管理系统及方法。

背景技术：

在半导体制造中，许多芯片工艺步骤采用光刻技术(litho)，用于这些步骤的图形“底片”称为光掩膜版，其作用是：在硅片上选定的区域中对一个不透明的图形模板遮盖，继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。

光掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像lcd，pcb等方面。常见的光掩膜包括铬版(chrome)，其主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。

为了方便对光掩膜版进行管理，光掩膜版被生产出来后需要在其上标示出光掩膜版的型号，而这一标示主要是由印刷在光掩膜版边缘的条码(barcode)来实现。如图1(a)所示，光掩膜版型号条码11被印刷在光掩膜版10的两侧边缘，在条码上侧还印刷有光掩膜版型号12。如图1(b)所示，为了在出货过程中对光掩膜版10进行保护，光掩膜版10被放置于传送盒20中，在传送盒20上表面设置一标签21以实现对光掩膜版10的管理，包括对光掩膜版的出货管理、上机管理和制程加工程序(recipe)管理等。

目前，光掩膜版厂的光掩膜版出货包装完全是依靠人员双眼辨识，并无有效方法来验证光掩膜版10的型号与光掩膜版传送盒上标签21型号是否相符，以致于可能因为型号相近或标签黏贴顺序错误造成光掩膜版10的型号与光掩膜传送盒上标签21型号不符。

因为光掩膜版出货包装已经是光掩膜版厂产线最后一道工艺，若光掩膜版实体光罩型号与光掩膜传送盒上标签型号不符的错误无法在此察觉，型号错误的光掩膜版便会出货至客户端(fab)，造成光掩膜厂及客户端(fab)发生后续管理及使用上的问题。因此如何建构光掩膜版厂光掩膜版出货前的型号验证机制，让光掩膜版管理系统来提高光掩膜版存取效率，已成为光掩膜版厂产线重要课题。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明实施例提供了一种光掩膜版的射频识别管理系统及方法，以解决光掩膜版标示的型号与光掩膜版传送盒标示的型号不一致的问题。

根据第一方面，本发明实施例提供了一种光掩膜版的射频识别管理系统，所述系统包括：

光掩膜版，在所述光掩膜版上设置有光掩膜版信息标记；

光掩膜版传送盒，在所述光掩膜版传送盒上设置有光掩膜版传送盒信息标记；

信息读取装置，所述读取装置用于读取所述光掩膜版信息标记的信息和所述光掩膜版传送盒信息标记的信息；

以及

处理装置，所述处理装置比较所述光掩膜版信息标记所对应的型号和光掩膜版传送盒信息标记所对应的型号是否相同；

若相同，则对所述光掩膜版继续执行后续操作，若不相同，则所述光掩膜版不执行所述后续操作。

优选的是，在上述系统中，所述后续操作包括出货、上机生产或进行制程加工程序。

优选的是，在上述系统中，所述光掩膜版传送盒信息标记包括射频标签，所述光掩膜版信息标记包括条码。

优选的是，在上述系统中，所述射频标签包括被动式标签、半被动式标签或主动式标签。

优选的是，在上述系统中，所述光掩膜版信息标记包括一维条码、二维条码或rss系列条码。

优选的是，在上述系统中，所述信息读取装置包括：

射频信号发射器，用以产生射频发射信号，射频发射信号在传送至所述射频标签后，将形成为射频反射信号；

射频信号接收器，用以接收所述射频反射信号。

优选的是，在上述系统中，所述信息读取装置还包括：

光源模组，以产生至少一扫描光源，所述扫描光源在照射所述条码后，将形成为条码反射信号；以及

影像感应器，用以接收所述条码反射信号。

优选的是，在上述系统中，所述系统还包括显示装置，所述显示装置用于显示所述光掩膜版信息标记对应的所述光掩膜版的型号，所述显示装置还用于显示所述光掩膜版传送盒信息标记所对应的光掩膜版型号。

