1.一种外延片编码读取装置,其特征在于:所述外延片编码读取装置(100)包括,
机体(10);
第一载料部(31),连接于机体(10),用于放置需要读取编码的晶片(40);
校正部(32),连接于机体(10),用于对晶片(40)位置进行调节;
扫码部(33),连接于机体(10),用于读取晶片(40)上的编码;
第二载料部(34),连接于机体(10),用于放置读取编码后的晶片(40);
第一运料部(21),连接于机体(10),用于将第一载料部(31)的晶片(40)移动至校正部(32);
第二运料部(22),连接于机体(10),用于将位于校正部(32)的晶片(40)移动至扫码部(33);
第三运料部(23),连接于机体(10),用于将位于扫码部(33)的晶片(40)移动至第二载料部(34);
所述第一运料部(21)和第二运料部(22)为一体结构并通过第一连接部(24)滑动连接于机体(10)。
2.根据权利要求1所述的外延片编码读取装置,其特征在于:
所述第一载料部(31)、校正部(32)和扫码部(33)依次沿直线a分布。
3.根据权利要求1所述的外延片编码读取装置,其特征在于:
所述第一载料部(31)、校正部(32)、扫码部(33)和第二载料部(34)依次沿直线a分布。
4.根据权利要求3所述的外延片编码读取装置,其特征在于:所述第三运料部(23)通过第一连接部(24)滑动连接于机体(10)。