晶圆缺陷的识别方法及装置与流程

技术总结
本发明公开了一种晶圆缺陷的识别方法及装置，包含：获取晶圆缺陷图像的原图；对所有获取的晶圆缺陷图像的原图进行二值化处理；对原图继续进行腐蚀处理；对处理后的原图进行框选计数；输出结果。本发明通过对缺陷图片进行预处理，然后在线自动框选标定缺陷数目并分类，提高了缺陷识别效率。提高了缺陷识别效率。提高了缺陷识别效率。


技术研发人员：孟德旭 李磊 米琳
受保护的技术使用者：华虹半导体（无锡）有限公司
技术研发日：2021.01.06
技术公布日：2021/4/13