优选的是，在上述系统中，所述系统还包括生产管理系统(mes)。

根据另一方面，本发明实施例提供了一种光掩膜版的射频识别管理方法，所述方法包括：

读取光掩膜版上的第一信息；

读取光掩膜版传送盒上的第二信息；

比较所述第一信息和所述第二信息，判断所述第一信息和所述第二信息是否对应相同的光掩膜版型号；

若所述第一信息和所述第二信息对应相同的光掩膜版型号，则对所述光掩膜版执行后续操作；若对应不同的光掩膜版型号，则所述实光掩膜版不执行后续操作。

优选的是，在上述方法中，所述第一信息包括条码信息。

优选的是，在上述方法中，所述第二信息包括射频标签信息。

优选的是，在上述方法中，所述后续操作包括出货、上机生产或进行制程加工程序。

根据另一方面，本发明实施例提供了一种光掩膜版的射频识别管理装置，所述装置包括：

第一读取模块，用于读取光掩膜版上的第一信息；

第二读取模块，用于读取光掩膜版传送盒上的第二信息；

比较模块，用于比较所述第一信息和所述第二信息，判断所述第一信息和所述第二信息是否对应相同的光掩膜版型号；

执行模块，用于在所述第一信息和所述第二信息对应相同的光掩膜版型号时对所述光掩膜版执行后续操作。

根据另一方面，本发明实施例提供了一种服务器，包括：光掩模板信息读取装置、光掩模板传送盒信息读取装置、存储器和处理器，所述光掩模板信息读取装置、所述光掩模板传送盒信息读取装置、所述存储器和所述处理器之间互相通信连接，所述存储器中存储有计算机指令，所述处理器通过执行所述计算机指令，从而执行上述任一种方法。

根据另一方面，本发明实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机执行上述任一种方法。

上述系统可以在出货前、上机时和制程加工程序中对光掩膜版的型号进行验证，从而提高光掩膜版的存取效率，避免光掩膜版型号错误带来的各种问题。上述系统对应的方法具有同样的技术效果。

附图说明

通过参考附图会更加清楚的理解本发明的特征和优点，附图是示意性的而不应理解为对本发明进行任何限制，在附图中：

图1(a)显示为现有技术中的光掩膜版示意图，图1(b)显示为现有技术中的光掩膜版传送盒示意图。

图2显示为本发明的光掩膜版的射频识别管理系统的示意图，其用于光掩膜版的型号与光掩膜版传送盒标示的光掩膜版型号的对比。

图3显示为本发明的光掩膜版的射频识别管理方法的示意图，其用于光掩膜版的型号与光掩膜版传送盒标示的光掩膜版型号的对比。

图4显示为本发明的光掩膜版的射频识别管理装置的示意图。

图5显示为本发明光掩膜版的射频识别管理的服务器的示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

如图2所示，本发明提供一种光掩膜版的射频识别管理系统，所述系统包括：光掩膜版201，在所述光掩膜版上设置有条码202；光掩膜版传送盒203，在所述光掩膜版传送盒203上设置有射频标签204；信息读取装置205，所述信息读取装置可读取所述条码202和所述射频标签204；以及处理装置206，所述处理装置206比较所述条码202所对应的资料和所述标签204所对应的资料是否相合；若相符合，则所述光掩膜版201的型号和所述传送盒203上标示的光掩膜版型号相符，则对所述光掩膜版201继续执行后续操作，若不相符合，则所述光掩膜版201的型号和所述传送盒203上标示的光掩膜版型号不相符，则所述光掩膜版201不执行所述后续操作。

所述后续操作包括出货、上机生产或进行制程加工程序。

上述系统可以在出货前、上机生产(生产流程中设备机台)前或进行制程加工程序对光掩膜版的型号进行验证，从而提高光掩膜版的存取效率，避免光掩膜版型号错误带来的各种问题。

