1.缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，包括：
提供一晶圆；
在标准机台上采用已建立的标准扫描程式对所述晶圆进行缺陷扫描，以获取标准扫描结果；
在待匹配机台上采用新建立的试扫扫描程式对所述晶圆进行缺陷扫描，以获取试扫扫描结果；
将所述试扫扫描结果与所述标准扫描结果进行匹配，以获取匹配结果；
根据所述匹配结果，选取过滤参数对所述试扫扫描结果进行过滤，以滤除与所述标准扫描结果不匹配的缺陷；
根据过滤后的结果，计算所述待匹配机台与所述标准机台之间的实际匹配度；以及
判断所述实际匹配度是否大于或等于预设匹配度，若所述实际匹配度大于或等于预设匹配度，则根据所述过滤参数对所述待匹配机台的试扫扫描程式进行调整，从而得到高匹配度的扫描程式；若所述实际匹配度小于预设匹配度，则重新选取过滤参数对所述试扫扫描结果进行过滤，直至所述实际匹配度大于或等于所述预设匹配度。
2.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，在对所述晶圆进行缺陷扫描之前，所述方法还包括：
对所述晶圆根据图形特征进行划区，以形成各扫描区域，其中，不同的扫描区域对应不同的扫描参数。
3.根据权利要求2所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，所述图形特征对应于为实现不同的运算功能而在所述晶圆上形成的不同功能区域的电路图形。
4.根据权利要求3所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，所述功能区域包括logic区域、full区域、sram区域和pixel区域。
5.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，在获取所述标准扫描结果之后，所述方法还包括：
将所述标准扫描结果上传至数据库，所述数据库中存储有扫描结果与扫描程式的对应关系。
6.根据权利要求5所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，在将所述试扫扫描结果与所述标准扫描结果进行匹配之前，所述方法还包括：
从所述数据库中读取所述晶圆的标准扫描结果。
7.根据权利要求5所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，所述数据库中还存储有扫描结构层与扫描结果的对应关系。
8.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，所述预设匹配度为80％-100％。
9.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，在对所述晶圆进行缺陷扫描之前，所述方法还包括：
将所述晶圆与所述机台对准。
10.根据权利要求9所述的缺陷扫描机台间高匹配度扫描程式的快速建立方法，其特征在于，通过在所述晶圆上设置对准标记使所述机台与所述晶圆对准。