1.一种热管理下电热微驱动器的输出特性快速计算与设计方法，其特征在于，它包括以下步骤：
步骤1，设计热管理下电热微驱动器的几何模型；
步骤2，确定关键几何参数和材料物性参数并初步确定参数取值；
步骤3，热管理下的电热微驱动器的温度场建模；
步骤4，求出驱动梁的理想最大温升θid；
步骤5，根据稳态热路模型，求出驱动梁的最大温升θh、热沉结点温升θsk与末端温升θed与理想最大温升θid之间的关系式；
步骤6，由步骤4和5，求出驱动梁上温度分布t(x)与平均温升δt表达式；
步骤7，仅分析驱动部分，将驱动梁和梭梁结构简化为平面钢架结构，结构内因温升产生的热应力或热应变作为内部载荷，利用矩阵位移法经手算求出无外部负载作用下的输出位移；
步骤8，利用矩阵位移法求出v型驱动部分位移方向的刚度系数ka；
步骤9，由步骤7和步骤8中的驱动部分位移方向的刚度系数，求出驱动器的最大驱动力；
步骤10，采用矩阵位移法求出温控部分中折弯型热沉在位移方向的刚度系数ksk；
步骤11，综合驱动与温控部分，由步骤8-10中的刚度系数和最大驱动力，求出最大驱动位移；
步骤12，判断求得的特性参数是否设计要求，若不满足，返回步骤3调整参数取值，再按照上述步骤重新计算至到满足设计要求；若满足，进行步骤13；
步骤13，给出热管理下v型电热微驱动器在负载力fl作用下输出位移d的表达式。
2.根据权利要求1所述的热管理下电热微驱动器的输出特性快速计算与设计方法，其特征在于：在步骤5中，单个驱动梁的热阻rdb的计算公式为，
其中，l为单侧驱动梁的长，a为驱动梁横截面积，k为驱动梁材料热传导系数；
热沉的热阻计算公式为
主热阻和末端热阻采用相同材质材料，此材料是工作层材料或是隔热效果较好的材料，或在工作层中刻蚀出热隔离槽并填充隔热效果较好的材料，后一种情况主热阻和末端热阻的热阻计算公式为
其中k和kth分别为驱动梁材料热传导系数和热隔离材料的热传导系数且满足kth＞k，a、ath、aed和ask分别为驱动梁横截面面积、主热阻横截面面积、末端热阻横截面面积和热沉横截面面积；lsk、lb和lth分别是折弯型热沉的总长度、主热阻和末端热阻中相邻隔离槽中间的工作层跨度和热隔离层跨度，mth和med分别是主热阻和末端热阻中热隔离阵列中隔离槽的数目。
3.根据权利要求1所述的热管理下电热微驱动器的输出特性快速计算与设计方法，其特征在于：利用矩阵位移法经手算求出无外部负载作用下的输出位移，分两种情况：一种是忽略梭梁横向的热膨胀变形，求出无负载下的输出位移，
另一种是考虑梭梁横向的热膨胀变形，求出无负载下的输出位移，
fb＝etwαδt
fsh＝etwshαθh
其中，l、w和
4.根据权利要求3所述的热管理下电热微驱动器的输出特性快速计算与设计方法，其特征在于：在步骤7中，考虑梭梁横向的热膨胀变形情况，无外部负载下的输出位移通过几何模型求出，包括因梭梁横向热膨胀引起的输出位移和因v型驱动梁热膨胀引起的输出位移两部分，前者可表示为
考虑梭梁横向的热膨胀变形情况，无负载下的输出位移表示为