在上述系统中，处理装置206可以为服务器，其存储有光掩膜版实体条码资料及光掩膜版传送盒标签资料。

在上述系统中，所述标签204为被动式标签、半被动式标签或主动式标签。

在上述系统中，所述条码202为一维条码、二维条码或rss系列条码。

在一具体实施例中，所述信息读取装置205包括：射频信号发射器(未图示)，用以产生射频发射信号，射频发射信号在传送至所述射频标签后，将形成为射频反射信号；射频信号接收器(未图示)，用以接收所述射频反射信号。

在另一具体实施例中，所述信息读取装置205还包括：光源模组(未图示)，以产生至少一扫描光源，所述扫描光源在照射所述条码后，将形成为条码反射信号；以及影像感应器(未图示)，用以接收所述条码反射信号。

所述系统还包括显示装置207，所述显示装置207用于显示所述条码202对应的所述光掩膜版的型号，所述显示装置207还用于显示所述传送盒203上标示的光掩膜版型号。其中，所述显示装置207可以是终端的显示装置。在标签读取装置205对条码202或标签204进行扫描时，在显示装置207上弹出“光掩膜版型号验证”的对话框，其上可以有请扫描条码或标签的提示信息。

所述系统还包括生产管理系统(mes)208。

所述系统还包括光掩膜版管理系统209，其根据处理装置206给出的对比结果对光掩膜进行下一步的操作。在本实施例中，如果光掩膜版管理系统209收到对比结果为相合的结果时，则表示光掩膜版201的型号和所述传送盒203上标示的光掩膜版型号相符，光掩膜版管理系统209对所述光掩膜版201进行后续操作。

实施例二

如图3所示，本实施例提供了一种光掩膜版的射频识别管理方法，其为第一实施例的管理方法，所述方法包括：

读取光掩膜版上的第一信息；

读取光掩膜版传送盒上的第二信息；

比较所述第一信息和所述第二信息，判断所述第一信息和所述第二信息是否对应相同的光掩膜版型号；

若所述第一信息和所述第二信息对应相同的光掩膜版型号，则对所述光掩膜版执行后续操作；若对应不同的光掩膜版型号，则所述实光掩膜版不执行后续操作。

在上述方法中，所述第一信息包括条码信息。

在上述方法中，所述第二信息包括射频标签信息。

在上述方法中，所述后续操作包括出货、上机生产或进行制程加工程序。

上述方法可以在出货前、上机生产(生产流程中设备机台)前或进行制程加工程序对光掩膜版的型号进行验证，从而提高光掩膜版的存取效率，避免光掩膜版型号错误带来的各种问题。

实施例三

如图4所示，本实施例提供了光掩膜版的射频识别管理装置400，所述装置包括：

第一读取模块401，用于读取光掩膜版上的第一信息；

第二读取模块402，用于读取光掩膜版传送盒上的第二信息；

比较模块403，用于比较所述第一信息和所述第二信息，判断所述第一信息和所述第二信息是否对应相同的光掩膜版型号；

执行模块404，用于在所述第一信息和所述第二信息对应相同的光掩膜版型号时对所述光掩膜版执行后续操作。

在上述装置中，所述后续操作包括出货、上机生产或进行制程加工程序。

上述装置可以在出货前、上机生产(生产流程中设备机台)前或进行制程加工程序对光掩膜版的型号进行验证，从而提高光掩膜版的存取效率，避免光掩膜版型号错误带来的各种问题。

实施例四

如图5所示，本实施例提供了一种服务器500，包括：光掩模板信息读取装置501、光掩模板传送盒信息读取装置502、存储器503和处理器504，所述光掩模板信息读取装置501、所述光掩模板传送盒信息读取装置502、所述存储器503和所述处理器504之间互相通信连接，所述存储器503中存储有计算机指令，所述处理器504通过执行所述计算机指令，从而执行实施例二所述的方法。

实施例五

本实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机执行实施例二所述的方法。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明，本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下作出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。